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Halbleiter-Packaging und Prüfverfahren

LNEYA has rich experience in product research and development in the semiconductor packaging and testing industry, and its rich product line meets various temperature control needs in the industry.

Products include: FLTZ series high-precision chiller heaters, LT series refrigeration chillers, heat exchange and temperature control units ETCU, direct cooling machines ZLJ/ZLTZ, gas chillers AES/LQ/AI/AET/gas dryers, chamber test boxes and other products.

解决方案

LÖSUNG

Der Prozess der Halbleiterverpackung und -prüfung ist ein wichtiges Glied im Halbleiterproduktionsprozess, einschließlich der Waferprüfung, der Chipverpackung und der Prüfung nach der Verpackung. Dieser Prozess erfordert nicht nur hohe Präzision und Zuverlässigkeit, sondern auch eine strenge Temperaturkontrolle, um Produktqualität und Leistung zu gewährleisten.
The typical packaging process is: dicing, mounting, bonding, plastic sealing, deburring, electroplating, printing, cutting and molding, appearance inspection, finished product testing, packaging and shipment.

High Precsion Chiller HeaterFLTZ series
High Precsion Refrigeration ChillerLT series
Heat Exchange ChillerETCU series
High-efficiency Direct Cooling ChillerZLTZ/ZLJ series
Prüfkammern
Gas-KühlaggregateAES/LQ/AI/AET/DR series

FLTZ Frequenzumwandlungsserie

—Temperature control accuracy ±0.05℃ (Outlet temperature steady state)

-90~+100℃, mainly used for precise temperature control in semiconductor production and testing processes. The company applies a variety of algorithms in the system to achieve fast system response and high control accuracy.

LT Festfrequenz-Serie

Kompressor-Kaskadenkühlung, Temperatur bis zu -150℃

LNEYA Refrigeration Chiller temperature range is from -80℃ to -5℃, using secondary supercooling technology, rapid cooling. Strong product reliability and excellent performance.

Wärmeaustauschkühler ETCU

—No compressor

ETCU compressor-free heat exchange system, the system can be universal expansion tank, condenser, cooling water system, etc., which can effectively reduce the size of equipment and reduce the number of operating steps.

ZLTZ高效换热控温机组

-高效换热,可⾃动回收导热介质

ZLTZ控温机组与微通道反应器组合成⾼放热量控温运⽤,同流量⼯况下相对于导热油换热控温传热效率5倍以上,同时进出⼝温差⼩,温度场均匀性⾼,特别适合剧烈放热反应的应⽤;

ZLJ系列直冷机

-可运用于⽓体捕集

将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进⼊⽬标控制元件(换热器)换热,从⽽使⽬标控制对象降温。具备换热能力相对于流体(⽓体)输送⼊换热器换热能⼒更⾼⼀般在5倍以上,这样特别适⽤于换热器换热⾯积⼩,但是换热量⼤的运⽤场所。

Testkammer für schnelle Temperaturänderung

Schneller Temperaturwechsel, schnelle Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit

Anwendbar auf Umweltstress-Screening-Test, durch Umweltstress-Screening von Produkten, beschleunigen die Entdeckung von Produkt-Design-Fehler und zur Verbesserung der Produktzuverlässigkeit. Viele Branchen haben erkannt, dass Hochgeschwindigkeits-Temperaturwechsel-Zyklustests unzuverlässige Systeme identifizieren können, die bereits in die Produktionstestphase eingetreten sind. Sie hat sich zu einer Standardmethode zur Verbesserung der Qualität und zur effektiven Verlängerung der normalen Lebensdauer von Produkten entwickelt.

Zweitürige Schlagprüfkammer

-Aufpralltest, niedrige Temperatur -40~0℃ hohe Temperatur +60~+150℃

Der Prüfkorb ist während der Hoch- und Tieftemperatur-Schlagprüfungen beweglich. Die Hoch- und Tieftemperatur-Schlagumwandlung erfolgt hauptsächlich durch Auf- und Abbewegen des Prüfkorbs in der Hochtemperatur- und der Tieftemperaturzone. Die Erholungszeit für den Aufprall ist beim Zwei-Box-Typ kürzer als beim Drei-Box-Typ.

Begehbare Testkammer

-Temperaturregelbereich: -80℃~+150℃

Geeignet für niedrige Temperatur, hohe Temperatur, hohe und niedrige Temperaturwechsel, konstante feuchte Wärme, hohe und niedrige Temperatur abwechselnd feuchte Wärme und andere Tests von kompletten Maschinen oder großen Komponenten. Die Größe und Funktion des Studios kann je nach den Anforderungen des Benutzers geändert werden. Der Blockkasten hat eine schöne Form und ein wissenschaftliches Luftkanaldesign, um die Bedürfnisse verschiedener Kunden zu erfüllen.

LQ-Reihe

-niedrige Temperatur kann -110℃ erreichen

Angewandt zur Abkühlung des Gases (nicht korrosiv): Wenn trockene Druckluft, Stickstoff, Argon und andere Gase mit normaler Temperatur in die Geräte der Serie LQ eingeleitet werden, kann das austretende Gas die angestrebte niedrige Temperatur erreichen und den zu prüfenden Komponenten oder Wärmetauschern zugeführt werden.

AES系列热流仪

—升降温速率快,+150℃〜-55℃低于10S

射流式⾼低温冲击测试机给芯⽚、模块、集成电路板、电⼦元器件等提供精确且快速的环境温度。是对产品电性能测试、失效分析、可靠性评估的仪器设备。

AET系列气体快速温变测试机

—可选择控制出口气体温度和工艺目标过程温度

压缩空⽓进⼊⽓体快速温变测试机,内置有⼲燥器,预先把⽓体⼲燥到露点温度-70度以下,进⾏制冷加热控温输出稳定流量压⼒恒温的⽓体,对⽬标对象进⾏控温(如各类控温卡盘、腔体环境、热承板、料梭、腔体、电⼦元件等),可根据远程卡盘上的温度传感器进⾏⼯艺过程控温,⾃动调节输出⽓体的温度。

AI系列循环风系统

—循环风高低温恒温测试

运⽤于半导体设备⾼低温测试。电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源;独⽴的制冷循环⻛机组;可连续⻓时间⼯作,⾃动除霜,除霜过程不影响库温;

Dryer气体干燥器

—低露点⼲燥和清洁

应⽤于传感器、半导体制造、薄膜和包装材料执照、粉状物料运输、喷涂系统、⻝品⾏业、制药⾏业等需要实现-80℃低露点⼲燥和清洁的分布式⽓源。