LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
Mehrkanal-Kühler
Temperaturbereich -45℃~90℃, Präzise ±0.1℃, Unabhängige Steuerung
Kühlt mehrere Prozesse mit einer Einheit. Zuverlässig, kompakt und energiesparend.
Kühlt mehrere Prozesse mit einer Einheit. Zuverlässig, kompakt und energieeffizient.
Der FLTZ-Multikanal-Chiller kann eine unabhängige Temperaturregelung für jeden Kanal realisieren. Wir können denselben oder unterschiedliche Temperaturbereiche, Durchflussraten des Wärmeträgermediums usw. für jeden Kanal entsprechend Ihren Anforderungen einstellen.
Die Kanäle beeinflussen sich nicht gegenseitig. Selbst wenn ein Kanal ausfällt, beeinträchtigt dies nicht den Betrieb der anderen Kanäle.
Unsere FLTZ-Multikanal-Chiller-Reihe umfasst Standardmodelle mit zwei und drei Kanälen. Für spezielle Anwendungen bieten wir maßgeschneiderte Lösungen, die auf Ihre spezifischen Bedürfnisse zugeschnitten sind, einschließlich Kanalanzahl, Steuerungsparameter und Gerätegröße.
Merkmale von Multikanal-Chillern
1. Unabhängige Temperaturregelung
FLTZ-Variable-Frequenz-Multikanal-Chiller verfügen über eine Funktion zur unabhängigen Temperaturregelung für jeden Kanal. Unterschiedliche Kanäle können mit unterschiedlichen Temperaturbereichen, Heiz- und Kühlkapazitäten sowie Wärmeträgermedium-Durchflussraten ausgelegt werden. Je nach erforderlichem Temperaturbereich kann eine Dampfkältemaschine oder ein ETCU-kompressorfreiens Wärmeaustauschsystem ausgewählt werden.
2. Zentrale Steuerung
Die FLTZ-Mehrkanal-Kühler mit variabler Frequenz können mehrere Flüssigkeitskanalsysteme mit einem einzigen Hauptgerät steuern. Über ein System können Sie mehrere Kanäle aus der Ferne überwachen. Diese zentrale Steuerung verbessert nicht nur die Betriebseffizienz, sondern optimiert auch die Fehlerdiagnose und die Betriebsabläufe.
3. Spart Platz und reduziert die Verkabelung
Die verschiedenen Kanäle können Ausdehnungsbehälter, Kondensatoren, Kühlwassersysteme usw. verwenden, was die Menge an Verkabelung und die Gerätegröße effektiv reduziert und Ihre Mehrkanal-Kühler kompakter macht und weniger Fläche beansprucht.
4. Genaue und stabile Temperaturregelung
Die FLTZ-Mehrkanal-Kühler mit variabler Frequenz erreichen eine Temperaturregelgenauigkeit von bis zu ±0,1℃. Sie verwenden einen modellfreien selbstaufbauenden Baumalgorithmus und einen Hysterese-Prädiktor und steuern gleichzeitig Frequenzventilatoren, elektronische Expansionsventile und frequenzvariable Kompressoren, wodurch die Stabilität der Temperaturregelung bei schwankender Wärmelast gewährleistet wird.
5. Energieeinsparung durch variable Frequenz
Die FLTZ-Mehrkanal-Kühler mit variabler Frequenz sind mit einem frequenzgeregelten Kompressor, Lüfter und Pumpen ausgestattet, die die Motordrehzahl von Kompressor, Lüfter und Pumpe jeweils entsprechend der Last Ihrer Geräte steuern können.
6. Kompressorheizung
Wenn die Temperatur unter 40℃ liegt, können die Mehrkanal-Kühler das heiße Abgas durch das Expansionsventil zirkulieren lassen, und die zirkulierende Flüssigkeit kann ohne Heizgerät erwärmt werden.
7. Reduzierung der Wartungskosten der Pumpe
Die Kühler verwenden eine magnetgeführte Pumpe ohne mechanische Dichtung, wodurch kein Wellenabdichtungsleck auftritt, sodass es nicht erforderlich ist, die Pumpe regelmäßig auf Lecks zu prüfen oder die mechanische Dichtung zu ersetzen, was die Betriebskosten der Pumpe erheblich reduziert.
8. Kommunikationsfunktion
Die Kommunikationsprotokolle des Mehrkanal-Prozesskühlers umfassen die RS485-Schnittstelle mit Modbus-RTU-Protokoll und die Ethernet-Schnittstelle mit TCP/IP-Protokoll.
9. Benutzerfreundliches Touchscreen-Display
Dieser Mehrkanal-Umwälzkühler verwendet einen individuell gestalteten Farbtouchscreen, der nicht nur den Betriebszustand der Anlage in Echtzeit anzeigt, sondern auch abnormale Zustände im Betrieb der Anlage in Echtzeit überwacht. Die Bedienoberfläche ist einfach und leicht verständlich, und die Einstellungen können durch einfache Gesten und Wischbewegungen vorgenommen werden.
10. Globales Liefernetzwerk
LNEYA verfügt über ein umfassendes weltweites Netzwerk, und ihre Kühler werden in mehr als 30 Länder und Regionen exportiert. Sie hat Vertreter in vielen Ländern wie den USA, Kanada, Australien, Russland, Südkorea usw. Daher können wir Ihnen weltweit unsere Kühler und hochwertigen Dienstleistungen anbieten.
Anwendungen von Mehrkanal-Kühlern
FLTZ-Mehrkanal-Kühler werden in der Halbleiterindustrie aufgrund ihrer Vorteile wie präziser Temperaturregelung, unabhängiger Kreislaufverwaltung und schneller Kühlung weit eingesetzt. Die Anwendungsszenarien von Halbleiter-Kühlern umfassen die Waferfertigung, Verpackungstests, Fotolithografie, Ätzen, CVD/PVD-Abscheidung, Reinigungsprozesse usw.
• Fotolithografie
Das Belichtungssystem, optische Linsen, Laserlichtquellen und Maskenplatten der Fotolithografiemaschine erfordern eine präzise Temperaturkontrolle, um die Musterpräzision zu gewährleisten.
• Ätzen
Während des Plasmaätzens (RIE, ICP usw.) müssen die Kammer und Elektroden strikt temperaturkontrolliert werden, um eine gleichmäßige Ätzung zu gewährleisten. Der Kühler kann eine stabile Temperaturumgebung für die Ätzgeräte bereitstellen und Prozessabweichungen reduzieren.
• Deposición química de vapor (CVD) / Deposición física de vapor (PVD)
CVD (wie LPCVD, PECVD) und PVD (wie Sputterbeschichtung) werden für die Dünnfilmabscheidung verwendet, und die Temperaturkontrolle der Kammer und des Substrats beeinflusst die Qualität des Films.
• Ionimplantation
Der hochenergetische Teilchenstrahl, der während der Ionimplantation erzeugt wird, kann lokale hohe Temperaturen verursachen. Der Prozesskühler kann schnell Wärme abführen, um thermische Schäden am Wafer zu verhindern.
• Glühen
Während des Glühprozesses muss der Kühler die Kühlrate dynamisch anpassen, um die Aktivierungseffizienz der dotierten Atome zu optimieren.
• Feuchtreinigung
Wird verwendet, um deionisiertes Wasser innerhalb eines bestimmten Temperaturbereichs zu halten, um Fotoresistreste, Metallkontaminationen und Partikel zu entfernen.
• Chip-Verpackung
Im Verpackungsprozess von BGA, CSP, FCBGA usw. beeinflusst die Temperaturkontrolle der Schweiß- und Verpackungsmaterialien die Zuverlässigkeit.
Kühlt mehrere Prozesse mit einer Einheit. Zuverlässig, kompakt und energieeffizient. Specification
| Modell | FLTZ-203W-2T | |
| Pipeline | Kanal 1 | Kanal 2 |
| Temperaturbereich | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| Kühlleistung | ±0,1℃（Anpassbare Temperaturregelgenauigkeit von ±0,01℃） | |
| Heizleistung | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Durchflussmenge des wärmeleitenden Mediums | 2kW | 2kW |
| Anschlussgröße des Wärmeträgermediums | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
| Wärmeübertragungs-Schnittstelle | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatur in der Umgebung | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Luftfeuchtigkeit der Umgebung | 30～70% | 30～70% |
| Temperatur des Kühlwassers | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Kühlwasser-Durchflussrate | 20L/min | 20L/min |
| Gewicht | 400kg | |
| Abmessungen（cm） | 50*90*160 | |
| Modell | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| Pipeline | Kanal 1 | Kanal 2 |
| Temperaturbereich | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| Kühlleistung | ±0,1℃（Anpassbare Temperaturregelgenauigkeit von ±0,01℃） | |
| Heizleistung | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ | 13kW@+10℃ |
| Durchflussmenge des wärmeleitenden Mediums | 2kW | 6kW |
| Anschlussgröße des Wärmeträgermediums | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| Wärmeübertragungs-Schnittstelle | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatur in der Umgebung | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Luftfeuchtigkeit der Umgebung | 30～70% | 30～70% |
| Temperatur des Kühlwassers | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Kühlwasser-Durchflussrate | 40L/min | 20L/min |
| Gewicht | 550kg | |
| Abmessungen（cm） | 60*100*185 | |
| Modell | FLTZ-203W/2T Doppelsystem | FLTZ-305W/2T Doppelsystem | FLTZ-406W/2T Doppelsystem | |||
| Temperaturbereich | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0,1℃（Anpassbare Temperaturregelgenauigkeit von ±0,01℃） | |||||
| Durchflussmenge des wärmeleitenden Mediums | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Heizleistung | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Kühlleistung | 3kW @-15℃ | 3kW @-15℃ | 5kW @-15℃ | 5kW @-15℃ | 2.5kW @ -35℃ | 2.5kW @ -35℃ |
| Volumen der internen Zirkulationsflüssigkeit | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Schnittstelle zum Kühlwasser | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| Modell | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | Kanal 1 | Kanal 2 | Kanal 3 |
| Temperaturbereich | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| Temperaturstabilität | ±0,1℃（Anpassbare Temperaturregelgenauigkeit von ±0,01℃） | ||
| Kühlleistung | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| Heizleistung | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| Durchflussmenge des wärmeleitenden Mediums | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| Anschlussgröße des Wärmeträgermediums | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatur in der Umgebung | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Luftfeuchtigkeit der Umgebung | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Kühlwasser-Durchflussrate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatur des Kühlwassers | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Leistungsschalter | 100A | ||
| Gewicht | 600kg | ||
| Abmessungen（cm） | 60*100*170 | ||
| Modell | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | Kanal 1 | Kanal 2 | Kanal 3 |
| Temperaturbereich | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| Temperaturstabilität | ±0,1℃（Anpassbare Temperaturregelgenauigkeit von ±0,01℃） | ||
| Kühlleistung | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Heizleistung | 2kW | 6kW | Wärmeverlust der Pumpe |
| Durchflussmenge des wärmeleitenden Mediums | 30L/min 0.85MPa | 30L/min 0.85MPa | 20L/min 0.8MPa |
| Anschlussgröße des Wärmeträgermediums | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatur in der Umgebung | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Luftfeuchtigkeit der Umgebung | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Kühlwasser-Durchflussrate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatur des Kühlwassers | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Leistungsschalter | 75A | ||
| Gewicht | 600kg | ||
| Abmessungen（cm） | 60*100*170 | ||
Einzelkanal‑Produkte im Zusammenhang mit Mehrkanal‑Kühlern
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Wenn Sie eine unabhängige Temperaturregelung für mehrere verschiedene Geräte oder Prozesse benötigen und nicht mehrere unabhängige Kühler kaufen möchten, sind die FLTZ-Mehrkanal-Kühler eine sehr ideale Wahl.
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warum wählen LNEYA?
LNEYA wurde 2010 in Wuxi, China, gegründet. Das Unternehmen verfügt derzeit über eine Werksfläche von 25.000㎡
mit einer Jahresproduktion von 5.000 Einheiten und einem Produktionswert von über 300 Millionen für zwei aufeinanderfolgende Jahre.
Seit ihrer Gründung konzentriert sich LNEYA auf die Bereitstellung von Hoch- und Niedertemperatur-, Ultratiefsttemperatur- und präzisen Temperaturkontrolldiensten für Halbleiter, pharmazeutische Chemikalien, erneuerbare Energien, Luft- und Raumfahrt und andere Branchen.
Wir haben weltweit mehr als 30.000 Kunden bedient und verfügen über mehr als 130 Patente.
Unsere Kühler wurden für mehr als 100 Universitätslaborprojekte weltweit ausgewählt und in mehr als 20 Länder exportiert. Wir haben Vertreter in verschiedenen europäischen Ländern und Regionen.
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