Halbleiterkühler

Das Halbleiter-Temperiergerät Chiller wird hauptsächlich zur präzisen Temperaturregelung in Halbleiterproduktions- und Testprozessen eingesetzt.

Zu seinen Produkten gehören die Temperaturregelung von fluorierten Flüssigkeiten (mindestens -100 °C), die schnelle Temperaturänderung der Gaskühlung und -erwärmung, die schnelle Temperaturwechselspannvorrichtung, die Niedertemperatur-Gaskühlmaschine (-120 °C) und die Direktkühlungskühleinheit (-150 °C). °C) usw. Das Unternehmen wendet im System verschiedene Algorithmen (PID, Feedforward-PID und modellfreier, sich selbst aufbauender Baumalgorithmus) an, um eine schnelle Reaktion und eine hohe Regelgenauigkeit zu erreichen.