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Kühlverfahren für Halbleiterprüfkühler zur Erfüllung der Temperaturkontrollanforderungen

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Im biopharmazeutischen Bereich sind hochpräzise Temperaturmessungen erforderlich, um die Aktivität von Enzymen und die Produktion von Produkten zu steuern. In der chemischen Industrie sind bestimmte Temperaturen erforderlich, um chemische Reaktionen zu stabilisieren. Im Bereich der elektronischen Fertigung muss eine Umgebung mit konstanter Temperatur für verschiedene elektronische Komponenten bereitgestellt werden, damit diese stabil funktionieren und einen besseren Leistungsstatus erreichen, z. B. Rastersondenmikroskop, Quarzkristalloszillator, elektronischer Linearbeschleuniger usw.
Obwohl es in China viele Hersteller von Temperaturkontrollgeräten gibt, gibt es nur wenige selbst entwickelte Kühlgeräte für Halbleitertests. Insbesondere für die hochpräzise Messung und Steuerung haben Halbleiter-Testkühler ein Modell entwickelt, das hohe Genauigkeit und hohe Stabilität kombiniert. Das Hochleistungs-Temperaturregelsystem mit großem Einstellbereich ist von großer Bedeutung.

Kühlmethode eines Kühlers für Halbleitertests

1. Direktkühlungsmethode: Die Kühleinheit kühlt das Umlaufwasser direkt. Zuerst erfasst der Temperatursensor den Temperaturwert an den Temperaturregler, und dann steuert der Temperaturregler nach einem bestimmten Regelalgorithmus die Kühleinheit und die Heizeinheit, um Kühl- und Heizvorgänge durchzuführen und so die Temperatur nahe dem eingestellten Wert zu regeln. Wenn die Temperatur des zirkulierenden Wassers vom eingestellten Wert abweicht, führt das Steuersystem zunächst eine Kühl- oder Heizbehandlung durch. Wenn die Temperatur des zirkulierenden Wassers den eingestellten Schwellenwertbereich erreicht, wird die Temperatur des zirkulierenden Wassers schrittweise durch Feinabstimmung der Kühl- und Heizleistung stabilisiert.

Die Temperaturregelungsmethode regelt direkt das zirkulierende Wasser, die Temperaturregelungsgenauigkeit ist hoch und kann unter niedrigen Temperaturbedingungen verwendet werden; Der Nachteil besteht darin, dass die Systemstruktur und das Steuerungsprogramm kompliziert sind.

2. Indirekte Kühlmethode: Im Allgemeinen handelt es sich um eine Art Temperaturanpassungsmethode, um die erforderliche Wassertemperatur durch Anpassen des Durchflussverhältnisses des zirkulierenden Wassers mit zwei unterschiedlichen Temperaturen zu erreichen. Der Mischvorgang wird hauptsächlich durch die Einstellung der Öffnung des elektrischen Dreiwegeventils erreicht. Zuerst erfasst der Temperatursensor separat die Temperatur der beiden zirkulierenden Wasser und übermittelt den Temperaturwert an den Temperaturregler, und dann steuert der Temperaturregler die Öffnung des elektrischen Dreiwegeventils gemäß einem bestimmten Regelalgorithmus, d. h. Es steuert zwei unterschiedliche Wassertemperaturen. Das endgültige Mischungsverhältnis ist die Endtemperatur des zirkulierenden Wassers.

Der Chiller-Wärmetauscher für Halbleitertests ist ein weit verbreitetes indirektes Kühlgerät in der modernen industriellen Produktion. Es kann eine Wärmeübertragung zwischen zwei oder mehr Flüssigkeiten unterschiedlicher Temperatur erreicht werden, sodass die Temperatur der Hochtemperaturflüssigkeit oder der Niedertemperaturflüssigkeit den Prozessanforderungen entsprechen kann. . Während des Arbeitsprozesses des Wärmetauschers können durch Anpassung der Durchflussmenge des Mediums bzw. Kältemittels unterschiedliche Wärmeaustauschleistungen und Wärmeaustauscheffizienzen erreicht werden. Diese Art von Ausrüstung hat eine große Wärmeaustauschleistung, normalerweise mehr als mehrere hundert Kilowatt, und ist sperrig, was sich nicht einfach integrieren und transportieren lässt.

Der LNEYA-Halbleitertestkühler nutzt fortschrittliche Technologie zur Flüssigkeitstemperaturregelung und erforscht und untersucht aktiv Komponententestsysteme, die hauptsächlich zur Simulation von Temperaturtests in Halbleitertests verwendet werden. Er verfügt über eine breite Temperaturausrichtung und einen hohen Temperaturanstieg und -abfall. Der Temperaturbereich beträgt -92 °C bis 250 °C C, geeignet für verschiedene Testanforderungen und löst das Problem der Temperaturkontrollverzögerung in elektronischen Bauteilen. Die Ultrahochtemperatur-Kühltechnologie kann direkt ab 300 °C kühlen.

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