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MD Series Thermal Chuck

MD-Serie Thermofutter

ANWENDUNGEN

Can achieve rapid temperature changes and accurately control temperature. The system itself comes with a refrigerator, avoiding the consumption of liquid nitrogen, carbon dioxide, etc. Each system includes a chuck and a hot and cold control unit.

MD -75℃~225℃

 

Modell MD-708 MD-712 MDL-708
Temperaturbereich -75℃~225℃ -75℃~225℃ -75℃~225℃
Genauigkeit der Temperaturregelung ±0.5℃(Steady state outlet temperature)
Plate temp uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃
Flatness of the plate ±15um ±15um ±15um
Plate size Scheibe mit 200 mm Durchmesser Scheibe mit 300 mm Durchmesser 150mm*200mm
Host and card connection cable 2.5m(Other lengths can be customized)
Flache Oberflächenbehandlung Nickel plating (Optional gold plating)
Heizung -60°C bis +25°C: 2 min
0°C to +25°C: 2 min
+25°C bis +220°C: 6 min
Kühlung 220°C bis +25°C: 2 min
+25°C bis -60°C: 6 min
Kontrollsystem PLC controller, heating feedforward PID fuzzy algorithm, cooling electronic expansion valve PID
regulation control cooling capacity
Anzeige und Aufzeichnung 7 inch color touch screen, record curve temperature and alarm
Kommunikation Ethernet interface,TCP/IP protocol
Kompressor Tecumseh
Equipment dimensionmm 550*650*370 550*650*370 550*650*370

 

MD series provides an open surface flat work platform with rapid temperature rise and fall and constant temperature control. It is used for RF device and high-density power device testing. It can also be used for rapid cooling of laboratory flat panels (plasma, biological products, batteries), etc. The refrigerant is directly evaporated inside the flat panel, which greatly improves the heat exchange efficiency compared to the liquid cooling method and increases the heat exchange power of the flat panel per unit area.

 

 

ANWENDUNGEN

Temperatursteuerungslösung für Halbleiter-Packaging und -Testverfahren

Der Prozess der Halbleiterverpackung und -prüfung ist ein wichtiges Glied im Halbleiterproduktionsprozess, einschließlich der Waferprüfung, der Chipverpackung und der Prüfung nach der Verpackung. Dieser Prozess erfordert nicht nur hohe Präzision und Zuverlässigkeit, sondern auch eine strenge Temperaturkontrolle, um Produktqualität und Leistung zu gewährleisten.

Materialien für die Luft- und Raumfahrt | Lösung für die Temperaturkontrolle von Prüfgeräten

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