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MD Series Thermal Chuck

MD-Serie Thermofutter

ANWENDUNGEN

Can achieve rapid temperature changes and accurately control temperature. The system itself comes with a refrigerator, avoiding the consumption of liquid nitrogen, carbon dioxide, etc. Each system includes a chuck and a hot and cold control unit.

MD -75℃~225℃

 

Modell MD SERIES
Temperaturbereich -75℃~225℃
Temperaturregelgenauigkeit ±0,5℃(Stabiler Ausgangstemperatur)
Plattentemperaturgleichmäßigkeit ±1℃
Ebenheit der Platte ±15um
Host- und Kartenanschlusskabel 2,5 m (andere Längen können angepasst werden)
Flächenbehandlung Nickelbeschichtung (optional Vergoldung)
Heizen -60°C bis +25°C: 2 min
0°C to +25°C: 2 min
+25°C bis +220°C: 6 min
Kühlung 220°C bis +25°C: 2 min
+25°C bis -60°C: 6 min
Steuerungssystem PLC-Steuerung, Heiz-Feedforward-PID-Fuzzy-Algorithmus, Kühlungs-PID mit elektronischem Expansionsventil
Regelung der Kühlleistung
Anzeige und Aufzeichnung 7-Zoll-Farb-Touchscreen, Aufzeichnung der Temperaturkurve und Alarm
Kommunikation Ethernet interface,TCP/IP protocol
Wafer carrier Nickel-platedgold/non-conductive coating)ithflexible chuckconnectionforeasy carrierlatereplacement
Wafersaugtyp     ensuring surfaceflatnesswithin3um<10um
Power supply 220V50HZ     Vacuum Chuck System
Communication mode     200~230VA50/60HZmax

 

MD series provides an open surface flat work platform with rapid temperature rise and fall and constant temperature control. It is used for RF device and high-density power device testing. It can also be used for rapid cooling of laboratory flat panels (plasma, biological products, batteries), etc. The refrigerant is directly evaporated inside the flat panel, which greatly improves the heat exchange efficiency compared to the liquid cooling method and increases the heat exchange power of the flat panel per unit area.

 

 

ANWENDUNGEN

Temperatursteuerungslösung für Halbleiter-Packaging und -Testverfahren

Der Prozess der Halbleiterverpackung und -prüfung ist ein wichtiges Glied im Halbleiterproduktionsprozess, einschließlich der Waferprüfung, der Chipverpackung und der Prüfung nach der Verpackung. Dieser Prozess erfordert nicht nur hohe Präzision und Zuverlässigkeit, sondern auch eine strenge Temperaturkontrolle, um Produktqualität und Leistung zu gewährleisten.

Materialien für die Luft- und Raumfahrt | Lösung für die Temperaturkontrolle von Prüfgeräten

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