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  • LTS -40℃~80℃

    207

    Temperaturregelung während der Halbleiterfertigung. Durchflussregelung 12 l/min bis 45 l/min. Temperaturgenauigkeit ±0.1 ℃ bei 40 ℃ bis -10 ℃

    Details
  • LTS -60℃~80℃

    142

    Durchflussregelung 12 l/min bis 45 l/min. Temperaturgenauigkeit ±0.1 ℃ bei -60 ℃ bis -30 ℃

    Details
  • LTS -80℃~80℃

    110

    Durchflussregelung 12 l/min bis 45 l/min. Temperaturgenauigkeit ±0.1 ℃ bei -60 ℃ bis -30 ℃

    Details
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