Steuerverfahren für einen Halbleiter-Testkühler zur Erfüllung der Temperaturanforderungen

Im biopharmazeutischen Bereich sind hochpräzise Temperaturmessungen erforderlich, um die Aktivität von Enzymen und die Produktion von Produkten zu steuern. In der chemischen Industrie sind bestimmte Temperaturen erforderlich, damit chemische Reaktionen stabil ablaufen. Im Bereich der Elektronikfertigung muss eine Umgebung mit konstanter Temperatur für verschiedene elektronische Komponenten bereitgestellt werden, damit diese stabil funktionieren und eine bessere Leistung erzielen, z. B. Quarzkristalloszillatoren, elektronische Linearbeschleuniger usw.

Obwohl es viele inländische Hersteller von Temperaturkontrollgeräten gibt, gibt es nur sehr wenige unabhängig entwickelte Halbleitertestkühler, insbesondere im Bereich der hochpräzisen Messung und Steuerung. Hersteller von Halbleitertestkühlern haben eine Methode entwickelt, die hohe Genauigkeit, hohe Stabilität und einen breiten Einstellbereich berücksichtigt. Das Angebot an Hochleistungs-Temperiersystemen ist beträchtlich.

Derzeit gibt es zwei Arten der direkten Kühlung und der indirekten Kühlung.

Bei der Direktkühlmethode handelt es sich um eine Methode, bei der die Kühleinheit das zirkulierende Wasser direkt kühlt. Zuerst erfasst der Temperatursensor den Temperaturwert an den Temperaturregler, und dann steuert der Temperaturregler nach einem bestimmten Regelalgorithmus die Kühleinheit und die Heizeinheit, um jeweils Kühl- und Heizvorgänge durchzuführen, um die Temperatur in der Nähe zu regeln Wert einstellen. Wenn die Temperatur des zirkulierenden Wassers vom eingestellten Wert abweicht, führt das Steuersystem zunächst einen Kühl- oder Heizvorgang durch. Nachdem die Temperatur des zirkulierenden Wassers den eingestellten Schwellenwert erreicht hat, wird die Temperatur des zirkulierenden Wassers durch Feinabstimmung der Kühl- und Heizleistung schrittweise stabilisiert.

Die Temperaturregelungsmethode regelt das zirkulierende Wasser direkt, weist eine hohe Temperaturregelungsgenauigkeit auf und kann unter niedrigen Temperaturbedingungen eingesetzt werden. Der Nachteil besteht darin, dass die Systemstruktur und das Steuerungsprogramm kompliziert sind.

Bei der indirekten Kühlmethode handelt es sich im Allgemeinen um eine Temperaturanpassungsmethode, bei der die Durchflussverhältnisse des zirkulierenden Wassers bei zwei verschiedenen Temperaturen angepasst und gemischt werden, um die erforderliche Wassertemperatur zu erhalten. Der Mischvorgang wird hauptsächlich durch die Einstellung der Öffnung des elektrischen Dreiwegeventils erreicht. Zuerst erfasst der Temperatursensor die Temperatur der beiden zirkulierenden Gewässer und übermittelt den Temperaturwert an den Temperaturregler. Anschließend steuert der Temperaturregler die Öffnung des elektrischen Dreiwegeventils gemäß einem bestimmten Steueralgorithmus, d. h. Die beiden Wassertemperaturen werden kontrolliert. Das Mischungsverhältnis liegt über der Umwälztemperatur der erforderlichen Temperatur.

Halbleiter-Testkühler Wärmetauscher sind in der modernen industriellen Produktion weit verbreitete indirekte Kühlgeräte, die eine Wärmeübertragung zwischen zwei oder mehr Flüssigkeiten mit unterschiedlichen Temperaturen realisieren können, sodass die Temperatur von Hochtemperaturflüssigkeiten oder Niedertemperaturflüssigkeiten den Prozessanforderungen entsprechen kann. Während des Betriebs des Wärmetauschers werden durch die Anpassung der Durchflussmenge des Mediums bzw. Kältemittels unterschiedliche Wärmeaustauschleistungen und Wärmeaustauscheffizienzen erreicht. Diese Art von Ausrüstung hat eine große Wärmeaustauschleistung, normalerweise Hunderte von Kilowatt oder mehr, und ist sperrig und schwierig zu integrieren und zu transportieren.

Die LL-Serie von LNEYA ist ein Kühler, der speziell für den Bereich der Elektronikproduktionsprüfung entwickelt wurde. Dieses Gerät wird hauptsächlich zum Kühlen des Heizteils von Halbleiterfertigungsanlagen, zum Kühlen des Heizteils von Lasergeräten und zum Analysieren des Heizteils von Erkennungsgeräten verwendet. Das neueste Upgrade dient nicht nur der Kühlung, sondern auch der Heizung. Der Temperaturregelbereich kann -5 ° C bis 85 ° C erreichen, was die Leistung von Präzisionskühlwasserzirkulationsgeräten verbessert und den Anwendungsbereich der Geräte erweitert.