LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
Alle Modelle von Halbleiter-Kühlern
Peltier-Kühler
TEC -20℃~90℃
TEMPERATURGENAUIGKEIT ±0.1℃
Bietet eine zuverlässige und präzise Temperaturregelung für den Wafer-Ätzprozess
Temperatura del punto de rocío
≤30℃
≤30℃
Versorgungsspannung
AC208V-DC250V
Versorgungsspannung
AC208V-DC250V
Versorgungsspannung
CDA-Aktivierungstemperatur
＜30℃
＜30℃
Der LNEYA-Peltier-Thermoelektrikkühler bietet einen Temperaturbereich von -20 bis 90℃ und ist maßgeschneidert für die Halbleiterindustrie;
Basierend auf dem bewährten Peltier-Wärmeleitungsprinzip kann das Peltier-Temperaturregelsystem eine wiederholbare Temperaturkontrolle für Plasmaätzanwendungen bieten; die dynamische Temperaturregelung der elektrostatischen Spannzange (ESC) ermöglicht den Einsatz in allen Arten von Ätzprozessen.
TEC SERIES
-20°C
niedrigste
90°C
Höchste
±0.1°C
Genauigkeit der Temperaturregelung
| Modell | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| Temp. Bereich | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | |
| Kühlleistung | 20℃ | 1200w | 2450w | 4500w |
| 10℃ | 900w | 1925w | 3500w | |
| 0℃ | 600w | 1400w | 2600w | |
| -10℃ | 350w | 875w | 1600w | |
| -20℃ | 80w | 350w | 700w | |
| Heizleistung | ＞3000w | ＞6000w | ＞12000w | |
| Pump type | DC magnetic pump | DC magnetic pump | DC magnetic pump | |
| Pressure（bar） | ≤4 | ≤4 | ≤4 | |
| Durchfluss | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | |
| Fluid | Galden HT135 | Galden HT135 | Galden HT135 | |
| Kühlwassertemperatur | DI＜20℃ | DI＜20℃ | DI＜20℃ | |
| Cooling Water Flow | ≤12L/min | ≤20L/min | ≤32L/min | |
| Pressure | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | |
| Durchfluss | 2-3m³/h | 2-3m³/h | 2-3m³/h | |
Funktionsprinzip
1. Wafer-Träger (Chuck wafer carrier) 2. Umwälzpumpe (Circulation pump) 3. Steuerung (Controller) 4. Thermoelektrisches Wärmeaustauschmodul (Thermoelectric heat exchange module) 5. Leistungsmodul (Power module) 6. Kühlwasserzulauf (Cooling water inlet) 7. Kühlwasserauslauf (Cooling water outlet)
Diese Vor-Ort-Temperaturregelungslösung verbessert die Prozessgleichmäßigkeit zwischen Wafer-Chargen und zwischen Kammern erheblich. Funktionsweise: Die Echtzeitüberwachung der Reflow-Wellenkörpertemperatur der Kammer wird verwendet, um die Versorgungstemperatur dynamisch anzupassen und Änderungen der Wärmebelastung während des Prozesses auszugleichen. *Vor-Ort-Temperaturregelungssystem *Schnelle Anstiegsraten verbessern die Kammerdurchsatzrate erheblich *Kompressorfreies System am Einsatzort reduziert den Energieverbrauch um ca. 50%
PELTIER CHILLER FEATURES
Sie arbeiten vollständig ohne Kältemittel und erfordern nur sehr wenig Wartung.
Sie können unserer Peltier-Chiller-Fabrik vertrauen
Wir sind ein sehr leistungsstarker Kühlerlieferant mit eigener Fabrik und mehr als 20 Jahren Erfahrung im Bereich der Temperaturregelung
Globaler Service
Mehr als 30.000 Kunden bedient.
Export in über 20 Länder.
Zertifizierungspatente
Hat CE-Zertifizierung, SGS-Zertifizierung, ISO-Zertifizierung erhalten
Kundendienst
Umfassende technische Schulungen anbieten.
Mit 24/7-Lösungen.
Professionelles Team
Gegründet 2010, mit 15 Jahren Branchenerfahrung.
20 % der Mitarbeiter sind Techniker.
Qualitätskontrolle
Sichtprüfung.
Leistungstest.
Elektrische Sicherheitsprüfung.
FAQ
Der Peltier-Kühler bietet eine schnelle und präzise Temperaturregelung und kann alle anspruchsvollen Prozessanforderungen erfüllen
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