LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
ALL Semiconductor chillers model
Peltier-Kühler
TEC -20℃~90℃
TEMPERATURE ACCURACY ±0.1℃
Provide reliable and precise temperature control for wafer etching process
Dew point temperature
≤30℃
≤30℃
Power supply voltage
AC208V-DC250V
three-phase voltage
AC208V-DC250V
three-phase voltage
CDA activation temperature
＜30℃
＜30℃
LNEYA Peltier chiller thermoelectric cooler temperature range from -20 to 90℃, tailor-made for the semiconductor industry;
Based on the proven Peltier heat conduction principle, the Peltier temperature control system can provide repeatable temperature control for plasma etching applications; dynamic temperature control of the electrostatic chuck (ESC) enables it to be applied to all types of etching processes.
TEC SERIES
-20°C
niedrigste
90°C
Höchste
±0.1°C
Genauigkeit der Temperaturregelung
| Modell | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| Temp. Bereich | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | |
| Kühlleistung | 20℃ | 1200w | 2450w | 4500w |
| 10℃ | 900w | 1925w | 3500w | |
| 0℃ | 600w | 1400w | 2600w | |
| -10℃ | 350w | 875w | 1600w | |
| -20℃ | 80w | 350w | 700w | |
| Heizleistung | ＞3000w | ＞6000w | ＞12000w | |
| Pump type | DC magnetic pump | DC magnetic pump | DC magnetic pump | |
| Pressure（bar） | ≤4 | ≤4 | ≤4 | |
| Durchfluss | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | |
| Fluid | Galden HT135 | Galden HT135 | Galden HT135 | |
| Kühlwassertemperatur | DI＜20℃ | DI＜20℃ | DI＜20℃ | |
| Cooling Water Flow | ≤12L/min | ≤20L/min | ≤32L/min | |
| Pressure | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | |
| Durchfluss | 2-3m³/h | 2-3m³/h | 2-3m³/h | |
Dynamic temperature control principle
1.Chuck wafer carrier
2.Circulation pump
3.Controller
4.Thermoelectric heat exchange module
5.Power module
6.Cooling water inlet
7.Cooling water outlet
This on-site temperature control solution significantly improves process uniformity between wafer batches and between chambers.
How it works: Real-time monitoring of the chamber’s reflow wave body temperature is used to dynamically adjust the supply temperature to compensate for changes in heat load during the process.
*On-site temperature control system
*Fast ramp rates significantly improve chamber throughput
*Compressor-free point-of-use system reduces energy consumption by approximately 50%
PELTIER CHILLER FEATURES
They operate completely without refrigerant and require very little maintenance.
Sie können unserer Fabrik für mobile Kühlgeräte vertrauen
Wir sind ein sehr leistungsstarker Kühlerlieferant mit eigener Fabrik und mehr als 20 Jahren Erfahrung im Bereich der Temperaturregelung
Globaler Dienst
Mehr als 30.000 Kunden bedient.
Exportiert in mehr als 20 Länder.
Zertifizierung von Patenten
Hat die CE-Zertifizierung, SGS-Zertifizierung und ISO-Zertifizierung erhalten.
Service nach dem Verkauf
Bereitstellung umfassender technischer Schulungen.
Mit 24/7-Lösungen.
Professionelles Team
Gegründet im Jahr 2010, mit 15 Jahren Branchenerfahrung.
20% der Beschäftigten sind Techniker.
Qualitätskontrolle
Sichtprüfung.
Leistungstest.
Prüfung der elektrischen Sicherheit.
FAQ
Peltier chiller fast and precise temperature control, able to meet any demanding process requirements
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