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Peltier-Kühler

TEC -20℃~90℃

TEMPERATURE ACCURACY ±0.1℃

Provide reliable and precise temperature control for wafer etching process

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<trp-post-container data-trp-post-id='14885'>Peltier Chiller</trp-post-container>（images 1）
Dew point temperature

≤30℃


Power supply voltage

AC208V-DC250V
three-phase voltage


CDA activation temperature

＜30℃



LNEYA Peltier chiller thermoelectric cooler temperature range from -20 to 90℃, tailor-made for the semiconductor industry;
Based on the proven Peltier heat conduction principle, the Peltier temperature control system can provide repeatable temperature control for plasma etching applications; dynamic temperature control of the electrostatic chuck (ESC) enables it to be applied to all types of etching processes.

TEC SERIES

-20°C

niedrigste

90°C

Höchste

±0.1°C

Genauigkeit der Temperaturregelung


ModellTEC-1200WTEC-2500WTEC-4500W
Temp. Bereich-20℃~90℃-20℃~90℃-20℃~90℃
Kühlleistung20℃1200w2450w4500w
10℃900w1925w3500w
0℃600w1400w2600w
 -10℃350w875w1600w
 -20℃80w350w700w
Heizleistung＞3000w＞6000w＞12000w
Pump typeDC magnetic pumpDC magnetic pumpDC magnetic pump
Pressure（bar）≤4≤4≤4
Durchfluss15L/min at 2bar15L/min at 2bar15L/min at 2bar
FluidGalden HT135Galden HT135Galden HT135
KühlwassertemperaturDI＜20℃DI＜20℃DI＜20℃
Cooling Water Flow≤12L/min≤20L/min≤32L/min
Pressure0.5-0.8bar0.5-0.8bar0.5-0.8bar
Durchfluss2-3m³/h2-3m³/h2-3m³/h

Funktionsprinzip

<trp-post-container data-trp-post-id='14885'>Peltier Chiller</trp-post-container>（images 2）

1.Chuck wafer carrier
2.Circulation pump
3.Controller
4.Thermoelectric heat exchange module
5.Power module
6.Cooling water inlet
7.Cooling water outlet

This on-site temperature control solution significantly improves process uniformity between wafer batches and between chambers.
How it works: Real-time monitoring of the chamber’s reflow wave body temperature is used to dynamically adjust the supply temperature to compensate for changes in heat load during the process.
*On-site temperature control system
*Fast ramp rates significantly improve chamber throughput
*Compressor-free point-of-use system reduces energy consumption by approximately 50%

PELTIER CHILLER FEATURES

They operate completely without refrigerant and require very little maintenance.
Improve the stability of Wafer-Wafer
Modular components make maintenance more convenient; use of perfluorinated liquid.
When heating and direct cooling, the hot and cold parts are not in direct contact with the thermal fluid;
Temperature drift protection function makes the etching profile more stable;
High reliability and low cost of use; small industrial space occupancy; extremely low thermal fluid filling volume;
Low energy consumption, no compressor and refrigerant system, and output only when there is load, greatly reducing energy consumption.

ALL Semiconductor chillers model

<trp-post-container data-trp-post-id='14885'>Peltier Chiller</trp-post-container>（images 3）

FLTZ 5℃~90℃
Prozesskühler

Kühlleistung 6kW~40kW
Kühlwasserfluss 1,5m³/h~9m³/h
Temperaturgenauigkeit ±0.05℃

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FLTZ -25℃～90℃
Enfriadores térmicos

Kühlleistung 2kW~15kW
Kühlwasserfluss 1,2m³/h~10,2m³/h
Temperaturgenauigkeit ±0.05℃

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FLTZ -45℃～90℃
Niedertemperatur-Kühlgeräte

Kühlleistung 1kW~8kW
Kühlwasserfluss 1,5m³/h~8m³/h
Temperaturgenauigkeit ±0.05℃

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FLTZ -80℃～+90℃
Umlaufwasserkühler

Kühlleistung 0,6kW~3kW
Kühlwasserfluss 1,8m³/h~6m³/h
Temperaturgenauigkeit ±0.05℃

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FLTZ -100℃～+90℃
Zirkulationschiller

Kühlleistung 1,5kW~3kW
Kühlwasserfluss 50L/min~100L/min 2bar~7bar
Temperaturgenauigkeit ±0.05℃

Leran more

You can trust our Peltier chiller factory

Wir sind ein sehr leistungsstarker Kühlerlieferant mit eigener Fabrik und mehr als 20 Jahren Erfahrung im Bereich der Temperaturregelung

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Globaler Service

Mehr als 30.000 Kunden bedient.
Export in über 20 Länder.

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Zertifizierungspatente

Hat CE-Zertifizierung, SGS-Zertifizierung, ISO-Zertifizierung erhalten

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Kundendienst

Umfassende technische Schulungen anbieten.
Mit 24/7-Lösungen.

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Professionelles Team

Gegründet 2010, mit 15 Jahren Branchenerfahrung.
20 % der Mitarbeiter sind Techniker.

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Qualitätskontrolle

Sichtprüfung.
Leistungstest.
Elektrische Sicherheitsprüfung.

FAQ

Peltier chiller fast and precise temperature control, able to meet any demanding process requirements

There are 3 models of Peltier chillers in our LNEYA TEC series, all of which are water-cooled.

Yes. We accept customization. Deionized water is used as cooling water, and the water temperature is less than 20℃

As an external energy-saving temperature control unit in the semiconductor testing industry. Thermoelectric cooler TEC consists of a Peltier module, a radiator, a water cooling head, a water pump, a water tank and a power supply.

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86 18914253067

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E-Mail Adresse

market@lneya.com