LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
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Qualitätskontrolle
Qualitätsprüfung.
Prozesskühler
Wassergekühlter Chiller und luftgekühlter Chiller
LENYA Hoch–Präzision Kühler / Chiller ensure the controllable accuracy of ± 0.05℃
höhere Temperaturregelgenauigkeit, größerer Temperaturregelbereich und schnellere Kühlgeschwindigkeit.
Prozesskühler
thermal chiller
Umlaufwasserkühler
FLTZ -25℃~90℃ Process Chillers
FLTZ -25℃~90℃ ist ein kompakter integrierter Niedertemperatur-Prozess-Chiller mit einem vollständig geschlossenen System. Die niedrige Temperatur verhindert die Feuchtigkeitsaufnahme aus der Luft, während die hohe Temperatur das Verdampfen des Wärmeübertragungsmediums oder die Bildung von Ölsprühen verhindert. Das System kann das Wärmeübertragungsmedium automatisch in den Kreislauf nachfüllen.
As a trusted industrial chiller supplier, LNEYA provides chillers with high temperature control accuracy. FLTZ -25℃~90℃ offers a wide temperature range and precision control up to ±0.05℃Es liefert schnelles Kühlen und erfüllt die Anforderungen verschiedener Prozesse, wodurch eine stabile Leistung und zuverlässiger Betrieb gewährleistet werden.
Parameter des FLTZ -25℃~90℃ Process Chillers
“W”represents optional water cooling, default air cooling.
| FLTZ SERIES | 002 002W | 003 003W | 004 004W | 006 006W | 008 008W | 010 010W | 015 015W |
| Temperaturbereich | 5℃～90℃ | ||||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.05℃（Ausgangstemperatur im stationären Zustand） | ||||||
| Kühlleistung @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| Kältemittel | R410A | ||||||
| Kühlwasserfluss @20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Kältemittel | R410A | ||||||
| Größe der Verbindung | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Anschlussgröße für Kühlwasser | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Kühlmedium | Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, Polyol-Wasserlösung, DI usw. (DI-Temperatur muss über 10℃ kontrolliert werden) | ||||||
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Die entfernte Zieltemperatur kann durch die Kombination des selbst erstellten modellfreien Selbststeuerungssystems gesteuert werden. Baumaufbaualgorithmus und Kaskadenalgorithmus | ||||||
Merkmale der Prozess-Chiller FLTZ -25℃~90℃
Genauigkeit der Temperaturregelung
Using three-point sampling (temperature of the measured object, inlet and outlet temperature of the temperature control system), the model-free self-building algorithm and the general anti-lag cascade algorithm are combined, and the controller predicts the control action without large lag.
Temperaturbereich
The temperature control range of FLTZ -25℃~90℃ process chiller is from -25℃ to 90℃, which meets the temperature control requirements in most process processes. There is no need to replace other chillers during the process, which improves production efficiency.
Kommunikationsfunktion
Die Kommunikationsprotokolle des Prozess-Chillers umfassen die RS485-Schnittstelle mit dem Modbus RTU-Protokoll und die Ethernet-Schnittstelle mit dem TCP/IP-Protokoll, sodass eine Kommunikation mit Ihrer Ausrüstung oder der Aufbau eines Systems möglich ist.
Energiesparen mit variabler Frequenz
The chiller is equipped with a variable frequency pump. You can set the output pressure and flow of the circulating fluid on the operation panel. Under various piping conditions, the variable frequency pump can automatically control the set output pressure and flow without bypass pipe adjustment, thereby reducing the power consumed by the pump and achieving energy saving.
Farb-Touchscreen
FLTZ -25℃~90℃ process chiller adopts LNEYA customized color touch screen, which can display various real-time information on the screen, such as the temperature and pressure of the inlet and outlet fluids, the current and voltage of each component, the liquid level of the water tank, etc.
Compression heating
When the temperature is within 40℃, FLTZ -25℃~90℃ process chiller can use the hot air generated by the compressor for heating without using a heater, which can achieve energy saving while recovering the heat generated by the compressor.
Kein Leck
The entire system of the FLTZ -25℃~90℃ industrial process chiller is a fully closed circulation system, equipped with various well-known brands of magnetic drive pumps, which can effectively avoid leakage risks.
Qualitätskontrolle
Jeder Prozess-Chiller wird einer 100%-Heliumprüfung und Sicherheitsinspektion unterzogen und 24 Stunden lang auf kontinuierlichen Betrieb getestet, um sicherzustellen, dass das erhaltene Equipment sicher und zuverlässig ist.
Application of FLTZ -25℃~90℃ Process Chillers
FLTZ -25℃~90℃ process chillers are commonly used in the semiconductor industry to assist front-end and back-end processes.
• Waferkühlung und -heizung
Während des Fotolithografie- und Ätzprozesses muss sichergestellt werden, dass der Wafer innerhalb eines bestimmten Temperaturbereichs bleibt. Die Prozess-Chiller FLTZ -25℃~90℃ können eine stabile niedrige oder hohe Temperaturumgebung bereitstellen, um die Stabilität des Materials zu gewährleisten und die Auswirkungen von Temperaturänderungen auf den Prozess zu vermeiden.
• Genaues Temperaturmanagement im Fotolithografieprozess
During the photolithography process, the temperature control of the exposure system is very important for the curing of the photo resist and the quality of pattern transfer. FLTZ -25℃~90℃ semiconductor chillers can ensure that the exposure system remains at a stable temperature.
• Temperaturkontrolle während der Verpackung
Während des Verpackungsprozesses wird die Ausdehnung und Kontraktion des Materials von Temperaturänderungen beeinflusst. Die industriellen Prozess-Chiller FLTZ -25℃~90℃ können die Temperatur genau anpassen, um Spannungen, Risse und andere Probleme zu vermeiden, die durch Temperaturunterschiede während des Verpackungsprozesses entstehen, und die Verpackungsqualität sicherzustellen.
• Umweltanpassungstest
Some semiconductor components will work at extreme temperatures. FLTZ -25℃~90℃ chiller can provide a wide temperature control range (-25℃ to 90℃) to test the performance of components under different temperature conditions and ensure the environmental adaptability of the product.
FLTZ -25℃~90℃ Process Chillers Related standard Chillers
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