LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
AI Series Circulating Air Refrigeration Unit
ANWENDUNGEN
Applied to high and low temperature testing of semiconductor equipment. Electronic equipment high and low temperature constant temperature test cold and heat source; independent refrigeration cycle fan unit; can work continuously for a long time, automatic defrosting, and the defrosting process does not affect the storage temperature.
Produkt-Parameter
AI -105℃～+125℃
| Modell | AI-6535 AI-6535W |
AI-8035W | AI-1055W | |
| Temperaturbereich | -65℃～+125℃ | -80℃～+125℃ | -105℃～+125℃ | |
| Kontrollmodus | PID Adaptiver Regler | |||
| Kommunikationsprotokoll | MODBUS RTU Protokoll, RS 485 Schnittstelle | |||
| Temperaturrückführung | PT100 | |||
| Bedienfeld | 7-inch touch screen, show temp. curve/ EXCEL date output | |||
| Temperaturgenauigkeit | ±0,05℃ (stationäre Austrittstemperatur) | |||
| Heizleistung | 3,5KW | 3,5 kW | 3,5 kW | |
| Kühlung Kapazität |
125℃ | 3,5KW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| 50℃ | 3,5 kW | 3,5 kW | 3,5 kW | |
| 20℃ | 3,5 kW | 3,5 kW | 3,5 kW | |
| 0℃ | 3,5 kW | 3,5 kW | 3,5 kW | |
| -20℃ | 3kW | 3,5 kW | 3,5 kW | |
| -40℃ | 2.1KW | 2,5 kW | 3,5 kW | |
| -60℃ | 1KW | 2.1kw | 3kw | |
| -75℃ | 1kw | 2kw | ||
| -95 | 1KW | |||
| Umwälzluftstrom | 550m³/h | |||
| Ein- und Ausgangsluftschnittstelle | DN125 | |||
| Kompressor | Emerson Copeland scroll flexible compressor | |||
| Schutz der Sicherheit | Self-diagnosis function; Phase sequence protection. freezer overload protection; high pressure switch. overload relay. thermal protection device. |
|||
| Abtauvorrichtung | Im Inneren sind eine Abtauvorrichtung und ein Kondensatablauf installiert | |||
| Continuous running | Running continuously | |||
| Timing operation | Can set timed start and stop time | |||
| Kältemittel | R404A R23 | R404A R508B | R404A R23 R14 | |
| Wassergekühlt | 1200L/H 1.5bar~4bar | 1600L/H 1.5bar~4bar | 2600L/H 1.5bar~4bar | |
| Abmessungen（cm） | 55*100*175 | 55*100*175 | 70*100*175 | |
| Gewicht | 280kg | 300kg | 360kg | |
| Material der Schale | Cold rolled sheet spray coating REL 7035 | |||
1. Weit verbreitet in hohen und niedrigen Temperaturen Prüfung von Halbleiter-Ausrüstung.Kälte- und Wärmequelle von elektronischen Geräten bei hohen Temperaturen und niedrigen Temperaturen;
2. Unabhängige Umlufteinheiten für die Kühlung;
3. Kann kontinuierlich für eine lange Zeit arbeiten, automatische Abtauung, Abtauung Prozess hat keinen Einfluss auf die Lagertemperatur;
4. Modularer Aufbau, einfacher Ersatz der Ersatzmaschine (wenn es 10 Maschinen gibt, so lange wie eine Standby-Einheit kann);
5. Lösen Sie häufige offene und geschlossene Türen, Verdampfungssystem Vereisung Probleme;Verdampfung System Abtauung Prozess nicht beeinträchtigen.
6. Konstruieren Sie eine Reihe von hohen und niedrigen Temperatur und konstante Gewächshaus (nach den Zeichnungen zur Verfügung gestellt, kann die Box zusammen wie Bausteine, um den Strom und Wasser zu verbinden und stellen Sie die Temperatur zu arbeiten verbunden werden)
Product Advantages
- Effiziente Produktionsstabilität und Wiederholbarkeit sind das Ergebnis;
- Einsatz von Plattenwärmetauschern und Rohrleitungsheizungen zur Verbesserung der Kühl- und Heizleistung;
- Sehr breiter Temperaturbereich, kein Austausch des flüssigen Mediums erforderlich;
- Vollständig geschlossenes System, das die Lebensdauer von wärmeleitenden Flüssigkeiten verlängert;
- Da die Pumpe magnetisch angetrieben wird, gibt es kein Problem mit einer undichten Wellendichtung;
- Hochtemperatur-Kühltechnik, direkt den Kompressor zu starten, um bei 300 ℃ abkühlen.
Die Pumpe mit variabler Frequenz kann den Druck und den Durchfluss des Hydraulikkreislaufs einstellen
client output signal
Kommunikationsfunktion
ANWENDUNGEN
Temperaturkontrolleinheit eines Halbleiter-FAB-Prozesses
Die Halbleiterherstellung ist ein Prozess mit extrem hohen Umweltanforderungen, und viele Prozessschritte sind sehr temperaturempfindlich.
Eine präzise Temperaturregelung kann eine gleichmäßige Dicke und genaue Zusammensetzung der abgeschiedenen Schichten gewährleisten und so die Chipleistung und den Ertrag verbessern.
for Semiconductor packaging & testing process
Der Prozess der Halbleiterverpackung und -prüfung ist ein wichtiges Glied im Halbleiterproduktionsprozess, einschließlich der Waferprüfung, der Chipverpackung und der Prüfung nach der Verpackung. Dieser Prozess erfordert nicht nur hohe Präzision und Zuverlässigkeit, sondern auch eine strenge Temperaturkontrolle, um Produktqualität und Leistung zu gewährleisten.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
LNEYA provides customized Chiller services
custom chiller sizes
Ob es sich um tragbare, kompakte, große oder kleine Kältemaschinen handelt, wir können sie nach Ihren Anforderungen gestalten. Ganz gleich, wie viele Tonnen Kühler Sie benötigen, wir können die beste Lösung entwickeln.
custom chiller types
Wir bieten Kältemaschinen verschiedener Kältetypen an, einschließlich, aber nicht beschränkt auf luftgekühlte, wassergekühlte und Verdunstungs-Kondensationskältemaschinen. Unabhängig von der Art des Kältekompressors können wir ihn nach Ihren Anforderungen konstruieren.
custom temperature ranges
Wir können eine kundenspezifische Lösung für Temperaturen von -150℃ bis +350℃ entwickeln. Kundenspezifische Temperaturbereiche für bestimmte Branchen.
custom chiller voltage
Passen Sie Spannung und Phase des Kühlers an Ihre Bedürfnisse an. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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