LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
Dr Series Gas Dryer
ANWENDUNGEN
Use in sensors, semiconductor manufacturing, film and packaging material licenses, powder material transportation, spraying systems, food industry, pharmaceutical industry, etc. require distributed air sources with low dew point of -80℃ dry and clean.
Produkt-Parameter
| Modus | DR-300 | DR-600 | DR-1200 |
| Pressure range | 0.65～1.0Mpa | ||
| Dew point temperature | -70℃ | ||
| Gas processing capacity | 425L/Min | 900L/Min | 1750L/Min |
| Finished gas volume | 300L/Min | 600L/Min | 1200L/Min |
| Anschluss Größe | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 |
| Strom | 220V 15W | ||
| Abmessung cm | 200*180*1250 | 450*180*1250 | 450*180*1250 |
Distributed gas sources used in sensors, semiconductor manufacturing, film and packaging material licensing, powder material transportation, spraying systems, food industry, pharmaceutical industry, etc. that require -80℃ low dew point drying and cleaning.
Additional filtration of oil and particulate matter, with airflow passing through a filtration level of 0.01 μm, the pre filter prevents the desiccant from being contaminated by dust and oil (which greatly shortens the lifespan of the desiccant).
The compressed air dryer consists of multiple sets of filter cartridges filled with desiccants. The compressed air in the form of mist alternately flows through multiple sets of filter elements, and the moisture in the air will accumulate on the surface of the dryer. After the filtration process reaches a predetermined duration, the airflow will switch to other filter elements, and a portion of the airflow (discharge airflow) will be used to regenerate the dryer of the first filter element. The flushing airflow will be released into the atmosphere. The service life of desiccants is approximately 15000 working hours.
Product Advantages
- Effiziente Produktionsstabilität und Wiederholbarkeit sind das Ergebnis;
- Einsatz von Plattenwärmetauschern und Rohrleitungsheizungen zur Verbesserung der Kühl- und Heizleistung;
- Sehr breiter Temperaturbereich, kein Austausch des flüssigen Mediums erforderlich;
- Vollständig geschlossenes System, das die Lebensdauer von wärmeleitenden Flüssigkeiten verlängert;
- Da die Pumpe magnetisch angetrieben wird, gibt es kein Problem mit einer undichten Wellendichtung;
- Hochtemperatur-Kühltechnik, direkt den Kompressor zu starten, um bei 300 ℃ abkühlen.
Die Pumpe mit variabler Frequenz kann den Druck und den Durchfluss des Hydraulikkreislaufs einstellen
client output signal
Communication function
ANWENDUNGEN
Temperaturkontrolleinheit eines Halbleiter-FAB-Prozesses
Die Halbleiterherstellung ist ein Prozess mit extrem hohen Umweltanforderungen, und viele Prozessschritte sind sehr temperaturempfindlich.
Eine präzise Temperaturregelung kann eine gleichmäßige Dicke und genaue Zusammensetzung der abgeschiedenen Schichten gewährleisten und so die Chipleistung und den Ertrag verbessern.
for Semiconductor packaging & testing process
Der Prozess der Halbleiterverpackung und -prüfung ist ein wichtiges Glied im Halbleiterproduktionsprozess, einschließlich der Waferprüfung, der Chipverpackung und der Prüfung nach der Verpackung. Dieser Prozess erfordert nicht nur hohe Präzision und Zuverlässigkeit, sondern auch eine strenge Temperaturkontrolle, um Produktqualität und Leistung zu gewährleisten.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
LNEYA provides customized Chiller services
custom chiller sizes
Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.
custom chiller types
We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.
custom temperature ranges
We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.
custom chiller voltage
Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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