LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
FLTZ Variable Frequency Series Chiller for Semiconductor Industry
ANWENDUNGEN
Semiconductor temperature control unit Chiller is mainly used for precise temperature control in the semiconductor production process and testing process. The company applies multiple algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.
Produkt-Parameter
FLTZ 5℃～90℃
| Modell | 002 002W |
003 003W |
004 004W |
006 006W |
008 008W |
010 010W |
015 015W |
| Temperaturbereich | 5℃～90℃ | ||||||
| Cooling capacity @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Kältemittel | R410A/R448A | ||||||
| Kühlmedium | Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, Polyol-Wasserlösung, DI usw. (DI-Temperatur muss über 10 ℃ gehalten werden) | ||||||
| Größe der Verbindung | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Anschlussgröße für Kühlwasser | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Kühlwasserdurchfluss @20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5,6m³/h | 9m³/h |
| Abmessungen（cm） | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
FLTZ -25℃～90℃
| Modell | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| Temperaturbereich | -25℃～90℃ | ||||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0,05℃ (stationäre Austrittstemperatur) | ||||||
| Durchflusskontrolle | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| Cooling capacity @-15℃ | 2kW | 3kW | 3,8 kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Kältemittel | R404A/R448A | ||||||
| Kühlmedium | Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc | ||||||
| Größe der Verbindung | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Anschlussgröße für Kühlwasser | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Kühlwasserdurchfluss @20℃ | 1,2m³/H | 1,6m³/H | 2,6m³/H | 3,6m³/H | 5.5m³/H | 7m³/H | 10,2m³/H |
| Abmessungen（cm） | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Die Fernzieltemperatur kann durch Kombination des selbst erstellten modellfreien selbst aufgebauten Baum- Algorithmus und des Kaskadenalgorithmus gesteuert werden |
||||||
FLTZ -45℃～90℃
| Modell | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| Temperaturbereich | -45℃～90℃ | ||||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0,05℃ (stationäre Austrittstemperatur) | ||||||
| Durchflusskontrolle | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| Heizen | Using compressor heating, prevent condenser frosting technology | ||||||
| Cooling capacity @-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1,8 kW | 2,5 kW | 3,3 kW | 5kW | 8kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Kältemittel | R404A/R448A | ||||||
| Kühlmedium | Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc | ||||||
| Größe der Verbindung | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Anschlussgröße für Kühlwasser | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Kühlwasserdurchfluss @20℃ | 1.5m³/H | 2,4m³/H | 3.5m³/H | 5m³/H | 5.5m³/H | 6m³/H | 8m³/H |
| Abmessungen（cm） | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Die Fernzieltemperatur kann durch Kombination des selbst erstellten modellfreien selbst aufgebauten Baum- Algorithmus und des Kaskadenalgorithmus gesteuert werden |
||||||
FLTZ -80℃～+90℃
| Modell | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| Temperaturbereich | -80℃～+90℃ | ||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0,05℃ (stationäre Austrittstemperatur) | ||||
| Durchflusskontrolle | 7～25L/min 5bar max | 12～45L/min 6bar max | |||
| Cooling capacityat-70℃ | 0,6 kW | 1kW | 1,5 kW | 2kW | 3kW |
| Heizleistung | 2kW | 2kW | 2kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| Medio de conducción térmica | Fluorierte Flüssigkeit | ||||
| Größe der Verbindung | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Anschlussgröße für Kühlwasser | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Cooling water@20℃ | 1,8m3/h | 2,5 m3/h | 3m3/h | 5 m3/h | 6m3/h |
| Leistungsschalter | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| Abmessungen（cm） | 550*700*1750 | 650*850*1850 | 700*850*1850 | 700*850*1850 | 800*1200*1850 |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Die Fernzieltemperatur kann durch Kombination des selbst erstellten modellfreien selbst aufgebauten Baum- Algorithmus und des Kaskadenalgorithmus gesteuert werden |
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FLTZ -100℃～+90℃
| Modell | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| Temperaturbereich | -100℃～+90℃ | |
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0,05℃ (stationäre Austrittstemperatur) | |
| Durchflusskontrolle | 7～25L/min | 12～45L/min |
| Cooling capacityat-90℃ | 1,5 kW | 3kW |
| Heizleistung | 3,5 kW | 5,5 kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 5L | 8L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 15L |
| Medio de conducción térmica | Fluorierte Flüssigkeit | |
| Größe der Verbindung | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Anschlussgröße für Kühlwasser | ZG3/4 | ZG1 |
| Cooling water@20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| Leistungsschalter | 32A | 63A |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Die Fernzieltemperatur kann durch Kombination des selbst erstellten modellfreien selbst aufgebauten Baum- Algorithmus und des Kaskadenalgorithmus gesteuert werden |
|
Product Advantages
- Effiziente Produktionsstabilität und Wiederholbarkeit sind das Ergebnis;
- Einsatz von Plattenwärmetauschern und Rohrleitungsheizungen zur Verbesserung der Kühl- und Heizleistung;
- Sehr breiter Temperaturbereich, kein Austausch des flüssigen Mediums erforderlich;
- Vollständig geschlossenes System, das die Lebensdauer von wärmeleitenden Flüssigkeiten verlängert;
- Da die Pumpe magnetisch angetrieben wird, gibt es kein Problem mit einer undichten Wellendichtung;
- Hochtemperatur-Kühltechnik, direkt den Kompressor zu starten, um bei 300 ℃ abkühlen.
Die Pumpe mit variabler Frequenz kann den Druck und den Durchfluss des Hydraulikkreislaufs einstellen
client output signal
Kommunikationsfunktion
ANWENDUNGEN
Temperaturkontrolleinheit eines Halbleiter-FAB-Prozesses
Die Halbleiterherstellung ist ein Prozess mit extrem hohen Umweltanforderungen, und viele Prozessschritte sind sehr temperaturempfindlich.
Eine präzise Temperaturregelung kann eine gleichmäßige Dicke und genaue Zusammensetzung der abgeschiedenen Schichten gewährleisten und so die Chipleistung und den Ertrag verbessern.
for Semiconductor packaging & testing process
Der Prozess der Halbleiterverpackung und -prüfung ist ein wichtiges Glied im Halbleiterproduktionsprozess, einschließlich der Waferprüfung, der Chipverpackung und der Prüfung nach der Verpackung. Dieser Prozess erfordert nicht nur hohe Präzision und Zuverlässigkeit, sondern auch eine strenge Temperaturkontrolle, um Produktqualität und Leistung zu gewährleisten.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
LNEYA provides customized Chiller services
custom chiller sizes
Ob es sich um tragbare, kompakte, große oder kleine Kältemaschinen handelt, wir können sie nach Ihren Anforderungen gestalten. Ganz gleich, wie viele Tonnen Kühler Sie benötigen, wir können die beste Lösung entwickeln.
custom chiller types
Wir bieten Kältemaschinen verschiedener Kältetypen an, einschließlich, aber nicht beschränkt auf luftgekühlte, wassergekühlte und Verdunstungs-Kondensationskältemaschinen. Unabhängig von der Art des Kältekompressors können wir ihn nach Ihren Anforderungen konstruieren.
custom temperature ranges
Wir können eine kundenspezifische Lösung für Temperaturen von -150℃ bis +350℃ entwickeln. Kundenspezifische Temperaturbereiche für bestimmte Branchen.
custom chiller voltage
Passen Sie Spannung und Phase des Kühlers an Ihre Bedürfnisse an. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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