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FLTZ -80℃~90℃
Die FLTZ-80℃~90℃ Serie der Umlaufwasserkühler bietet unvergleichliche Vorteile bei Anwendungen der Niedertemperaturkühlung. Der Temperaturbereich dieses wassergekühlten Kühlers liegt bei -80℃~90℃, die Temperaturregelgenauigkeit beträgt bis zu ±0.05℃, und die Steuerungsergebnisse sind wiederholbar.
Das Umlaufwasserkühlsystem ist ein vollständig geschlossenes Kreislaufsystem. Es nimmt bei niedrigen Temperaturen keine Feuchtigkeit aus der Luft auf und verdampft bei hohen Temperaturen keine Wärmeträgermedien oder erzeugt keinen Ölnebel.
LNEYA konzentriert sich seit 15 Jahren auf Niedertemperaturkühler. Kühlung unter -60℃ ist unser vorteilhafter Temperaturbereich. Bei Bedarf können wir bis -150℃ realisieren, um Ihre unterschiedlichen Anwendungsanforderungen zu erfüllen.
Als Produkt der Niedertemperatur-Kaskadenkühlungsserie bietet der FLTZ -80℃~90℃ Umlaufwasserkühler einen weiten Temperaturbereich und erreicht mühelos Kühlungen von -80℃ bis 90℃.
In vielen Prozessabläufen ist präzise Temperaturkontrolle der Schlüssel zum Erfolg oder Misserfolg, insbesondere in der Halbleiterindustrie. Der FLTZ -80℃~90℃ Umlaufwasserkühler mit extrem hoher Temperaturregelgenauigkeit (±0.05℃) befreit Sie von Sorgen über unkontrollierbare Situationen, die durch Temperaturschwankungen verursacht werden.
Die Kühlleistung beeinflusst auch die Qualität des Prozesses. Die FLTZ -80℃~90℃ Umlaufwasserkühler kombinieren den modellfreien selbstaufbauenden Baumalgorithmus mit dem Kaskadenalgorithmus, sodass die Temperatur des entfernten Ziels genau gesteuert werden kann, um eine schnelle Kühlung zu erreichen.
Wir alle wissen, dass herkömmliche Kühler Silikonöl, wässrige Ethylenglykol-Lösung, Ethanol, DI usw. als Wärmeträger verwenden, während die FLTZ -80℃~90℃ Umlaufwasserkühler fluorierte Flüssigkeit verwenden.
Dies liegt daran, dass fluorierte Flüssigkeit schneller verdampft, nicht brennbar ist, eine bessere Kühlwirkung und höhere Sicherheit bietet und häufig für die Kühlung von Halbleiterprozessen verwendet wird.
Während viele Kühler weiterhin thermische Expansionsventile verwenden, nutzen die FLTZ -80℃~90℃ Umlaufwasserkühler bereits elektronische Expansionsventile. Sie sind genauer und können rechtzeitig entsprechend der Temperatur angepasst werden.
Die FLTZ -80℃~90℃ Umlaufwasserkühler werden aufgrund ihrer hervorragenden Kühlleistung häufig in den Front-End- und Back-End-Prozessen von Halbleitern eingesetzt.
Die Ionenimplantation ist ein wichtiger Prozess in der Halbleiterherstellung zur Anpassung der elektrischen Eigenschaften von Materialien. Dieser Prozess erfordert eine strenge Temperaturkontrolle, um die Genauigkeit der Tiefe und Verteilung der Ionenimplantation sicherzustellen.
Die FLTZ -80℃~90℃ Umlaufwasserkühler können eine stabile Temperaturumgebung bereitstellen, um die Implantationsgenauigkeit zu verbessern.
Während der Lithografie- und Ätzprozesse müssen Wafer in einem bestimmten Temperaturbereich gehalten werden. Die FLTZ -80℃~90℃ Umlaufwasserkühlgeräte können eine stabile Umgebung bei niedrigen oder hohen Temperaturen bereitstellen, um zu verhindern, dass Temperaturschwankungen die Prozessergebnisse beeinflussen.
Halbleiterkomponenten sind im realen Einsatz extremen Temperaturunterschieden ausgesetzt, daher muss ihre Zuverlässigkeit durch thermische Zyklustests überprüft werden. Die FLTZ -80℃~90℃ Umlaufwasserkühlgeräte bieten einen Temperaturbereich von -80℃ bis 90℃, simulieren Temperaturänderungen in realen Betriebsumgebungen und testen die Temperaturbeständigkeit und Stabilität von Halbleiterkomponenten.
| Modell | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| Temperaturbereich | -80℃～+90℃ | ||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.05℃（Ausgangstemperatur im stationären Zustand） | ||||
| Durchflusskontrolle | 7～25L/min 5bar max | 12～45L/min 6bar max | |||
| Kühlleistung bei -70℃ | 0,6 kW | 1kW | 1,5 kW | 2kW | 3kW |
| Heizleistung | 2kW | 2kW | 2kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| Medio de conducción térmica | Fluorierte Flüssigkeit | ||||
| Größe der Verbindung | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Anschlussgröße für Kühlwasser | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Kühlwasser bei 20℃ | 1,8m3/h | 2,5 m3/h | 3m3/h | 5 m3/h | 6m3/h |
| Leistungsschalter | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| Abmessungen（cm） | 550*700*1750 | 650*850*1850 | 700*850*1850 | 700*850*1850 | 800*1200*1850 |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Die entfernte Zieltemperatur kann durch die Kombination des selbst erstellten modellfreien Selbststeuerungssystems gesteuert werden. Baumaufbaualgorithmus und Kaskadenalgorithmus | ||||
Der luftgekühlte Chiller kühlt das Kältemittel über Luft. Es muss nicht mit einem Wasserturm ausgestattet werden, hat jedoch relativ hohe Anforderungen an die Umgebungstemperatur. Bei zu hoher Umgebungstemperatur ist die Kühlleistung gering. Besonders im heißen Sommer ist es relativ schwierig, unter -60℃ zu kühlen.
Der wasserkühlte Chiller hat dieses Problem nicht. Er ist mit einem Wasserturm und einer Wasserpumpe ausgestattet. Das zirkulierende Kühlwasser macht ihn effizienter und platzsparender.
Da die Kühltemperatur der FLTZ -80℃~90℃ Umlaufwasserkühler so niedrig wie -80℃ ist, verwenden wir einen wassergekühlten Kondensator, um die Nutzung auch in heißer Umgebung zu gewährleisten. Wenn Sie dazu noch Fragen haben, beantworten unsere Chiller-Experten diese gerne kostenlos.
Mehr als 30.000 Kunden bedient.
Export in über 20 Länder.
Hat CE-Zertifizierung, SGS-Zertifizierung, ISO-Zertifizierung erhalten
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Mit 24/7-Lösungen.
Gegründet 2010, mit 15 Jahren Branchenerfahrung.
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