Halbleiter-Chiller für präzise Temperaturkontrolle

Überblick über Halbleiter-Chiller

Die Halbleiterindustrie erfordert eine äußerst präzise Temperaturregelung. Viele Fertigungs- und Testschritte sind äußerst empfindlich gegenüber selbst kleinen Temperaturänderungen. Die Produktleistung und der Ertrag hängen von stabilen, hochpräzisen Kühlsystemen ab.
 
LNEYA ist ein führender Hersteller von fortschrittlichen Chiller-Systemen für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Seit 2010 liefern wir zuverlässige Temperaturregelgeräte für die Waferbearbeitung, -verpackung und -prüfung. Unser Produktsortiment umfasst sowohl Standard- als auch maßgeschneiderte Chiller, die für präzise und wiederholbare Leistung entwickelt wurden.
 
Für spezialisierte Prozesse können wir eine Kühlungslösung nach Ihren Anforderungen in Bezug auf Temperaturbereich, Kapazität und Steuerungsschnittstelle anpassen.
 
Kontaktieren Sie unser Ingenieurteam, um einen Produktkatalog anzufordern oder ein Angebot für Ihr Halbleiter-Kühlsystem zu erhalten.

LNEYA® Semiconductor Chillers Characteristics

• Hohe Effizienz, stabile Produktion und wiederholbare Ergebnisse.
• Verwenden Sie einen Plattenwärmeübertrager und einen Rohrheizer, um die Kühl- und Heizgeschwindigkeit zu verbessern.
• Extremely wide temperature range（-150℃ to +350℃）, no need to change liquid medium.
• Vollständig geschlossenes System zur Verlängerung der Lebensdauer des Wärmeübertragungsmediums.
• Verwenden Sie eine Magnetantriebs-Pumpe, ohne Probleme mit der Wellendichtung.
• High temperature cooling technology, 300℃ direct start compressor cooling.

Anwendungen von Halbleiter-Chillern

Die Halbleiterfertigung erfordert stabile und präzise Kühlsysteme. Ein zuverlässiger Halbleiter-Chiller hilft, die Temperatur während der Waferbearbeitung, Ätzen und Tests zu kontrollieren. Bei LNEYA entwerfen wir Halbleiter-Chiller mit hoher Temperaturgenauigkeit, einem breiten Betriebsbereich und zuverlässiger Langzeitstabilität.
 
Die Halbleiterfertigung erfordert extrem stabile Umgebungsbedingungen. Bereits eine kleine Temperaturschwankung kann die Produktivität und die Zuverlässigkeit des Geräts beeinträchtigen. Ein Halbleiter-Chiller bietet präzise Temperaturregelung während kritischer Prozessschritte wie Waferverpackung, Test und Fertigung.
 
Diese Chiller werden in Halbleiter-Fabriken und Messtechniksystemen häufig für die Prozesskühlung eingesetzt. Sie helfen, CMOS- und CCD-Sensoren zu stabilisieren, die Temperatur in AOI-Inspektionssystemen aufrechtzuerhalten und bieten eine unabhängige Kühlung für Kammerwände während des Plasma-Ätzens oder der Dünnfilmabscheidung.
 
In Anwendungen wie der thermischen Atomlagen-Ätzung von Metalltungsten sorgt eine konstante Kühlung für wiederholbare Ergebnisse und eine längere Lebensdauer der Ausrüstung.