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Kompakt, hochpräzise, umweltfreundlich
Temperaturbereich -100℃~90℃ Temperaturgenauigkeit ±0,05℃
LNEYA repräsentiert die international fortschrittliche Technologie zur Flüssigkeitstemperaturregelung, erforscht und studiert aktiv die Temperaturtestsimulation des Komponententestsystems, verfügt über eine breite Temperaturrichtung und einen hohen Temperaturanstieg und -abfall, Temperaturbereich: -100 °C bis +90 °C, Temperaturregelungsgenauigkeit bis zu: ±0,05 °C.
Die Produkte umfassen eine Temperaturregelung für flüssige Fluorflüssigkeiten (mindestens -100 Grad) und unterstützen eine kontinuierliche Mehrkanal-Temperaturregelung. Alle Geräte werden vor Verlassen des Werks einem 100%igen Ammoniaktest und 100%igen Sicherheitstest unterzogen, um die Systemsicherheit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten.
high-precision Process chillers Video
Integrates refrigeration heating and temperature control functions. It is mainly used for temperature control in semiconductor FAB processes and packaging and testing processes.
Saving more than 20% energy compared to the old products; it adopts a fully enclosed pipeline design to reduce the demand for heat transfer medium, and at the same time, the heat discharged by the compressor is used for heating within 40℃, so the circulation heating can be achieved without a heater.
Cooling capacity 6kW~40kW
Cooling water flow 1.5m³/h~9m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
Cooling capacity 2kW~15kW
Cooling water flow 1.2m³/h~10.2m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
Cooling capacity 1kW~8kW
Cooling water flow 1.5m³/h~8m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
Cooling capacity 0.6kW~3kW
Cooling water flow 1.8m³/h~6m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
Cooling capacity 1.5kW~3kW
Cooling water flow 50L/min~100L/min 2bar~7bar
Temp accuracy ±0.05℃
Semiconductor Chiller Applications
Die Halbleiterherstellung ist ein Prozess mit extrem hohen Umweltanforderungen, und eine strenge Temperaturkontrolle bestimmt die Leistung des Produkts. Halbleiterkühler werden häufig in Verpackungs- und Testprozessen der Halbleiterindustrie, der Temperaturregelung von Halbleiter-FAB-Prozessen, der Kühlung von CMOS/CCD-Sensoren in Halbleitermesssystemen, der Umwälzkühlung von Halbleitermess-AOI-Systemen, der unabhängigen Temperaturregelung von Hohlraumseitenwänden, dem Plasma-Fasenätzen und der Plasmaabscheidung, dem thermischen Atomlagenätzen von Wolframmetall usw. eingesetzt.
Das passende thermische Trocknungssystem bietet Kühl- und Heiztemperatur, verbessert die Testeffizienz und Qualität von Waferchips und weist einen geringen Temperaturgenauigkeitsfehler auf.
Der Thermokühler ist auf die Testmaschine abgestimmt und verfügt über eine Temperaturregelgenauigkeit von ±0,05 °C, was die Chiptesteffizienz des Instituts verbessert.
Der Prozesskühler wird in Halbleiterfabriken eingesetzt und verfügt über eine hochpräzise Kühl- und Heiztemperaturregelung, die die Herstellungsrate von Wafern verbessert und die Ausschussrate reduziert.
Warum LNEYA® wählen?
Sehr breiter Temperaturbereich, kein Austausch des flüssigen Mediums erforderlich;
Effiziente Produktionsstabilität und Wiederholbarkeit sind das Ergebnis;
Hochtemperatur-Kühltechnik, direkt den Kompressor zu starten, um bei 300 ℃ abkühlen.
Vollständig geschlossenes System, das die Lebensdauer von wärmeleitenden Flüssigkeiten verlängert;
Einsatz von Plattenwärmetauschern und Rohrleitungsheizungen zur Verbesserung der Kühl- und Heizleistung;
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