LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
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Single channel chillers
FLTZ -45℃~90℃
FLTZ single channel chiller easily achieves independent and precise temperature control for multiple fluid channels, with a temperature control accuracy of up to ±0.1℃, widely applied in the semiconductor industry.
fltz series
-45°C
niedrigste
90°C
Höchste
±0.1℃
Genauigkeit der Temperaturregelung
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| Modell | FLTZ-002 FLTZ-002W |
FLTZ-003 FLTZ-003W |
FLTZ-004 FLTZ-004W |
FLTZ-006 FLTZ-006W |
FLTZ-008 FLTZ-008W |
FLTZ-010 FLTZ-010W |
FLTZ-015 FLTZ-015W |
| Temperaturbereich | 5℃～90℃ | ||||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0,1℃（Anpassbare Temperaturregelgenauigkeit von ±0,01℃） | ||||||
| Kühlleistung @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Kältemittel | R410A/R448A | ||||||
| Kühlmedium | Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, Polyol-Wasserlösung, DI usw. (DI-Temperatur muss über 10℃ kontrolliert werden) | ||||||
| Kühlwasserfluss @20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
| Abmessungen（cm） | 95*38*106 | 95*38*106 | 950*380*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
| Modell | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| Temperaturbereich | -25℃～90℃ | ||||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0,1℃（Anpassbare Temperaturregelgenauigkeit von ±0,01℃） | ||||||
| Durchfluss MAX | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| Cooling capacity @-15℃ | 2kW | 3kW | 3,8 kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Kältemittel | R404A/R448A | ||||||
| Kühlmedium | Silicone oil, fluorinated fluid, glycol-water solution, etc. | ||||||
| Kühlwasserfluss @20℃ | 1.2m³/H | 1.6m³/H | 2.6m³/H | 3.6m³/H | 5.5m³/H | 7m³/H | 10.2m³/H |
| Abmessungen（cm） | 95*38*106 | 95*38*106 | 95*38*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
| Modell | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| Temperaturbereich | -45℃～90℃ | ||||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0,1℃（Anpassbare Temperaturregelgenauigkeit von ±0,01℃） | ||||||
| Durchfluss MAX | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| Heizen | Uses compressor heat to prevent condenser frost. | ||||||
| Cooling capacity @-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1,8 kW | 2,5 kW | 3,3 kW | 5kW | 8kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Kältemittel | R404A/R448A | ||||||
| Kühlmedium | Silicone oil, fluorinated fluid, glycol-water solution, etc. | ||||||
| Kühlwasserfluss @20℃ | 1.5m³/H | 2.4m³/H | 3.5m³/H | 5m³/H | 5.5m³/H | 6m³/H | 8m³/H |
| Abmessungen（cm） | 95*38*106 | 95*38*106 | 95*38*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*50*150 | 108*50*150 |
| Modell | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| Temperaturbereich | -80℃～+90℃ | ||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0,1℃（Anpassbare Temperaturregelgenauigkeit von ±0,01℃） | ||||
| Durchfluss MAX | 7～25L/min 5bar | 12～45L/min 6bar | |||
| Cooling capacity @-70℃ | 0,6 kW | 1kW | 1,5 kW | 2kW | 3kW |
| Heizleistung | 2kW | 2kW | 2kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| Kältemittel | Fluorinated fluids | ||||
| Kühlwasserfluss @20℃ | 1,8m3/h | 2,5 m3/h | 3m3/h | 5 m3/h | 6m3/h |
| Circuit Breakers | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| Modell | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| Temperaturbereich | -100℃～+90℃ | |
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0,1℃（Anpassbare Temperaturregelgenauigkeit von ±0,01℃） | |
| Durchflusskontrolle | 7～25L/min | 12～45L/min |
| Cooling capacityat-90℃ | 1,5 kW | 3kW |
| Heizleistung | 3,5 kW | 5,5 kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 5L | 8L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 15L |
| Medio de conducción térmica | Fluorierte Flüssigkeit | |
| Kühlwasser bei 20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
|
Modell |
FLTZ-001S |
FLTZ-002S |
FLTZ-003S |
FLTZ-004S |
FLTZ-006S |
FLTZ-008WS |
FLTZ-010WS |
|
Temperaturbereich |
15℃～25℃ |
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|
Genauigkeit der Temperaturregelung |
±0.005℃ Temperature control accuracy at the equipment outlet |
||||||
|
Flow Rate |
7L/min 3bar |
15L/min at 4bar |
30L/min at 4bar |
75L/min at 4bar |
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|
Heizleistung |
Technology of using compressor heating to prevent condenser frosting |
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|
Kühlleistung @20℃ |
3kw |
7kw |
10.5kw |
14 kw |
21kw |
28kw |
35kw |
|
Liquid Storage Capacity |
8L |
15L |
20L |
30L |
50L |
60L |
80L |
|
Kältemittel |
R1234fa （ODP=0 GWP=4）/R448A |
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|
Secondary Refrigerant(Coolant) |
Purified Water |
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Single-channel chillers are primarily used for precise temperature control in semiconductor production and testing. The company utilizes multiple algorithms (PID, feedforward PID, and model-free self-building tree algorithms) to achieve fast response and high control accuracy.
Under load, the system offers high temperature control accuracy, allowing for flexible switching between -100°C and +90°C with excellent temperature compliance. Advanced low-temperature refrigeration technology supports ultra-low temperature control from -100°C to -80°C.
Single Channel Chiller Applications
Für Alterungstestgeräte
Das passende thermische Trocknungssystem bietet Kühl- und Heiztemperatur, verbessert die Testeffizienz und Qualität von Waferchips und weist einen geringen Temperaturgenauigkeitsfehler auf.
Für Chip-Testgeräte
The thermal chiller is matched with the test machine, with a temperature control accuracy of ±0.05℃, which improves the chip testing efficiency of the institute.
Für Halbleiterfabriken
Der Prozesskühler wird in Halbleiterfabriken eingesetzt und verfügt über eine hochpräzise Kühl- und Heiztemperaturregelung, die die Herstellungsrate von Wafern verbessert und die Ausschussrate reduziert.
Why Choose LNEYA® ?
Die Halbleiterindustrie hat sehr strenge Anforderungen an die Genauigkeit der Temperaturregelung. Viele Prozessschritte sind äußerst empfindlich gegenüber Temperaturschwankungen. Die Leistung und Qualität der Produkte hängt von hochpräzisen Halbleiterkühlern ab. LNEYA bietet professionelle Wärmemanagementlösungen für die Halbleiterindustrie.
Sehr breiter Temperaturbereich, kein Austausch des flüssigen Mediums erforderlich;
Effiziente Produktionsstabilität und Wiederholbarkeit sind das Ergebnis;
High temperature cooling technology, directly start the compressor to cool down at 300 ℃.
Vollständig geschlossenes System, das die Lebensdauer von wärmeleitenden Flüssigkeiten verlängert;
Einsatz von Plattenwärmetauschern und Rohrleitungsheizungen zur Verbesserung der Kühl- und Heizleistung;
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