Thermal Chillers for Semiconductor ATE & Process

Advanced liquid temperature control technology, actively exploring and researching component test systems, mainly used for temperature test simulation in pharmaceutical chemicals, new energy, semiconductors, and aerospace testing, with wide temperature direction and high temperature rise and fall, temperature range: -80°C~+90°C, temperature control accuracy up to: ±0.05℃, suitable for various test requirements.

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Anwendungen

Temperature control system for production process and testing links.
Applied in semiconductors, LEDs, LCDs, solar photovoltaics and other fields;
The variable frequency pump can adjust the circulating fluid pressure and flow, Circulation heating can be achieved without a heater;
Multi-channel independent temperature control, no mutual influence.

Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.

Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.

Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.

Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.

Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.

FLTZ Frequency Conversion Series

Temperature control range: -45℃～+90℃

The chiller’s exhaust and suction temperature (pressure), condensing temperature, cooling water temperature (pressure), inlet and outlet liquid (gas) temperature (pressure), power consumption, current of each component, voltage, water tank level and other important information are all connected to the control system through sensors for comprehensive management, monitoring and recording.

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Modell	5℃～90℃	-25℃～90℃	-45℃～90℃	-80℃～+90℃	-100℃～+90℃
Genauigkeit der Temperaturregelung	±0.05℃	±0.05℃	±0.05℃	±0.05℃	±0.05℃
Kühlleistung	6KW~40KW @10℃	2KW~15KW @-15℃	1KW~8KW @-35℃	0.6KW~3KW @-70℃	1.5KW~3KW @-90℃

Rated test conditions for all equipment: Dry bulb temperature: 20℃; Wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; Outlet water temperature: 25℃.

FLTZ Frequency Conversion Multi-channel Series

Temperature control range: -45℃～+100℃

Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems.

The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.

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Modell	-20℃～+90℃	-45℃～+80℃	-10℃～+80℃	-25℃～+100℃
Pipeline	channel 2	channel 2	channel 3	channel 3
Genauigkeit der Temperaturregelung	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
Kühlleistung	4kW@-10℃	11kW@-20℃ 5kW@-40℃	4kW@-10℃/21kW@+20℃	13kW@PCW+15℃
Heizleistung	2kW	2kW	4.5+6kW	6kW

Modell	FLTZ-203W/2T Doppelsystem		FLTZ-305W/2T Doppelsystem		FLTZ-406W/2T Doppelsystem
Temperaturbereich	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
Genauigkeit der Temperaturregelung	±0.1℃
Durchflussmenge des wärmeleitenden Mediums	15~45l/min 6bar max
Heizleistung	2,5 kW	2,5 kW	2,5 kW	2,5 kW	3,5 kW	3,5 kW
Kühlleistung	3kW @-15℃	3kW @-15℃	5kW @-15℃	5kW @-15℃	2.5kW @-35℃	2.5kW @-35℃

Rated test conditions for all equipment: dry bulb temperature: 20℃; wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; outlet water temperature: 25℃.

ETCU Heat Exchange Chiller Series

Adopting compressor-free refrigeration system

temperature control range is: 5℃～+90℃

temperature control accuracy: ±0.05℃

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Modell	ETCU-005W	ETCU-015W	ETCU-030W	ETCU-050W	ETCU-100W	ETCU-200W	ETCU-300W
Temperaturbereich	Cooling water temperature +5℃~90℃
Genauigkeit der Temperaturregelung	±0.05℃（Steady state outlet temperature）
Temperatur des Kühlwassers	7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves
Kühlleistung	5kW	15kW	30kW	50kW	100kW	200kW	300kW

Rated test conditions for all equipment: dry bulb temperature: 20℃; wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; outlet water temperature: 25℃.

AES Series Thermal Stream

Thermische Lösungen für ATE-Tests

temperature control range is: -115℃~225℃

temperature control accuracy: ±0.1℃

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Modell	AES-4535 AES-4535W	AES-6035 AES-6035W	AES-8035 AES-8035W	AES-A1035W	AES-A1235W
Temperaturbereich	-40℃～225℃	-60℃～225℃	-80℃～225℃	-100℃～225℃	-120℃～225℃
Temperaturgenauigkeit	±0,1℃（Ausgangstemperatur im stationären Zustand）
Anforderungen an die Luft	Luftfilter < 5um Luftölgehalt < 0,1um Lufttemperatur und Luftfeuchtigkeit：5℃-32℃ 0-50%RH
Kapazität der Luftaufbereitung	10m³/h-m³/h Druck 5bar-7.6bar

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Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln

advantages

Effiziente Produktionsstabilität und Wiederholbarkeit sind das Ergebnis;
Einsatz von Plattenwärmetauschern und Rohrleitungsheizungen zur Verbesserung der Kühl- und Heizleistung;
Sehr breiter Temperaturbereich, kein Austausch des flüssigen Mediums erforderlich;
Vollständig geschlossenes System, das die Lebensdauer von wärmeleitenden Flüssigkeiten verlängert;
Da die Pumpe magnetisch angetrieben wird, gibt es kein Problem mit einer undichten Wellendichtung;
Hochtemperatur-Kühltechnik, direkt den Kompressor zu starten, um bei 300 ℃ abkühlen.

Die Pumpe mit variabler Frequenz kann den Druck und den Durchfluss des Hydraulikkreislaufs einstellen

Heating function

Due to the use of heat generated during heating, circulating heating can be achieved without the need for a heater.

Communication function

Standard equipment includes serial communication (RS232C, RS485) and contact input/output. Can communicate with customer devices or build systems.

client output signal

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Empfohlene Produkte

Dynamische Temperaturkontrollsysteme (Biochemistry Pharmaceutical Process)

Temperaturregelung: -120℃~350℃

Temperature control for high pressure reactor；Double-layer glass reactor；Double-layer reactor；Microchannel Reactor；Distillation system；Material aging test；Vacuum chamber etc.

Control Temperature Control Flow Systems（Vehicle/Battery Pack Test)

Temperaturregelung: -40℃~100℃

Temperatur-Simulation für die Qualitätsprüfung von Fahrzeugen: Prüfung der Batterielebensdauer, Einspritzdüsen-/Motorprüfstand, Airbagtest, Komponentenprüfstand, usw. Es kann die externen Umweltbedingungen in der Klimakammer simulieren oder das interne System ersetzen, das die notwendigen tatsächlichen Temperaturbedingungen für den Prüfstand schaffen kann.

Kühlung-Heizung-Systeme (Halbleiterproduktion）

Temperaturregelung: -85℃~250℃

Suitable for semiconductor process wet washing, photolithography, etching, chemical meteorological deposition, physical meteorological deposition, and the electronics industry (photolithography process)