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Thermischer Spannstock

oder Vakuumspannstock

-75℃～225℃

LNEYA bietet 8-Zoll- und 12-Zoll-Vakuumspannstöcke sowie kundenspezifische quadratische Kaltplatten, die einen Temperaturbereich von -70℃ bis +200℃ unterstützen und auch andere Temperaturbereiche individuell anpassen können. Eingebaute Mehrfach-Temperatursensoren, Mehrzonen-Temperaturregelung, präzise FID-Anpassung und Temperaturkontrolle; unterstützt Direktkühlung, Flüssigkeitskühlung und Luftkühlung.

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Flatness of the plate ±15um
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Plate temp uniformity ±1℃
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Temperature Accuracy ±0.5℃
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Energie wird verbraucht

Verschiedene Temperaturbereiche können kundenspezifisch angepasst werden

-75°C

niedrigste

225°C

Höchste

±0.5℃

Genauigkeit der Temperaturregelung

Temperaturbereich  -70℃~200℃
(Kann in verschiedenen Temperaturbereichen angepasst werden)
Gleichmäßigkeit der Temperatur 土0.5℃
Aufheizrate -55℃~+25℃：12 Min
-40℃~+25℃：10 Min
+25℃~+150℃：20 Min
+25℃~+200℃：28 Min
+25℃~+300℃：40 Min
Abkühlungsrate +150℃~+25℃：25 Min
+200℃~+25℃：30 Min
+300℃~+25℃：40 Min
+25℃~0℃：15 Min
+25℃~-40℃：35 Min
+25℃~-55℃：65 Min
Methode der Kühlung Direktkühlsystem / Flüssigkeitskühlsystem / Luftkühlsystem
Wafersaugtyp Vakuumadsorption
Spannstockgröße φ330*58mm
Stromversorgung 220V 50Hz 200~230V AC 50/60Hz, max. 16A

Temperaturregelungsmethode

Integrierte Mehrfach-Temperatursensoren, Mehrzonen-Temperaturregelung, präzise FII-Temperaturregelung

Waferträger

Verchromt (Gold/nicht leitend), flexible Verbindung mit dem Spannstock, leicht austauschbar, Träger-Ebenheit 3μm≤10μm

Kommunikation

Modbus RTu protocol RS485 interface, optional CAN communication bus, Ethernet interface TCP/IP protocol

LNEYA never disappoints users！

Merkmale des Vakuumspannstocks

Die größte Innovation von MD im Bereich der thermischen Prüfung ist eine Reihe von thermisch gesteuerten Chucks, die hauptsächlich für Leistungstests, Modellierung, Prozessentwicklung, Designfehler oder IC-Fehleranalysen von Halbleiterwafern verwendet werden. Das System ermöglicht schnelle Temperaturwechsel und eine präzise Temperaturkontrolle. Das System selbst verfügt über einen eigenen Kühlschrank, der den Verbrauch von flüssigem Stickstoff, Kohlendioxid usw. vermeidet, und jedes System besteht aus einem Chuck und einer Kalt- und Warmsteuereinheit.

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Demonstration des ZLTZ-Temperaturregelsystems mit einem temperaturgeregelten Spannstock:

Echtzeit-Temperaturüberwachung
Echtzeit-Überwachung der Kühlrate
Echtzeit-Drucküberwachung

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Andere Modelle DIREKTKÜHLSCHILLER

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KSD -75℃~200℃

Temperatursensor

Heating cooling rate Up to 50 ℃/min

Temperature Accuracy ±0.2℃

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ZLJ & SLJ -150℃～-110℃

Ultratiefkühl-Chiller

Kühlleistung 0,4 kW~11 kW

temperature accuracy ±1℃

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MD -75℃～225℃

Vakuum-/Temperaturspannstock

Heating & Cooling -60°C to +25°C: 2 min &+25°C to -60°C: 6 min

temperature accuracy ±0.5℃

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Sie können unserer Fabrik für mobile Kühlgeräte vertrauen

Wir sind ein sehr leistungsstarker Kühlerlieferant mit eigener Fabrik und mehr als 20 Jahren Erfahrung im Bereich der Temperaturregelung

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Globaler Service

Mehr als 30.000 Kunden bedient.
Export in über 20 Länder.

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Zertifizierungspatente

Hat CE-Zertifizierung, SGS-Zertifizierung, ISO-Zertifizierung erhalten

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Kundendienst

Umfassende technische Schulungen anbieten.
Mit 24/7-Lösungen.

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Professionelles Team

Gegründet 2010, mit 15 Jahren Branchenerfahrung.
20 % der Mitarbeiter sind Techniker.

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Qualitätskontrolle

Sichtprüfung.
Leistungstest.
Elektrische Sicherheitsprüfung.

Nehmen Sie Kontakt mit unseren Experten für Thermochucks auf

Die Größe der Spannplatte umfasst Scheiben mit Durchmessern von 200 mm und 300 mm sowie eine rechteckige Platte von 150 mm x 200 mm.
Die Oberflächenbehandlung der Arbeitsplattform ist Nickel-Elektroplattierung, alternativ kann auch Goldplattierung gewählt werden.

Nein, neben dem Überdruck-Explosionsschutz können wir auch einen Isolations-Explosionsschutz nach Maß herstellen, der die Normen entsprechend Ihren Anforderungen erfüllt.

Temperaturanstieg-60℃~+25℃2min
0℃~+25℃2min
+25℃~+220℃6min
Temperaturabsenkung+220℃~+25℃2min
+25℃~-60℃6min

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