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Thermofutter

-75℃~225℃

Flatness of the plate ±15um
Plate temp uniformity ±1℃
Temperature Accuracy ±0.5℃
Energie wird verbraucht

-75°C

niedrigste

225°C

Höchste

±0.5℃

Genauigkeit der Temperaturregelung

Temperaturbereich  -70℃~200℃
(Can be customized in various temperature ranges)
Gleichmäßigkeit der Temperatur 土0.5℃
Aufheizrate  -55℃~+25℃:12min
-40℃~+25℃:10 min
+25℃~+150℃:20 min
+25℃~+200℃:28 min
+25℃~+300℃:40 min
Abkühlungsrate +150℃~+25℃:25 min
+200℃~+25℃:30 min
+300℃~+25℃:40 min
+25℃~0℃:15 min
+25℃~-40℃:35 min
+25℃~-55℃:65 min
Methode der Kühlung Direct cooling system/liquid cooling system/air cooling system
Wafer adsorption type Vacuum adsorption
Chuck size φ330*58mm
Power supply 220V 50HZ 200~230V AC50/60HZ 16A max

Temperature control method

Built-in multiple temperature sensors, multi-zone temperature control, precise FII temperature control

Wafer carrier

Nickel-plated (gold/non-conductive), flexible connection with chuck, easy to replace, carrier flatness 3μm≤10μm

Kommunikation

Modbus RTu protocol RS485 interface, optional CAN communication bus, Ethernet interface TCP/IP protocol

LNEYA enttäuscht die Nutzer nie!

Features of Vacuum Chuck

Die größte Innovation von MD im Bereich der thermischen Prüfung ist eine Reihe von thermisch gesteuerten Chucks, die hauptsächlich für Leistungstests, Modellierung, Prozessentwicklung, Designfehler oder IC-Fehleranalysen von Halbleiterwafern verwendet werden. Das System ermöglicht schnelle Temperaturwechsel und eine präzise Temperaturkontrolle. Das System selbst verfügt über einen eigenen Kühlschrank, der den Verbrauch von flüssigem Stickstoff, Kohlendioxid usw. vermeidet, und jedes System besteht aus einem Chuck und einer Kalt- und Warmsteuereinheit.

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Demonstration of the ZLTZ temperature control system with a temperature-controlled chuck:

Real-time temperature monitoring
Real-time cooling rate monitoring
Real-time pressure monitoring

Other models DIRECT COOLING CHILLERS

Thermosonde

Temperaturgenauigkeit ±0,2℃

Ultra-Niedertemperatur-Kühlgeräte

Temperaturgenauigkeit ±1℃

Jetzt Anfrage senden
vacuum/thermal chuck

Temperaturgenauigkeit ±0,5℃

Sie können unserer Fabrik für mobile Kühlgeräte vertrauen

Wir sind ein sehr leistungsstarker Kühlerlieferant mit eigener Fabrik und mehr als 20 Jahren Erfahrung im Bereich der Temperaturregelung

Globaler Dienst

Mehr als 30.000 Kunden bedient.
Exportiert in mehr als 20 Länder.

Zertifizierung von Patenten

Hat die CE-Zertifizierung, SGS-Zertifizierung und ISO-Zertifizierung erhalten.

Service nach dem Verkauf

Bereitstellung umfassender technischer Schulungen.
Mit 24/7-Lösungen.

Professionelles Team

Gegründet im Jahr 2010, mit 15 Jahren Branchenerfahrung.
20% der Beschäftigten sind Techniker.

Qualitätskontrolle

Sichtprüfung.
Leistungstest.
Prüfung der elektrischen Sicherheit.

Die Größe der Futterplatte hat eine Scheibe mit einem Durchmesser von 200 Millimetern und 300 Millimetern, eine rechteckige Platte von 150 Millimetern mal 200 Millimetern.
Die Oberfläche der Arbeitsbühne ist galvanisch vernickelt, kann aber auch vergoldet werden.

Nein, neben dem Überdruck-Explosionsschutz können wir auch einen Isolations-Explosionsschutz nach Maß herstellen, der die Normen entsprechend Ihren Anforderungen erfüllt.

Temperature rise-60℃~+25℃2min
0℃~+25℃2min
+25℃~+220℃6min
Temperature fall+220℃~+25℃2min
+25℃~-60℃6min
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