LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
FLTZ Variable Frequency Series Chiller for Semiconductor Industry
ANWENDUNGEN
Semiconductor temperature control unit Chiller is mainly used for precise temperature control in the semiconductor production process and testing process. The company applies multiple algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.
Produkt-Parameter
FLTZ 5℃～90℃
| Modell | 002 002W |
003 003W |
004 004W |
006 006W |
008 008W |
010 010W |
015 015W |
| Temperaturbereich | 5℃～90℃ | ||||||
| Cooling capacity @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| Internal circulating fluid volume | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Kältemittel | R410A | ||||||
| Refrigerating medium | Silicone oil, fluorinated liquid, polyol aqueous solution, DI, etc. (DI temp needs to be controlled above 10 ℃) | ||||||
| Größe der Verbindung | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Cooling water connection size | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Kühlwasserdurchfluss @20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5,6m³/h | 9m³/h |
| Abmessung cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
FLTZ -25℃～90℃
| Modell | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| Temperaturbereich | -25℃～90℃ | ||||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.05℃（Steady state outlet temperature） | ||||||
| Durchflusskontrolle | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| Cooling capacity @-15℃ | 2kW | 3kW | 3,8 kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| Internal circulating fluid volume | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Kältemittel | R404A | ||||||
| Refrigerating medium | Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc | ||||||
| Größe der Verbindung | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Cooling water connection size | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Kühlwasserdurchfluss @20℃ | 1,2m³/H | 1,6m³/H | 2,6m³/H | 3,6m³/H | 5.5m³/H | 7m³/H | 10,2m³/H |
| Abmessung cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
||||||
FLTZ -45℃～90℃
| Modell | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| Temperaturbereich | -45℃～90℃ | ||||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.05℃（Steady state outlet temperature） | ||||||
| Durchflusskontrolle | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| Heizung | Using compressor heating, prevent condenser frosting technology | ||||||
| Cooling capacity @-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1,8 kW | 2,5 kW | 3,3 kW | 5kW | 8kW |
| Internal circulating fluid volume | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Kältemittel | R404A | ||||||
| Refrigerating medium | Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc | ||||||
| Größe der Verbindung | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Cooling water connection size | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Kühlwasserdurchfluss @20℃ | 1.5m³/H | 2,4m³/H | 3.5m³/H | 5m³/H | 5.5m³/H | 6m³/H | 8m³/H |
| Abmessung cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
||||||
FLTZ -80℃～+90℃
| Modell | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| Temperaturbereich | -80℃～+90℃ | ||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.05℃（Steady state outlet temperature） | ||||
| Durchflusskontrolle | 7～25L/min 5bar max | 12～45L/min 6bar max | |||
| Cooling capacityat-70℃ | 0,6 kW | 1kW | 1,5 kW | 2kW | 3kW |
| Heizleistung | 2kW | 2kW | 2kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Internal circulating fluid volume | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| Heat-conduction medium | Fluorierte Flüssigkeit | ||||
| Größe der Verbindung | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Cooling water connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Cooling water@20℃ | 1,8m3/h | 2,5 m3/h | 3m3/h | 5 m3/h | 6m3/h |
| Stromkreisunterbrecher | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| Abmessung cm | 550*700*1750 | 650*850*1850 | 700*850*1850 | 700*850*1850 | 800*1200*1850 |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
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FLTZ -100℃～+90℃
| Modell | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| Temperaturbereich | -100℃～+90℃ | |
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.05℃（Steady state outlet temperature） | |
| Durchflusskontrolle | 7～25L/min | 12～45L/min |
| Cooling capacityat-90℃ | 1,5 kW | 3kW |
| Heizleistung | 3,5 kW | 5,5 kW |
| Internal circulating fluid volume | 5L | 8L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 15L |
| Heat-conduction medium | Fluorierte Flüssigkeit | |
| Größe der Verbindung | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Cooling water connection size | ZG3/4 | ZG1 |
| Cooling water@20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| Stromkreisunterbrecher | 32A | 63A |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
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Product Advantages
- Effiziente Produktionsstabilität und Wiederholbarkeit sind das Ergebnis;
- Einsatz von Plattenwärmetauschern und Rohrleitungsheizungen zur Verbesserung der Kühl- und Heizleistung;
- Sehr breiter Temperaturbereich, kein Austausch des flüssigen Mediums erforderlich;
- Vollständig geschlossenes System, das die Lebensdauer von wärmeleitenden Flüssigkeiten verlängert;
- Da die Pumpe magnetisch angetrieben wird, gibt es kein Problem mit einer undichten Wellendichtung;
- Hochtemperatur-Kühltechnik, direkt den Kompressor zu starten, um bei 300 ℃ abkühlen.
Die Pumpe mit variabler Frequenz kann den Druck und den Durchfluss des Hydraulikkreislaufs einstellen
client output signal
Communication function
ANWENDUNGEN
Temperaturkontrolleinheit eines Halbleiter-FAB-Prozesses
Die Halbleiterherstellung ist ein Prozess mit extrem hohen Umweltanforderungen, und viele Prozessschritte sind sehr temperaturempfindlich.
Eine präzise Temperaturregelung kann eine gleichmäßige Dicke und genaue Zusammensetzung der abgeschiedenen Schichten gewährleisten und so die Chipleistung und den Ertrag verbessern.
for Semiconductor packaging & testing process
Der Prozess der Halbleiterverpackung und -prüfung ist ein wichtiges Glied im Halbleiterproduktionsprozess, einschließlich der Waferprüfung, der Chipverpackung und der Prüfung nach der Verpackung. Dieser Prozess erfordert nicht nur hohe Präzision und Zuverlässigkeit, sondern auch eine strenge Temperaturkontrolle, um Produktqualität und Leistung zu gewährleisten.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
LNEYA provides customized Chiller services
custom chiller sizes
Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.
custom chiller types
We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.
custom temperature ranges
We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.
custom chiller voltage
Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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