LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
Halbinduktor-Mehrkanal-Kühler
FLTZ -45℃~100℃- Genauigkeit der Temperatur±0.1℃
- RefrigentR404A
- Durchflusskontrolle25~75/min 6bar max
- Leistungsbereich380V 3kW~17kW
Temperaturkontrolle in Prüfprozessen der Halbleiterproduktion
Heating method within 40 ℃ adopts a compressor hot gas heating fully enclosed design, and the machine operates continuously for 24 hours
Gewährleistung eines stabilen und zuverlässigen Halbleiter-Gesamtprozesses vom Front-End bis zum Back-End
Mainly used for precise temperature control in semiconductor production and testing processes, heating within 40 ° C using a compressor hot gas heating method
Details zur Konfiguration
FLTZ -20℃~90℃ Dual Channel
| Modell | FLTZ-203W-2T | |
| Pipeline | Kanal 1 | Kanal 2 |
| Temperaturbereich | -20℃～+90℃ | -20℃~～90℃ |
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
| Kühlleistung | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Heizleistung | 2kW | 2kW |
| Durchfluss des Wärmeträgermediums | 20L/min@0.5MPa | 20L/min@0.5MPa |
| Schnittstelle zum Wärmeträger | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatur in der Umgebung | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Luftfeuchtigkeit der Umgebung | 30～70% | 30～70% |
| Temperatur des Kühlwassers | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Durchfluss des Kühlwassers | 20L/min | 20L/min |
| Leistungsschalter | 30A | |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Fernsteuerung der Zieltemperatur auf der Grundlage eines selbst erstellten modellfreien Baumalgorithmus und eines Kaskadenalgorithmus | |
| Gewicht | 400kg | |
| Abmessungen | 500*900*1600 | |
FLTZ -10℃~90℃ Dual Channel
| Modell | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | Kanal 1 | Kanal 2 | Kanal 3 |
| Temperaturbereich | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
| Kühlleistung | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Heizleistung | 2kW | 6kW | Wärmeverlust der Pumpe |
| Durchfluss des Wärmeträgermediums | 30L/min@0.85MPa | 30L/min@0.85MPa | 20L/min@0.8MPa |
| Schnittstelle zum Wärmeträger | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatur in der Umgebung | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Luftfeuchtigkeit der Umgebung | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Temperatur des Kühlwassers | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Durchfluss des Kühlwassers | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Leistungsschalter | 75A | ||
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Fernsteuerung der Zieltemperatur auf der Grundlage eines selbst erstellten modellfreien Baumalgorithmus und eines Kaskadenalgorithmus | ||
| Gewicht | 600kg | ||
| Abmessungen | 600*1000*1700 | ||
| Modell | FLTZ-203W/2T Doppeltes System | FLTZ-305W/2T Doppeltes System | FLTZ-406W/2T Doppeltes System | |||
| Temperaturbereich | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.1℃ | |||||
| Durchflusskontrolle und Druck | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Heizen | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Kühlleistung | 3KW at-15℃ | 3KW at-15℃ | 5KW at-15℃ | 5KW at-15℃ | 2.5KW at -35℃ | 2.5KW at -35℃ |
| Interner Umlauf Flüssigkeitsvolumen | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 15L | 25L | 25L | |||
| Wärmeübertragungsmedium | Fluorierung, Frostschutzmittel, thermisches Silikonöl, usw. | |||||
| Kältemittel | R404A/ R448 | |||||
| Schnittstelle zum Wärmeträger | ZG3/4 | |||||
| Schnittstelle zum Kühlwasser | ZG3/4 | |||||
| Kühlwasser | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| Stromversorgung | Three-phase220V / Three-phase 400V /Three-phase 460V | |||||
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Fernsteuerung der Zieltemperatur auf der Grundlage eines selbst erstellten modellfreien Baumalgorithmus und eines Kaskadenalgorithmus | |||||
FLTZ -45℃~90℃ Dual Channel
| Modell | FLTZ-203W/2T Doppelsystem | FLTZ-305W/2T Doppelsystem | FLTZ-406W/2T Doppelsystem | |||
| Temperaturbereich | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.1℃ | |||||
| Durchflussmenge des wärmeleitenden Mediums | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Heizleistung | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Kühlleistung | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
| Volumen der internen Zirkulationsflüssigkeit | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 15L | 25L | 25L | |||
| Wärmeleitendes Medium | Fluorierte Flüssigkeit, Frostschutzmittel, wärmeleitendes Silikonöl, usw. | |||||
| Kältemittel | R404A/ R448 | |||||
| Schnittstelle zum wärmeleitenden Medium | ZG3/4 | |||||
| Schnittstelle zum Kühlwasser | ZG3/4 | |||||
| Schnittstelle zum Kühlwasser | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| Leistung | Dreiphasig 220V/Dreiphasig 400V/Dreiphasig 460V | |||||
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Die Fernzieltemperatur kann durch Kombination des selbst erstellten modellfreien selbst aufgebauten Baum- Algorithmus und des Kaskadenalgorithmus gesteuert werden |
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Beschreibungen
Die unabhängige Mehrkanal-Temperaturregelung kann über getrennte Temperaturbereiche, Kühl- und Heizfunktionen, Wärmeträgerströme usw. verfügen. Es werden zwei unabhängige Systeme verwendet. Je nach erforderlichem Temperaturbereich kann ein Dampfkompressionskältesystem oder ein kompressorfreies ETCU-Wärmeaustauschsystem gewählt werden. Das System kann Ausdehnungsgefäße, Kondensatoren, Kühlwassersysteme usw. verwenden, wodurch die Größe der Ausrüstung und die Betriebsschritte effektiv reduziert werden können.
Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
Anwendungen
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