LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
- Genauigkeit der Temperatur±0.1℃
- RefrigentR404A
- Durchflusskontrolle25~75/min 6bar max
- Leistungsbereich380V 3kW~17kW
Temperaturkontrolle in Prüfprozessen der Halbleiterproduktion
Heizung Methode innerhalb 40 ℃ nimmt einen Kompressor Heißgasheizung vollständig geschlossenen Design, und die Maschine arbeitet kontinuierlich für 24 Stunden
Gewährleistung eines stabilen und zuverlässigen Halbleiter-Gesamtprozesses vom Front-End bis zum Back-End
Hauptsächlich verwendet für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und Testprozesse, Heizung innerhalb 40 ° C mit einem Kompressor Heißgas-Heizung Methode
Details zur Konfiguration
FLTZ -20℃~90℃ Zweikanal
| Modell | FLTZ-203W-2T | |
| Pipeline | Kanal 1 | Kanal 2 |
| Temperaturbereich | -20℃～+90℃ | -20℃~～90℃ |
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
| Kühlleistung | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Heizleistung | 2kW | 2kW |
| Durchfluss des Wärmeträgermediums | 20L/min@0.5MPa | 20L/min@0.5MPa |
| Schnittstelle zum Wärmeträger | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatur in der Umgebung | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Luftfeuchtigkeit der Umgebung | 30～70% | 30～70% |
| Temperatur des Kühlwassers | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Durchfluss des Kühlwassers | 20L/min | 20L/min |
| Stromkreisunterbrecher | 30A | |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Fernsteuerung der Zieltemperatur auf der Grundlage eines selbst erstellten modellfreien Baumalgorithmus und eines Kaskadenalgorithmus | |
| Gewicht | 400kg | |
| Abmessungen | 500*900*1600 | |
FLTZ -10℃~90℃ Zweikanal
| Modell | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | Kanal 1 | Kanal 2 | Kanal 3 |
| Temperaturbereich | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
| Kühlleistung | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Heizleistung | 2kW | 6kW | Wärmeverlust der Pumpe |
| Durchfluss des Wärmeträgermediums | 30L/min@0.85MPa | 30L/min@0.85MPa | 20L/min@0.8MPa |
| Schnittstelle zum Wärmeträger | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatur in der Umgebung | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Luftfeuchtigkeit der Umgebung | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Temperatur des Kühlwassers | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Durchfluss des Kühlwassers | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Stromkreisunterbrecher | 75A | ||
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Fernsteuerung der Zieltemperatur auf der Grundlage eines selbst erstellten modellfreien Baumalgorithmus und eines Kaskadenalgorithmus | ||
| Gewicht | 600kg | ||
| Abmessungen | 600*1000*1700 | ||
| Modell | FLTZ-203W/2T Doppeltes System | FLTZ-305W/2T Doppeltes System | FLTZ-406W/2T Doppeltes System | |||
| Temperaturbereich | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.1℃ | |||||
| Durchflusskontrolle und Druck | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Heizung | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Kühlleistung | 3KW bei-15℃ | 3KW bei-15℃ | 5KW bei-15℃ | 5KW bei-15℃ | 2,5KW bei -35℃ | 2,5KW bei -35℃ |
| Interner Umlauf Flüssigkeitsvolumen | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 15L | 25L | 25L | |||
| Wärmeübertragungsmedium | Fluorierung, Frostschutzmittel, thermisches Silikonöl, usw. | |||||
| Kältemittel | R404A/ R448 | |||||
| Schnittstelle zum Wärmeträger | ZG3/4 | |||||
| Schnittstelle zum Kühlwasser | ZG3/4 | |||||
| Kühlwasser | 50L/min bei20℃ | 600L/min bei20℃ | 50L/min bei20℃ | |||
| Stromversorgung | Dreiphasig220V / Dreiphasig 400V / Dreiphasig 460V | |||||
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Fernsteuerung der Zieltemperatur auf der Grundlage eines selbst erstellten modellfreien Baumalgorithmus und eines Kaskadenalgorithmus | |||||
FLTZ -45℃~90℃ Zweikanal
| Modell | FLTZ-203W/2T Doppelsystem | FLTZ-305W/2T Doppelsystem | FLTZ-406W/2T Doppelsystem | |||
| Temperaturbereich | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.1℃ | |||||
| Durchflussmenge des wärmeleitenden Mediums | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Heizleistung | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Kühlleistung | 3kW bei-15℃ | 3kW bei-15℃ | 5kW bei-15℃ | 5kW bei-15℃ | 2,5 kW bei -35℃ | 2,5 kW bei -35℃ |
| Volumen der internen Zirkulationsflüssigkeit | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 15L | 25L | 25L | |||
| Wärmeleitendes Medium | Fluorierte Flüssigkeit, Frostschutzmittel, wärmeleitendes Silikonöl, usw. | |||||
| Kältemittel | R404A/ R448 | |||||
| Schnittstelle zum wärmeleitenden Medium | ZG3/4 | |||||
| Schnittstelle zum Kühlwasser | ZG3/4 | |||||
| Schnittstelle zum Kühlwasser | 50L/min bei20℃ | 600L/min bei20℃ | 50L/min bei20℃ | |||
| Strom | Dreiphasig 220V/Dreiphasig 400V/Dreiphasig 460V | |||||
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Die Fernzieltemperatur kann durch die Kombination des selbst erstellten Modells frei selbst gebaut Algorithmus und Kaskadenalgorithmus |
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Beschreibungen
Die unabhängige Mehrkanal-Temperaturregelung kann über getrennte Temperaturbereiche, Kühl- und Heizfunktionen, Wärmeträgerströme usw. verfügen. Es werden zwei unabhängige Systeme verwendet. Je nach erforderlichem Temperaturbereich kann ein Dampfkompressionskältesystem oder ein kompressorfreies ETCU-Wärmeaustauschsystem gewählt werden. Das System kann Ausdehnungsgefäße, Kondensatoren, Kühlwassersysteme usw. verwenden, wodurch die Größe der Ausrüstung und die Betriebsschritte effektiv reduziert werden können.
Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
Anwendungen
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