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FLT-100℃~80℃ Niedertemperatur-Kaskade

FLT -100℃~80℃

Die Hauptanwendung ist die genaue Kontrolle der Temperatur in der Halbleiterproduktion und im Prüfverfahren. Die Erhitzungsmethode liegt innerhalb von 40 °C und verwendet Heißgas aus einem Kompressor, um das Konzentrat zu erhitzen.
  • Genauigkeit der Temperatur±0.1℃
  • Durchflusskontrolle12~45/min
  • TypNiedertemperatur-Kaskade
  • Leistungsbereich380V

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Details zur Konfiguration

Modell

FLT-803W

FLT-805W

FLT-806W

FLT-808W

FLT-810W

Temperaturbereich

-80℃~+80℃

Genauigkeit der Temperaturregelung

±0.1℃  

Durchflusskontrolle

7~25L/min

12~45L/min

 

Die Durchflussregelung erfolgt über einen Frequenzumrichter, und die Drehzahl wird automatisch entsprechend dem Rückmeldesignal des Durchflusssensors angepasst. Der maximale Druck der Umwälzpumpe beträgt 6 bar.

Kühlleistung@-70℃

0,6KW

1KW

1,5KW

2KW

3KW

Heizleistung

2KW

2KW

2KW

3,5KW

3,5KW

Interner Kreislauf Flüssigkeitsvolumen

4L

5L

6L

8L

10L

Volumen des Ausdehnungsgefäßes

10L

10L

15L

15L

20L

Thermisches Medium

Fluorierte Flüssigkeit

Eingangs- und Ausgangsschnittstelle

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

Schnittstelle zum Kühlwasser

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

G1

G1

Kühlwasser @20℃

1,8m3/h

2,5 m3/h

3m3/h

5 m3/h

6m3/h

Stromversorgung

380V 50HZ

Unterbrecher

25A

25A

32A

40A

50A

Modell

FLT-1002W

FLT-1004W

Temperaturbereich

-100℃~+80℃

-100℃~+80℃

Temperaturgenauigkeit

±0.1℃  

±0.1℃  

Durchflusskontrolle 

7~25L/min

12~45L/min

 

Die Durchflussregelung erfolgt über einen Frequenzumrichter, und die Drehzahl wird automatisch entsprechend dem Rückmeldesignal des Durchflusssensors angepasst. Der maximale Druck der Umwälzpumpe beträgt 6 bar.

Kühlleistung@-90℃

1,5KW

3KW

Heizleistung

3,5KW

5,5KW

Volumen der internen Zirkulationsflüssigkeit

5L

8L

Volumen des Ausdehnungsgefäßes

10L

15L

Thermisches Medium

Fluorierte Flüssigkeit

Eingangs- und Ausgangsschnittstelle

ZG3/4

ZG3/4

Schnittstelle zum Kühlwasser

G3/4

G1

Kühlwasser @20℃

50L/min 2bar~7bar

100L/min 2bar~7bar

Strom

380V 50HZ

380V 50HZ

Unterbrecher

32A

63A

Gewicht

700*800*1850

800*1200*1850

Anwendungen

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    Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 12~45/min

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    Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 25~75/min 6bar max Kältemittel R404A Leistungsbereich 380V 3,5kW~16kW

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