FLT -100℃~80℃
Die Hauptanwendung ist die genaue Kontrolle der Temperatur in der Halbleiterproduktion und im Prüfverfahren. Die Erhitzungsmethode liegt innerhalb von 40 °C und verwendet Heißgas aus einem Kompressor, um das Konzentrat zu erhitzen.- Genauigkeit der Temperatur±0.1℃
- Durchflusskontrolle12~45/min
- TypNiedertemperatur-Kaskade
- Leistungsbereich380V
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Details zur Konfiguration
Modell |
FLT-803W |
FLT-805W |
FLT-806W |
FLT-808W |
FLT-810W |
Temperaturbereich |
-80℃~+80℃ |
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Genauigkeit der Temperaturregelung |
±0.1℃ |
||||
Durchflusskontrolle |
7~25L/min |
12~45L/min |
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Die Durchflussregelung erfolgt über einen Frequenzumrichter, und die Drehzahl wird automatisch entsprechend dem Rückmeldesignal des Durchflusssensors angepasst. Der maximale Druck der Umwälzpumpe beträgt 6 bar. |
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Kühlleistung@-70℃ |
0,6KW |
1KW |
1,5KW |
2KW |
3KW |
Heizleistung |
2KW |
2KW |
2KW |
3,5KW |
3,5KW |
Interner Kreislauf Flüssigkeitsvolumen |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
Volumen des Ausdehnungsgefäßes |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
Thermisches Medium |
Fluorierte Flüssigkeit |
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Eingangs- und Ausgangsschnittstelle |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
Schnittstelle zum Kühlwasser |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
G1 |
G1 |
Kühlwasser @20℃ |
1,8m3/h |
2,5 m3/h |
3m3/h |
5 m3/h |
6m3/h |
Stromversorgung |
380V 50HZ |
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Unterbrecher |
25A |
25A |
32A |
40A |
50A |
Modell |
FLT-1002W |
FLT-1004W |
Temperaturbereich |
-100℃~+80℃ |
-100℃~+80℃ |
Temperaturgenauigkeit |
±0.1℃ |
±0.1℃ |
Durchflusskontrolle |
7~25L/min |
12~45L/min |
Die Durchflussregelung erfolgt über einen Frequenzumrichter, und die Drehzahl wird automatisch entsprechend dem Rückmeldesignal des Durchflusssensors angepasst. Der maximale Druck der Umwälzpumpe beträgt 6 bar. |
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Kühlleistung@-90℃ |
1,5KW |
3KW |
Heizleistung |
3,5KW |
5,5KW |
Volumen der internen Zirkulationsflüssigkeit |
5L |
8L |
Volumen des Ausdehnungsgefäßes |
10L |
15L |
Thermisches Medium |
Fluorierte Flüssigkeit |
|
Eingangs- und Ausgangsschnittstelle |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
Schnittstelle zum Kühlwasser |
G3/4 |
G1 |
Kühlwasser @20℃ |
50L/min 2bar~7bar |
100L/min 2bar~7bar |
Strom |
380V 50HZ |
380V 50HZ |
Unterbrecher |
32A |
63A |
Gewicht |
700*800*1850 |
800*1200*1850 |
Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
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