Kühlung Kältemaschine

Um die Ausbeute der Produkte zu verbessern und die Rentabilität zu gewährleisten, muss die Qualitätskontrolle in jeder Phase der Halbleiterindustrie durchgeführt werden. Ein wichtiger Faktor, der die Produktqualität beeinflusst, ist die Temperatur. Temperaturstabilität und -genauigkeit sind sehr wichtig, um stabile und zuverlässige Produkte zu gewährleisten. Sicherstellung eines stabilen und zuverlässigen Gesamtprozesses in der Halbleiterindustrie vom Front-End bis zum Back-End.

Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.

Kann in folgenden Prozessen eingesetzt werden: Oxidation, Klebstoffbeschichtung, Fotolithografie, Entwicklung, Ätzen, Ionenimplantation, Klebstoffentfernung, Filmabscheidung, CMP, Reinigung.

Top dielectric etching dual channel chiller
Metal hard mask etching single channel chiller
Shallow trench isolation trench etching single channel chiller
Side wall etching single channel chiller
Metal hard mask etching single channel chiller
Shallow trench isolation trench etching single channel chiller
Polycrystalline silicon etching single channel chiller
Side wall etching single channel chiller
Edge etching single channel chiller
Dielectric etching dual channel chiller
Photoresist etching back dual channel chiller
Polycrystalline silicon etching dual channel chiller
Shallow trench isolation trench etching dual channel chiller
Top layer dielectric etching (cathode) single channel chiller
Top layer dielectric etching (chamber wall) single channel chiller
Dielectric etching dual channel chiller
Contact hole etching dual channel chiller