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Conventional Type FLT -45℃~80℃

Conventional type FLT -45℃~80℃

Hauptsächlich verwendet für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und Testprozesse, Heizung innerhalb 40 ° C mit einem Kompressor Heißgas-Heizung Methode
  • Genauigkeit der Temperatur±0.1℃
  • Durchflusskontrolle25~75/min 6bar max
  • RefrigentR404A
  • Leistungsbereich380V 3,5kW~16kW

Produktdaten herunterladen

Heizung Methode innerhalb 40 ℃ nimmt einen Kompressor Heißgasheizung vollständig geschlossenen Design, und die Maschine arbeitet kontinuierlich für 24 Stunden

Details zur Konfiguration

Modell

FLT-002

FLT-002W

FLT-003

FLT-003W

FLT-004

FLT-004W

FLT-006

FLT-006W

FLT-008

FLT-008W

FLT-010

FLT-010W

FLT-015

FLT-015W

Temperaturkontrolle

 5℃~40℃

Temperaturgenauigkeit

±0.05℃  

Durchflusskontrolle  

10~25L/min 5bar max

15~45L/min 6bar max

25~75L/min 6bar max

Kühlleistung@10℃

 6kw

 8kw

 10kw

15 kw

 20kw

 25kw

 40kw

Interner Umlauf Flüssigkeitsvolumen

4L

5L

6L

8L

10L

12L

20L

Fassungsvermögen des Ausdehnungsgefäßes

10L

10L

15L

15L

20L

25L

35L

Kältemittel

R410A

Sekundäres Kältemittel

Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, wässrige Ethylenglykollösung, DI usw. (DI-Temperatur muss über 10 ℃ kontrolliert werden)

Eingangs- und Ausgangsschnittstellen

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

Auslass für Kühlwasser

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG1

ZG1

ZG1

ZG1 1/8

Durchflussmenge des Kühlwassers@20℃

1.5m³/h

2m³/h

2.5m³/h

4m³/h

4.5m³/h

5,6m³/h

9m³/h

Stromversorgung 380V

3,5 kW

4kW

5,5 kW

7kW

9,5 kW

12kW

16kW

Ausdehnung der Temperatur

Durch Hinzufügen einer elektrischen Heizung kann der Temperaturbereich von -25 ℃ bis 80 ℃ erweitert werden.

Modell

FLT-202

FLT-202W

FLT-203

FLT-203W

FLT-204

FLT-204W

FLT-206

FLT-206W

FLT-208

FLT-208W

FLT-210

FLT-210W

FLT-215

FLT-215W

Temperaturbereich

-25℃~40℃

Genauigkeit der Temperaturregelung

±0.05℃  

Durchflusskontrolle  

10~25L/min ±0,3

15~45L/min ±0,3

25~75L/min ±0,3

Die Durchflussregelung erfolgt über einen Frequenzumrichter, und der maximale Druck der Umwälzpumpe beträgt 5 bar.

Kältetechnik

@-15℃

2kw

3kw

3,8 kW

6kw

7,6 kW

10kw

15kw

Interner Kreislauf Flüssigkeitsvolumen

4L

5L

6L

8L

10L

12L

20L

Volumen des Ausdehnungsgefäßes

10L

10L

15L

15L

20L

25L

35L

Kältemittel

R404A

Sekundäres Kältemittel

Wasser, Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, wässrige Ethylenglykol-Lösung, usw.

Eingangs- und Ausgangsschnittstelle

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

Kühlwasseranschluss

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

ZG1 1/8

Kühlwasserdurchfluss@20℃

1,2m³/H

1,6m³/H

2,6m³/H

3,6m³/H

5.5m³/H

7m³/H

10,2m³/H

Leistung 380V

3KW

4KW

6KW

8KW

9KW

13KW

17KW

Temp. Expansion

Durch Hinzufügen einer elektrischen Heizung kann sie auf -25℃~80℃ erweitert werden.

Modell

FLT-402

FLT-402W

FLT-403

FLT-403W

FLT-404

FLT-404W

FLT-406

FLT-406W

FLT-408

FLT-408W

FLT-410

FLT-410W

FLT-415

FLT-415W

Temperaturkontrolle

 -45℃~40℃

Genauigkeit der Temperaturregelung

±0.05℃  

Durchflusskontrolle  

10~25L/min 5bar max

15~45L/min 6bar max

25~75L/min 6bar max

Heizung

Die Verdichterheizung wird eingesetzt, um ein Vereisen des Verflüssigers zu verhindern

Kapazität der Kühlung

@-35℃

1kw

1,4 kW

1,8 kW

2,5 kW

3,3 kW

5kw

8kw

Volumen der internen Zirkulationsflüssigkeit

4L

5L

6L

8L

10L

12L

20L

Volumen des Ausdehnungsgefäßes

10L

10L

15L

15L

20L

25L

35L

Kältemittel

R404A

Sekundäres Kältemittel

Wasser, Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, wässrige Ethylenglykol-Lösung, usw.

Eingangs- und Ausgangsschnittstelle

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG3/4

Kühlwasseranschluss

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

ZG1

ZG1 1/8

Kühlwasserdurchfluss @20℃

1.5m³/H

2,4m³/H

3.5m³/H

5m³/H

5.5m³/H

6m³/H

8m³/H

Leistung 380V

3KW

4KW

6KW

7,5KW

9KW

12KW

15KW

Temperatur-Ausdehnung

Durch Hinzufügen einer elektrischen Heizung kann sie auf -25℃~80℃ erweitert werden.

Beschreibung des Produkts

Das Halbleiter-Temperiergerät Chiller wird hauptsächlich für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und in Testprozessen verwendet. Zu den Produkten gehören die Temperaturregelung von fluorierten Flüssigkeiten (mindestens -100 Grad), die schnelle Temperaturänderung von Gaskühlung und -erwärmung, die schnelle Temperaturänderung von Chuck, die Niedrigtemperatur-Gaskühlmaschine (-120 Grad), die direkte Kühlung (-150 Grad) usw. Das Unternehmen wendet verschiedene Algorithmen (PID, Feedforward PID und modellfreier, selbst aufgebauter Baumalgorithmus) im System an, um eine schnelle Reaktion und hohe Regelgenauigkeit zu erreichen.

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