Semiconductor Process Cooling Chiller

Conventional type FLT -45℃~80℃

Kühlung Kältemaschine

Genauigkeit der Temperatur±0.1℃
Durchflusskontrolle25~75/min 6bar max
RefrigentR404A
Leistungsbereich380V 3,5kW~16kW

Kaltwassersatz Halbleiter-Kühlgerät

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Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und bei Prüfprozessen

Heizung Methode innerhalb 40 ℃ nimmt einen Kompressor Heißgasheizung vollständig geschlossenen Design, und die Maschine arbeitet kontinuierlich für 24 Stunden

Gewährleistung eines stabilen und zuverlässigen Halbleiter-Gesamtprozesses vom Front-End bis zum Back-End

Beschreibung des Produkts

Das Halbleiter-Temperiergerät Chiller wird hauptsächlich für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und in Testprozessen verwendet. Zu den Produkten gehören die Temperaturregelung von fluorierten Flüssigkeiten (mindestens -100 Grad), die schnelle Temperaturänderung von Gaskühlung und -erwärmung, die schnelle Temperaturänderung von Chuck, die Niedrigtemperatur-Gaskühlmaschine (-120 Grad), die direkte Kühlung (-150 Grad) usw. Das Unternehmen wendet verschiedene Algorithmen (PID, Feedforward PID und modellfreier, selbst aufgebauter Baumalgorithmus) im System an, um eine schnelle Reaktion und hohe Regelgenauigkeit zu erreichen.

Wichtige Informationen wie die Abgas- und Ansaugtemperatur (Druck), die Kondensationstemperatur, die Kühlwassertemperatur (Druck), die Temperatur (Druck) der ein- und austretenden Flüssigkeiten (Gase), die elektrische Leistung, der Strom und die Spannung der einzelnen Komponenten sowie der Füllstand des Wassertanks der Kältemaschine werden über Sensoren, die mit dem Steuerungssystem verbunden sind, umfassend verwaltet, überwacht und aufgezeichnet.

Heizung Methode innerhalb 40 ℃ nimmt Kompressor Heißgasheizung.

Das Umwälzsystem der Kältemaschine ist vollständig geschlossen, und die Umwälzpumpe ist eine Magnetkupplungspumpe.

Heliumprüfung der Kältemaschine 100%, Prüfung der Sicherheitsvorschriften 100% zur Gewährleistung der Sicherheit und Zuverlässigkeit des Systems.

Der Kühler betreibt das Kopiergerät 24 Stunden lang ununterbrochen bei 100%.

Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln

Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.

Details zur Konfiguration

Modell	FLT-002 FLT-002W	FLT-003 FLT-003W	FLT-004 FLT-004W	FLT-006 FLT-006W	FLT-008 FLT-008W	FLT-010 FLT-010W	FLT-015 FLT-015W
Temperaturkontrolle	5℃～40℃
Temperaturgenauigkeit	±0.05℃
Durchflusskontrolle	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Kühlleistung@10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
Interner Umlauf Flüssigkeitsvolumen	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Fassungsvermögen des Ausdehnungsgefäßes	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Kältemittel	R410A
Sekundäres Kältemittel	Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, wässrige Ethylenglykollösung, DI usw. (DI-Temperatur muss über 10 ℃ kontrolliert werden)
Eingangs- und Ausgangsschnittstellen	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Auslass für Kühlwasser	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Durchflussmenge des Kühlwassers@20℃	1.5m³/h	2m³/h	2.5m³/h	4m³/h	4.5m³/h	5,6m³/h	9m³/h
Stromversorgung 380V	3,5 kW	4kW	5,5 kW	7kW	9,5 kW	12kW	16kW
Ausdehnung der Temperatur	Durch Hinzufügen einer elektrischen Heizung kann der Temperaturbereich von -25 ℃ bis 80 ℃ erweitert werden.

Modell	FLT-202 FLT-202W	FLT-203 FLT-203W	FLT-204 FLT-204W	FLT-206 FLT-206W	FLT-208 FLT-208W	FLT-210 FLT-210W	FLT-215 FLT-215W
Temperaturbereich	-25℃～40℃
Genauigkeit der Temperaturregelung	±0.05℃
Durchflusskontrolle	10～25L/min ±0,3		15～45L/min ±0,3			25～75L/min ±0,3
Durchflusskontrolle	Die Durchflussregelung erfolgt über einen Frequenzumrichter, und der maximale Druck der Umwälzpumpe beträgt 5 bar.
Kältetechnik @-15℃	2kw	3kw	3,8 kW	6kw	7,6 kW	10kw	15kw
Interner Kreislauf Flüssigkeitsvolumen	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volumen des Ausdehnungsgefäßes	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Kältemittel	R404A
Sekundäres Kältemittel	Wasser, Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, wässrige Ethylenglykol-Lösung, usw.
Eingangs- und Ausgangsschnittstelle	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Kühlwasseranschluss	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Kühlwasserdurchfluss@20℃	1,2m³/H	1,6m³/H	2,6m³/H	3,6m³/H	5.5m³/H	7m³/H	10,2m³/H
Leistung 380V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
Temp. Expansion	Durch Hinzufügen einer elektrischen Heizung kann sie auf -25℃~80℃ erweitert werden.

Modell	FLT-402 FLT-402W	FLT-403 FLT-403W	FLT-404 FLT-404W	FLT-406 FLT-406W	FLT-408 FLT-408W	FLT-410 FLT-410W	FLT-415 FLT-415W
Temperaturkontrolle	-45℃～40℃
Genauigkeit der Temperaturregelung	±0.05℃
Durchflusskontrolle	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Heizung	Die Verdichterheizung wird eingesetzt, um ein Vereisen des Verflüssigers zu verhindern
Kapazität der Kühlung @-35℃	1kw	1,4 kW	1,8 kW	2,5 kW	3,3 kW	5kw	8kw
Volumen der internen Zirkulationsflüssigkeit	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volumen des Ausdehnungsgefäßes	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Kältemittel	R404A
Sekundäres Kältemittel	Wasser, Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, wässrige Ethylenglykol-Lösung, usw.
Eingangs- und Ausgangsschnittstelle	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG3/4
Kühlwasseranschluss	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Kühlwasserdurchfluss @20℃	1.5m³/H	2,4m³/H	3.5m³/H	5m³/H	5.5m³/H	6m³/H	8m³/H
Leistung 380V	3KW	4KW	6KW	7,5KW	9KW	12KW	15KW
Temperatur-Ausdehnung	Durch Hinzufügen einer elektrischen Heizung kann sie auf -25℃~80℃ erweitert werden.

Communication function

Standard equipment includes serial

Communication (RS232C, RS485) and contact input/output. Can communicate with customer devices or build systems.

client output signal

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