LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
Semiconductor Cooling Chiller
FLTZ -45℃~90℃- Genauigkeit der Temperatur±0.1℃
- Durchflusskontrolle25~75/min 6bar max
- RefrigentR404A
- Leistungsbereich380V 3,5kW~16kW
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Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und bei Prüfprozessen
Heating method within 40 ℃ adopts a compressor hot gas heating fully enclosed design, and the machine operates continuously for 24 hours
Gewährleistung eines stabilen und zuverlässigen Halbleiter-Gesamtprozesses vom Front-End bis zum Back-End
Beschreibung des Produkts
Das Halbleiter-Temperiergerät Chiller wird hauptsächlich für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und in Testprozessen verwendet. Zu den Produkten gehören die Temperaturregelung von fluorierten Flüssigkeiten (mindestens -100 Grad), die schnelle Temperaturänderung von Gaskühlung und -erwärmung, die schnelle Temperaturänderung von Chuck, die Niedrigtemperatur-Gaskühlmaschine (-120 Grad), die direkte Kühlung (-150 Grad) usw. Das Unternehmen wendet verschiedene Algorithmen (PID, Feedforward PID und modellfreier, selbst aufgebauter Baumalgorithmus) im System an, um eine schnelle Reaktion und hohe Regelgenauigkeit zu erreichen.
Wichtige Informationen wie die Abgas- und Ansaugtemperatur (Druck), die Kondensationstemperatur, die Kühlwassertemperatur (Druck), die Temperatur (Druck) der ein- und austretenden Flüssigkeiten (Gase), die elektrische Leistung, der Strom und die Spannung der einzelnen Komponenten sowie der Füllstand des Wassertanks der Kältemaschine werden über Sensoren, die mit dem Steuerungssystem verbunden sind, umfassend verwaltet, überwacht und aufgezeichnet.
Heating method within 40 ℃ adopts compressor hot gas heating.
Das Umwälzsystem der Kältemaschine ist vollständig geschlossen, und die Umwälzpumpe ist eine Magnetkupplungspumpe.
Heliumprüfung der Kältemaschine 100%, Prüfung der Sicherheitsvorschriften 100% zur Gewährleistung der Sicherheit und Zuverlässigkeit des Systems.
Der Kühler betreibt das Kopiergerät 24 Stunden lang ununterbrochen bei 100%.
Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
Details zur Konfiguration
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Modell |
FLTZ-002 FLTZ-002W |
FLTZ-003 FLTZ-003W |
FLTZ-004 FLTZ-004W |
FLTZ-006 FLTZ-006W |
FLTZ-008 FLTZ-008W |
FLTZ-010 FLTZ-010W |
FLTZ-015 FLTZ-015W |
|
Temperaturkontrolle |
5℃～90℃ |
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|
Temperaturgenauigkeit |
±0.05℃ |
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|
Durchflusskontrolle |
10～25L/min 5bar max |
15～45L/min 6bar max |
25～75L/min 6bar max |
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Refrigeration capacity@10℃ |
6kw |
8kw |
10kw |
15 kw |
20kw |
25kw |
40kw |
|
Interner Umlauf Flüssigkeitsvolumen |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
|
Fassungsvermögen des Ausdehnungsgefäßes |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
|
Kältemittel |
R410A |
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|
Sekundäres Kältemittel |
Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, wässrige Ethylenglykollösung, DI usw. (DI-Temperatur muss über 10 ℃ kontrolliert werden) |
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|
Eingangs- und Ausgangsschnittstellen |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
|
Auslass für Kühlwasser |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 1/8 |
|
Cooling water flow rate@20℃ |
1.5m³/h |
2m³/h |
2.5m³/h |
4m³/h |
4.5m³/h |
5.6m³/h |
9m³/h |
|
Stromversorgung 380V |
3,5 kW |
4kW |
5,5 kW |
7kW |
9,5 kW |
12kW |
16kW |
|
Ausdehnung der Temperatur |
By adding an electric heater, expand the temperature range from -25 ℃ to 80 ℃ |
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|
Modell |
FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
|
Temperaturbereich |
-25℃～90℃ |
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|
Genauigkeit der Temperaturregelung |
±0.05℃ |
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|
Durchflusskontrolle |
10～25L/min ±0.3 |
15～45L/min ±0.3 |
25～75L/min ±0.3 |
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|
Die Durchflussregelung erfolgt über einen Frequenzumrichter, und der maximale Druck der Umwälzpumpe beträgt 5 bar. |
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|
Kältetechnik @-15℃ |
2kw |
3kw |
3,8 kW |
6kw |
7,6 kW |
10kw |
15kw |
|
Interner Kreislauf Flüssigkeitsvolumen |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
|
Volumen des Ausdehnungsgefäßes |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
|
Kältemittel |
R404A |
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|
Sekundäres Kältemittel |
Wasser, Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, wässrige Ethylenglykol-Lösung, usw. |
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|
Eingangs- und Ausgangsschnittstelle |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
|
Kühlwasseranschluss |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 1/8 |
|
Cooling water flow@20℃ |
1.2m³/H |
1.6m³/H |
2.6m³/H |
3.6m³/H |
5.5m³/H |
7m³/H |
10.2m³/H |
|
Leistung 380V |
3KW |
4KW |
6KW |
8KW |
9KW |
13KW |
17KW |
|
Temp. Expansion |
By adding an electric heater, it can be extended to -25℃~80℃ |
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|
Modell |
FLTZ-402FLTZ-402W | FLTZ-403FLTZ-403W | FLTZ-404FLTZ-404W | FLTZ-406FLTZ-406W | FLTZ-408FLTZ-408W | FLTZ-410FLTZ-410W | FLTZ-415FLTZ-415W |
|
Temperaturregelung |
-45℃～90℃ | ||||||
|
Temperaturregelgenauigkeit |
±0.05℃ |
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|
Durchflusskontrolle |
10～25L/min 5bar max |
15～45L/min 6bar max |
25～75L/min 6bar max |
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|
Heizen |
Die Verdichterheizung wird eingesetzt, um ein Vereisen des Verflüssigers zu verhindern |
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|
Kapazität der Kühlung @-35℃ |
1kw |
1,4 kW |
1,8 kW |
2,5 kW |
3,3 kW |
5kw |
8kw |
|
Volumen der internen Zirkulationsflüssigkeit |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
|
Volumen des Ausdehnungsgefäßes |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
|
Kältemittel |
R404A |
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|
Sekundäres Kältemittel |
Wasser, Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, wässrige Ethylenglykol-Lösung, usw. |
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|
Eingangs- und Ausgangsschnittstelle |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG3/4 |
|
Kühlwasseranschluss |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 1/8 |
|
Kühlwasserfluss @20℃ |
1.5m³/H |
2.4m³/H |
3.5m³/H |
5m³/H |
5.5m³/H |
6m³/H |
8m³/H |
|
Leistung 380V |
3KW |
4KW |
6KW |
7,5KW |
9KW |
12KW |
15KW |
|
Temperatur-Ausdehnung |
By adding an electric heater, it can be extended to -25℃~80℃ |
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Kommunikationsfunktion
Standard equipment includes serial
Communication (RS232C, RS485) and contact input/output. Can communicate with customer devices or build systems.
client output signal
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FLT-100℃~90℃
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
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