LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
Wärmeaustauschkühler (Halbleiter-Temperaturregelung)
ETCU 5℃~90℃Temperaturbereich: +5℃~90℃ ±0.3℃
Kühlleistung: 5kw~30kw
Tankvolumen: 6L~15L
Macht: 06KW~1.6KW
Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und bei Prüfprozessen
Heating method within 40 ℃ adopts a compressor hot gas heating fully enclosed design, and the machine operates continuously for 24 hours
Gewährleistung eines stabilen und zuverlässigen Halbleiter-Gesamtprozesses vom Front-End bis zum Back-End
Details zur Konfiguration
| Modell | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| Temperaturbereich | Cooling water temperature +5℃~90℃ | ||||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.05℃ (outlet temperature steady state) | ||||||
| Temperatur des Kühlwassers | 7℃~30℃ Use Siemens/Honeywell regulating valve to control cooling water flow | ||||||
| Kühlleistung | 5kw | 15kw | 30kw | 50kw | 100kw | 200kw | 300kw |
| Durchfluss der Umwälzpumpe | Test conditions: At maximum circulation, the temperature difference between the control temperature and the cooling water temperature is 15°C | ||||||
| Volumen des Lagertanks | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| Abmessungen | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| Abmessungen | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Personalisierung | Personalisierung | Personalisierung | Personalisierung |
Beschreibung des Produkts
Das Halbleiter-Temperiergerät Chiller wird hauptsächlich für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und in Testprozessen verwendet. Zu den Produkten gehören die Temperaturregelung von fluorierten Flüssigkeiten (mindestens -100 Grad), die schnelle Temperaturänderung von Gaskühlung und -erwärmung, die schnelle Temperaturänderung von Chuck, die Niedrigtemperatur-Gaskühlmaschine (-120 Grad), die direkte Kühlung (-150 Grad) usw. Das Unternehmen wendet verschiedene Algorithmen (PID, Feedforward PID und modellfreier, selbst aufgebauter Baumalgorithmus) im System an, um eine schnelle Reaktion und hohe Regelgenauigkeit zu erreichen.
Wichtige Informationen wie die Abgas- und Ansaugtemperatur (Druck), die Kondensationstemperatur, die Kühlwassertemperatur (Druck), die Temperatur (Druck) der ein- und austretenden Flüssigkeiten (Gase), die elektrische Leistung, der Strom und die Spannung der einzelnen Komponenten sowie der Füllstand des Wassertanks der Kältemaschine werden über Sensoren, die mit dem Steuerungssystem verbunden sind, umfassend verwaltet, überwacht und aufgezeichnet.
Die Hauptanwendung ist die genaue Kontrolle der Temperatur in der Halbleiterproduktion und im Prüfprozess.
The heating method is within 40°C and uses compressor hot gas to heat the concentrate.
Das Umwälzsystem ist vollständig abgedichtet, und die Umwälzpumpe ist eine Magnetkupplungspumpe.
Ammoniak- und Sicherheitsprüfungen zur Gewährleistung von Sicherheit, Zuverlässigkeit und Wohlstand des Systems;
Nach 24 Stunden Dauerbetrieb des Kopierers
Anwendungsszenarien der Temperaturkontrolle im Halbleiterprozess
Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
Anwendungen
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