LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
Heat Exchange Chiller (Semiconductor temperature control )
ETCU 5℃~90℃
Temp Range: +5℃~90℃ ±0.3℃
Cooling Capacity: 5kw~30kw
Tank volume: 6L~15L
Power: 06KW~1.6KW
Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und bei Prüfprozessen
Heizung Methode innerhalb 40 ℃ nimmt einen Kompressor Heißgasheizung vollständig geschlossenen Design, und die Maschine arbeitet kontinuierlich für 24 Stunden
Gewährleistung eines stabilen und zuverlässigen Halbleiter-Gesamtprozesses vom Front-End bis zum Back-End
Details zur Konfiguration
| Modell | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| Temperaturbereich | Cooling water temperature +5℃~90℃ | ||||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.05℃ (outlet temperature steady state) | ||||||
| Temperatur des Kühlwassers | 7℃~30℃ Verwendung eines Siemens/Honeywell-Regelventils zur Steuerung des Kühlwasserdurchflusses | ||||||
| Kühlleistung | 5kw | 15kw | 30kw | 50kw | 100kw | 200kw | 300kw |
| Circulating pump flow | Test conditions: At maximum circulation, the temperature difference between the control temperature and the cooling water temperature is 15°C | ||||||
| Storage tank volume | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| Abmessungen | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| Abmessungen | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Customization | Customization | Customization | Customization |
Beschreibung des Produkts
Das Halbleiter-Temperiergerät Chiller wird hauptsächlich für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und in Testprozessen verwendet. Zu den Produkten gehören die Temperaturregelung von fluorierten Flüssigkeiten (mindestens -100 Grad), die schnelle Temperaturänderung von Gaskühlung und -erwärmung, die schnelle Temperaturänderung von Chuck, die Niedrigtemperatur-Gaskühlmaschine (-120 Grad), die direkte Kühlung (-150 Grad) usw. Das Unternehmen wendet verschiedene Algorithmen (PID, Feedforward PID und modellfreier, selbst aufgebauter Baumalgorithmus) im System an, um eine schnelle Reaktion und hohe Regelgenauigkeit zu erreichen.
Wichtige Informationen wie die Abgas- und Ansaugtemperatur (Druck), die Kondensationstemperatur, die Kühlwassertemperatur (Druck), die Temperatur (Druck) der ein- und austretenden Flüssigkeiten (Gase), die elektrische Leistung, der Strom und die Spannung der einzelnen Komponenten sowie der Füllstand des Wassertanks der Kältemaschine werden über Sensoren, die mit dem Steuerungssystem verbunden sind, umfassend verwaltet, überwacht und aufgezeichnet.
Die Hauptanwendung ist die genaue Kontrolle der Temperatur in der Halbleiterproduktion und im Prüfprozess.
Die Erhitzungsmethode liegt innerhalb von 40 °C und verwendet Heißgas aus dem Kompressor, um das Konzentrat zu erhitzen.
Das Umwälzsystem ist vollständig abgedichtet, und die Umwälzpumpe ist eine Magnetkupplungspumpe.
Ammoniak- und Sicherheitsprüfungen zur Gewährleistung von Sicherheit, Zuverlässigkeit und Wohlstand des Systems;
Nach 24 Stunden Dauerbetrieb des Kopierers
Anwendungsszenarien der Temperaturkontrolle im Halbleiterprozess
Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
Anwendungen
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