ZLJ -40℃~-15℃

Luftgekühlte Kältemaschine für den Halbleiterproduktionsprozess

Direktkühlung Chiller Halbleiter-Test-Kühlgeräte

Kompressor1.5hp~7hp
RefrigentR404A R507C R448
Leistungsbereich380V 50HZ kann 220V wählen
Genauigkeit der Temperatur±0.5℃

luftgekühlte Kältemaschine Halbleiter-Kühlgerät

ANFRAGE

Produktdaten herunterladen

Handbuch.pdf

Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und bei Prüfprozessen

KÜHLER mit direkter Kühlung

Mehrere Kontrollanforderungen können durch die Zusammenlegung mehrerer Geräte in einem größeren Schrank erfüllt werden

Für kleine Wärmeaustauschflächen und große Wärmeaustauschkapazität

Details zur Konfiguration

Modell	ZLJ-41.0	ZLJ-41.5	ZLJ-42	ZLJ-43	ZLJ-44	ZLJ-46	ZLJ-48
Modell	ZLJ-41.0W	ZLJ-41.5W	ZLJ-42W	ZLJ-43W	ZLJ-44W	ZLJ-46W	ZLJ-48W
Temperaturbereich	-40℃～-10℃
Genauigkeit der Temperaturregelung	±0,5℃ Kontrolle der Verdampfungstemperatur
Methode der Drosselung	Elektronisches Expansionsventil
Controller	Siemens SPS
Datensatz anzeigen	7-Zoll-Touchscreen, Aufzeichnung von Temperatur, Systemdruck und anderen Informationen
Hauptkomponenten	Danfoss-Filtertrockner, Castor-Magnetventil, Johnson Controls-Drucksensor, EBM-Ventilator (luftgekühlt), Danfoss/Emerson-Ölabscheider,
Kompressor	Secop, Taikang, Emerson, Carlisle
Kältemittel	R404A Fakultativ R507C R448
Kühlung bei hohen Temperaturen	Mit 150 Grad Hochtemperatur-Direktkühlungstechnologie, um das Ziel der schnellen Kühlung bei hohen Temperaturen zu erreichen
Kompressor	7/8HP	1,5HP	2HP	3HP	4HP	6HP	8HP
Speisung V	220V 50HZ			380V 50HZ Kann angepasst werden 220V

Beschreibung des Produkts

Ausgestattet mit direkter Kühltechnologie bei einer hohen Temperatur von 150℃, die das Ziel einer schnellen Kühlung bei Hochtemperaturbetrieb erfüllt

Das Produkt gibt das Kältemittel im Kältesystem direkt ab und verdampft es zum Wärmeaustausch in das Zielsteuerungselement (Wärmetauscher), wodurch das Zielsteuerungsobjekt gekühlt wird. Im Vergleich zu der in den Wärmetauscher transportierten Flüssigkeit (Gas) ist die Wärmeaustauschkapazität im Allgemeinen mehr als fünfmal höher, was sich besonders für Anwendungen eignet, bei denen die Wärmeaustauschfläche des Wärmetauschers klein, die Wärmeaustauschkapazität aber groß ist.

Das Kältemittel wird direkt in den Ableiter geleitet, um zu verdampfen, und das Gas im Raum wird durch den Kondensationseffekt an der Oberfläche des Ableiters schnell aufgefangen.

Aussehen

1. die Schnittstelle für das Kältemittel 2. Tragbarer Griff

3. Touchscreen 4. Tragbarer Griff

5. Touchscreen-Kartensteckplatz 6. Luftauslass

Schutz der Sicherheit

Verwendung von Fehlerstromschutzschaltern von Schneider und anderen Marken, Phasenfolge-Schutzschaltern, Flüssigkeitsstandschutzgeräten, Hoch- und Niederspannungsschutzgeräten und Hochtemperaturschutzgeräten

Schnittstelle zur Datenkommunikation

Die Standardkonfiguration umfasst einen PT100, eine USB-Schnittstelle und eine RS485-Kommunikationsschnittstelle. Verschiedene andere analoge Schnittstellen und Kontaktsignale können ausgewählt werden, ebenso wie eine Ethernet-Schnittstelle

Bewerbungsprozess

Weitreichend einsetzbar für Ätz-, chemische und physikalische Aufdampfverfahren in Halbleiterwaferfabriken

Ätzen von Wafern

Chemische Gasphasenabscheidung

Physikalische Gasphasenabscheidung

ETCH

CVD

PVD

Klicken Sie auf die Online-Nachricht, um Einzelheiten über das Produkt zu erfahren.

Senden Sie uns eine Nachricht über Direct Cooling Chiller

Produkte empfehlen

ZLT HED Series
Parameters DetailedREQUEST A QUOTERecommended products This device can directly introduce chemical media and accurately control temperature, serving as Preheating, pre cooling and temperature control of the medium before chemic…
SUNDI Z Frequency Conversion Series
HIGHLY TEMPERATURE CONTROL SYSTEMSAir-cooling & Water-coolingDETAIL ADVANTAGE,STRIVING FOR EXCELLENCEConfiguration DetailsFLUID CIRCULATION CLOSED TEMPERATURE CONTROLWIDE RANGE OF APPLICATION INDUSTRY SERVICESAPPEARANCE DETAILS OUALITY CONTROL…
SUNDI -10℃~150℃
Dynamic Cooling Heating SystemControl temperatureTemperature AccuracyConfiguration DetailsYou may also be interested in these products Fully enclosed system, single medium completes refrigeration and heating -120~35…
SUNDI -45℃~300℃
Product DescriptionsConfiguration DetailsWorking PrincipleDisplays Various Information：You may also be interested in these products ● Working temperatures from -120°C to +350°C ● Previously unachievable performance ●Inte…