LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
ZLJ -40℃~-15℃
Luftgekühlte Kältemaschine für den Halbleiterproduktionsprozess- Kompressor1.5hp~7hp
- RefrigentR404A R507C R448
- Leistungsbereich380V 50HZ kann 220V wählen
- Genauigkeit der Temperatur±0.5℃
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Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und bei Prüfprozessen
KÜHLER mit direkter Kühlung
Mehrere Kontrollanforderungen können durch die Zusammenlegung mehrerer Geräte in einem größeren Schrank erfüllt werden
Für kleine Wärmeaustauschflächen und große Wärmeaustauschkapazität
Details zur Konfiguration
| Modell | ZLJ-41.0 | ZLJ-41.5 | ZLJ-42 | ZLJ-43 | ZLJ-44 | ZLJ-46 | ZLJ-48 |
| ZLJ-41.0W | ZLJ-41.5W | ZLJ-42W | ZLJ-43W | ZLJ-44W | ZLJ-46W | ZLJ-48W | |
| Temperaturbereich | -40℃～-10℃ | ||||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.5℃ control evaporation temperature | ||||||
| Methode der Drosselung | Elektronisches Expansionsventil | ||||||
| Controller | Siemens SPS | ||||||
| Datensatz anzeigen | 7-Zoll-Touchscreen, Aufzeichnung von Temperatur, Systemdruck und anderen Informationen | ||||||
| Hauptkomponenten | Danfoss-Filtertrockner, Castor-Magnetventil, Johnson Controls-Drucksensor, EBM-Ventilator (luftgekühlt), Danfoss/Emerson-Ölabscheider, | ||||||
| Kompressor | Secop, Taikang, Emerson, Carlisle | ||||||
| Kältemittel | R404A（Optional）/ R507C / R448 | ||||||
| Kühlung bei hohen Temperaturen | Mit 150 Grad Hochtemperatur-Direktkühlungstechnologie, um das Ziel der schnellen Kühlung bei hohen Temperaturen zu erreichen | ||||||
| Kompressor | 7/8HP | 1,5HP | 2HP | 3HP | 4HP | 6HP | 8HP |
| Speisung V | 220V 50HZ | 380V 50HZ Kann angepasst werden 220V | |||||
Beschreibung des Produkts
Equipped with direct cooling technology at a high temperature of 150℃, meeting the target of rapid cooling ability during high-temperature operation
Das Produkt gibt das Kältemittel im Kältesystem direkt ab und verdampft es zum Wärmeaustausch in das Zielsteuerungselement (Wärmetauscher), wodurch das Zielsteuerungsobjekt gekühlt wird. Im Vergleich zu der in den Wärmetauscher transportierten Flüssigkeit (Gas) ist die Wärmeaustauschkapazität im Allgemeinen mehr als fünfmal höher, was sich besonders für Anwendungen eignet, bei denen die Wärmeaustauschfläche des Wärmetauschers klein, die Wärmeaustauschkapazität aber groß ist.
Das Kältemittel wird direkt in den Ableiter geleitet, um zu verdampfen, und das Gas im Raum wird durch den Kondensationseffekt an der Oberfläche des Ableiters schnell aufgefangen.
Aussehen
1. die Schnittstelle für das Kältemittel 2. Tragbarer Griff
3. Touchscreen 4. Tragbarer Griff
5. Touchscreen-Kartensteckplatz 6. Luftauslass
Schutz der Sicherheit
Verwendung von Fehlerstromschutzschaltern von Schneider und anderen Marken, Phasenfolge-Schutzschaltern, Flüssigkeitsstandschutzgeräten, Hoch- und Niederspannungsschutzgeräten und Hochtemperaturschutzgeräten
Schnittstelle zur Datenkommunikation
Die Standardkonfiguration umfasst einen PT100, eine USB-Schnittstelle und eine RS485-Kommunikationsschnittstelle. Verschiedene andere analoge Schnittstellen und Kontaktsignale können ausgewählt werden, ebenso wie eine Ethernet-Schnittstelle
Bewerbungsprozess
Weitreichend einsetzbar für Ätz-, chemische und physikalische Aufdampfverfahren in Halbleiterwaferfabriken
Ätzen von Wafern
Chemische Gasphasenabscheidung
Physikalische Gasphasenabscheidung
ETCH
CVD
PVD
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