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Geräte zur Temperaturregelung des Halbleiterproduktionsprozesses und des Testprozesses

Verwenden Sie flüssige fluorierte Flüssigkeit zur Temperaturkontrolle (mindestens -100 Grad).
Gaskaltes und heißes Thermofutter mit schnellem Temperaturwechsel
Niedertemperatur-Gaskühler -120 Grad
Direktkühlendes Kühlaggregat (-150 Grad)
Die Heizmethode innerhalb von 40 °C wird durch Kompressor-Heißluft erhitzt.
Das Kühlringsystem verfügt über ein vollständig geschlossenes Design und eine Magnetantriebspumpe.
Chiller100 % Heliumerkennung, 100 % Sicherheitsinspektion, um Sicherheit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten.
Kühler 100 % nach 24 Stunden Dauerbetrieb des Kopiergeräts.

Kondensator: Mikrokanal-Wärmetauscher (luftgekühlt) Plattenwärmetauscher (wassergekühlt)
Verdampfer: Plattenwärmetauscher Drosselvorrichtung: Elektronisches Expansionsventil Zirkulationssystem: Das gesamte System ist ein vollständig geschlossenes System, niedrige Temperaturen absorbieren keine Feuchtigkeit in der Luft, verflüchtigen das Wärmeübertragungsmedium nicht, niedrige Temperaturen füllen das Wärmeübertragungsmedium automatisch in das Zirkulationssystem auf.
Schalenmaterial: kaltgewalztes Blech, lackiert RAL7035
Innerhalb der Rohrleitung: einschließlich Edelstahl SUS304, Kupfer, Keramik, gebrochenes Silikon, Silikondichtmittel, PTFE

Kontrollsystem: SPS programmierbare Steuerung
Kommunikationsprotokoll: RS485-Schnittstelle, Modbus-RTU-Protokoll
Ethernet-Schnittstelle TCP/IP-Protokoll
Bedienoberfläche: LNEYA angepasste 7-Zoll-Farb-Touch-Werkstemperaturkurvenanzeige\EXCEL-Datenexport

Die Pumpe mit variabler Frequenz kann den zirkulierenden Hydraulikdruck und den Durchfluss regulieren


Der Ausgangsdruck und die Durchflussrate des Umlaufmediums können am Bedienfeld eingestellt werden. Selbst unter verschiedenen Rohrleitungsbedingungen des Kunden kann der Ausgangsdruck durch die Frequenzumwandlungspumpe automatisch auf den eingestellten Ausgangsdruck geregelt werden, ohne dass eine Anpassung der Bypass-Rohrleitungen erforderlich ist. Dadurch kann der Stromverbrauch einer Pumpe reduziert werden. Abhängig von der Durchflussmenge können Bypass-Rohrleitungen erforderlich sein

Eine Umlaufheizung ist ohne Heizung möglich, da die Erwärmung durch die Abwärme erfolgt

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