Design von LNEYA-Halbleiterkomponenten-Testgeräten

Das Halbleiterkomponenten-Testgerät wird für den Testbetrieb bei hohen und niedrigen Temperaturen in der Halbleiter- und Komponentenindustrie eingesetzt. Das LNEYA-Testgerät für Halbleiterkomponenten nutzt seine Vorteile im Bereich der dynamischen Temperaturregelungssysteme für Kühlung und Heizung, um in der Branche vergleichbare Testgeräte für Halbleiterkomponenten herzustellen. Groß.

Wenn das Halbleiterkomponenten-Testsystem eine Untertemperaturerkennung durchführt, ist das optische Fenster in der Vakuum-Niedertemperaturkammer erforderlich, um die Vakuumabdichtung im Innenraum aufrechtzuerhalten. Das für die Interferometrie verwendete Licht dringt jedoch durch das Fenster und die Auswirkungen des optischen Fensters auf die Erkennung von Systeminterferenzen müssen sorgfältig abgewogen werden. Optische Fenster bestehen im Allgemeinen aus parallelen Platten aus stabilisiertem explosionssicherem Glas, die strenge Anforderungen an die optischen Eigenschaften des Materials, die Ebenheit und Parallelität der beiden Oberflächen stellen. Die parallelen Platten befinden sich im erfassten Lichtweg. Wenn der optische Detektionspfad ein konvergierender Strahl ist, führt die Parallelplatte notwendigerweise zu Aberrationen (dh sphärischer Aberration), was zu Detektionsfehlern führt. Durch Berechnung wurde festgestellt, dass der durch das optische Fenster verursachte optische Wegunterschied durch die Defokussierung des Interferometers ausgeglichen werden kann. Im tatsächlichen Betrieb kann die richtige Defokussierung so gewählt werden, dass der Gesamtmessfehler gering ist und der Einfluss des optischen Fensters vernachlässigt werden kann.

Wenn das Innere der Tieftemperaturkammer evakuiert wird, herrscht zwischen den beiden Seiten des Fensters ein atmosphärischer Druckunterschied, der einem Druck von 280 Newton auf der Fensterfläche entspricht. Im Prinzip erzeugt eine so große Kraft Spannungen im Inneren des Fensters, was zu einer Änderung des Brechungsindex und damit zu zusätzlichen Wellenunterschieden führt. Die Berechnungen zeigen, dass die durch den atmosphärischen Druck im Inneren des Fensters erzeugte Spannung im äußeren Ring groß, in der Mitte klein und im Mittelpunkt Null ist. Wenn das Erkennungsschema des durch das Fenster laufenden parallelen Strahls mit großer Apertur übernommen wird, ist der Einfluss des Luftdrucks sehr schwerwiegend. Wenn der optische Detektionsweg in Form einer Konvergenz durch einen kleinen Bereich in der Mitte des Fensters verläuft, ist der Beitrag des Luftdrucks zum optischen Wegunterschied des Fensters sehr gering.

Das Halbleiterkomponenten-Testgerät kann die Temperatur der Probe messen, die Spannung des Reglers erhöhen, die Probe durch den Heizstrahler erwärmen, die Temperatur der Probe erhöhen, die Leitfähigkeit und Lichtintensität der Probe bei hoher Temperatur messen und zeichnen der Temperaturanstieg. Die Kurve dieser physikalischen Größen ist hoch.

Das Halbleiterkomponenten-Testgerät kann in verschiedenen Bereichen der Materialwissenschaft eingesetzt werden und verschiedene Materialien, Geräte usw. bei niedriger Temperatur auf elektrische Leitfähigkeit und Lumineszenzleistung testen, insbesondere bei der Temperatur, die oberhalb der kritischen Temperatur einiger hoher Temperaturen erreicht werden kann supraleitende Materialien. Es kann bei dieser Recherche hilfreich sein. Der Langzeittemperaturbereich kann bei hohen und niedrigen Temperaturen auf die Eigenschaften spezieller Materialien wie die Leitfähigkeit von Halbleiterwafern, die Verformung von Waffen, Luftaufnahmen und Weltraumerfassungsoptiken getestet werden.

Der Halbleiterkomponententester LNEYA wurde für Halbleitermaterialien entwickelt und eignet sich zum Testen und Betrieb in verschiedenen Temperaturumgebungen in verschiedenen Halbleitermaterialien.

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