LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
ETCU Series Heat Exchange Chiller without compressor
ANWENDUNGEN
Multi-channel independent temperature control can have independent temperature range, cooling and heating capacity, heat transfer medium flow, etc., using two independent systems, choose steam compression refrigeration according to the required temperature range, or use ETCU compressor-free heat exchange system, the system can use expansion tank, condenser, cooling water system, etc., which can effectively reduce the size of equipment and reduce the operation steps.
Produkt-Parameter
| Modell | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| Temperaturbereich | Kühlwassertemperatur +5℃~90℃ | ||||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0,05℃ (stationäre Austrittstemperatur) | ||||||
| Temperatur des Kühlwassers | 7℃~30℃ Der Kühlwasserfluss wird durch Siemens/Honeywell-Regelventile gesteuert | ||||||
| Kühlleistung | 5kW | 15kW | 30kW | 50kW | 100kW | 200kW | 300kW |
| Testbedingungen: Bei der maximalen Umlaufmenge beträgt der Temperaturunterschied zwischen die Regeltemperatur und die Kühlwassertemperatur beträgt 15℃ |
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| Umwälzpumpe | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| Tankvolumen | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| Abmessung mm | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Personalisierung | Personalisierung | Personalisierung | Personalisierung |
Product Advantages
- Effiziente Produktionsstabilität und Wiederholbarkeit sind das Ergebnis;
- Einsatz von Plattenwärmetauschern und Rohrleitungsheizungen zur Verbesserung der Kühl- und Heizleistung;
- Sehr breiter Temperaturbereich, kein Austausch des flüssigen Mediums erforderlich;
- Vollständig geschlossenes System, das die Lebensdauer von wärmeleitenden Flüssigkeiten verlängert;
- Da die Pumpe magnetisch angetrieben wird, gibt es kein Problem mit einer undichten Wellendichtung;
- Hochtemperatur-Kühltechnik, direkt den Kompressor zu starten, um bei 300 ℃ abkühlen.
ANWENDUNGEN
Temperaturkontrolleinheit eines Halbleiter-FAB-Prozesses
Die Halbleiterherstellung ist ein Prozess mit extrem hohen Umweltanforderungen, und viele Prozessschritte sind sehr temperaturempfindlich.
Eine präzise Temperaturregelung kann eine gleichmäßige Dicke und genaue Zusammensetzung der abgeschiedenen Schichten gewährleisten und so die Chipleistung und den Ertrag verbessern.
for Semiconductor packaging & testing process
Der Prozess der Halbleiterverpackung und -prüfung ist ein wichtiges Glied im Halbleiterproduktionsprozess, einschließlich der Waferprüfung, der Chipverpackung und der Prüfung nach der Verpackung. Dieser Prozess erfordert nicht nur hohe Präzision und Zuverlässigkeit, sondern auch eine strenge Temperaturkontrolle, um Produktqualität und Leistung zu gewährleisten.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
Die Pumpe mit variabler Frequenz kann den Druck und den Durchfluss des Hydraulikkreislaufs einstellen
client output signal
Kommunikationsfunktion
LNEYA provides customized services
custom ETCU sizes
Ob es sich um tragbare, kompakte, große oder kleine Kältemaschinen handelt, wir können sie nach Ihren Anforderungen gestalten. Ganz gleich, wie viele Tonnen Kühler Sie benötigen, wir können die beste Lösung entwickeln.
custom ETCU types
Wir bieten Kältemaschinen verschiedener Kältetypen an, einschließlich, aber nicht beschränkt auf luftgekühlte, wassergekühlte und Verdunstungs-Kondensationskältemaschinen. Unabhängig von der Art des Kältekompressors können wir ihn nach Ihren Anforderungen konstruieren.
custom temperature ranges
Wir können eine kundenspezifische Lösung für Temperaturen von -150℃ bis +350℃ entwickeln. Kundenspezifische Temperaturbereiche für bestimmte Branchen.
custom ETCU voltage
Passen Sie Spannung und Phase des Kühlers an Ihre Bedürfnisse an. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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