Um die Ausbeute der Produkte zu verbessern und die Rentabilität zu gewährleisten, muss die Qualitätskontrolle in jeder Phase der Halbleiterindustrie durchgeführt werden. Ein wichtiger Faktor, der die Produktqualität beeinflusst, ist die Temperatur. Temperaturstabilität und -genauigkeit sind sehr wichtig, um stabile und zuverlässige Produkte zu gewährleisten. Sicherstellung eines stabilen und zuverlässigen Gesamtprozesses in der Halbleiterindustrie vom Front-End bis zum Back-End.
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
Kann in folgenden Prozessen eingesetzt werden: Oxidation, Klebstoffbeschichtung, Fotolithografie, Entwicklung, Ätzen, Ionenimplantation, Klebstoffentfernung, Filmabscheidung, CMP, Reinigung.
LNEYA Luftgekühlte Kältemaschine oder wassergekühlte Kältemaschine
