Konfiguration eines Halbleiterdiffusionsofens mit Temperaturkontrollvorrichtung
1615In der Halbleiterindustrie ist ein Diffusionsofen ein Gerät, das zur Herstellung von Dotierschichten auf der Oberfläche von Halbleitermaterialien verwendet wird. Der Dotierungsprozess wird durch Hochtemperaturerwärmung und kontrollierte Diffusionsatmosphäre erreicht...
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