Halbleiter

Schnell/Stabil/Konstante Temperatur

Präzise Temperaturkontrolle vieler Prozesse in der Halbleiterproduktion. Auftragen extrem dünner Schichten, Teilmasken und Entfernen unbedeckter Teile mit absoluter Präzision in einer nahezu unbegrenzten Anzahl von Einzelschritten. Ätzbäder müssen in einem optimalen Temperaturbereich gehalten werden, um die Ätzraten in nasschemischen Prozessen konstant und vorhersehbar zu halten. Dies erfordert den Einsatz von absolut präzisen und zuverlässigen Temperierlösungen.

Temperaturregelung von Ätzbädern für die nasschemische Herstellung von Wafern und Mikrochips. Weitere Anwendungen sind Funktions- und Materialprüfungen von elektrischen und elektronischen Bauteilen und Funktionsgruppen unter Verwendung von nichtleitenden Thermofluiden wie Galden oder FC77. Ein perfekt abgestimmtes Temperaturkontrollsystem verbessert nicht nur die Produktionsergebnisse, sondern erhöht auch die Prozesssicherheit und reduziert Produktionszeit, Kosten und Wartungsaufwand.

TES-NM65NT |

Mit Prüfkammer |

Temperaturregelbereich: -60℃~200℃

Heizleistung: 5.5kW

Kühlleistung: 1.2kW~5.5kW

Leistung MAX: 12kW

Typen: Wassergekühlte Kaltwassersätze / Luftgekühlte Kaltwassersätze

SUNDI-15W |

Für Chip-Tests |

Temperaturregelbereich: -100℃~200℃

Heizleistung: 5.5kW

Kühlleistung: 1.2kW~5.5kW

Leistung MAX: 12kW

Typen: Luftgekühlte Kaltwassersätze

Geeignete Produkteempfehlen.

MD -75℃～225℃
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Quick temperature change control chuckConfiguration DetailsProduct Description -75℃ to 225°C Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature…
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YQH 0℃~-75℃
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Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 12~45/min
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FLT-100℃~80℃ Niedertemperatur-Kaskade
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Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 12~45/min
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FLTZ -30℃~40℃ Doppelte Frequenzumwandlung Serie
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Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 15~45/min 6bar max Leistungsbereich 380V 3,5kW
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FLT -25℃~40℃
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Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 25~75/min 6bar max Kältemittel R404A Leistungsbereich 380V 3,5kW~16kW
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Wärmeaustauschkühler ETCU
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Genauigkeit der Temperatur ±0.3℃ Leistungsbereich 380V 0,6kW~1,6kW
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Conventional Type FLT -45℃~80℃
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Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 25~75/min 6bar max Kältemittel R404A Leistungsbereich 380V 3,5kW~16kW
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ZLJ -40℃~-15℃
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Heizleistung 3.5kW~130kW Leistung Kühlung 1kW~130kW
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