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Wärmeaustauschkühler ETCU

Heat Exchange Chiller (Semiconductor temperature control )

ETCU 5℃~90℃

Die Hauptanwendung ist die genaue Kontrolle der Temperatur in der Halbleiterproduktion und im Prüfprozess.

Die Erhitzungsmethode liegt innerhalb von 40 °C und verwendet Heißgas aus dem Kompressor, um das Konzentrat zu erhitzen.

Das Umwälzsystem ist vollständig abgedichtet, und die Umwälzpumpe ist eine Magnetkupplungspumpe.

Ammoniak- und Sicherheitsprüfungen zur Gewährleistung von Sicherheit, Zuverlässigkeit und Wohlstand des Systems;

Nach 24 Stunden Dauerbetrieb des Kopierers

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Heizung Methode innerhalb 40 ℃ nimmt einen Kompressor Heißgasheizung vollständig geschlossenen Design, und die Maschine arbeitet kontinuierlich für 24 Stunden

Details zur Konfiguration

Modell

ETCU-005W

ETCU-008W

ETCU-015W

ETCU-030W

Temperaturbereich

Kühlwassertemperatur +5℃~90℃ ±0,3℃

Kühlwassertemperatur

7℃~30℃ Verwendung eines Siemens/Honeywell-Regelventils zur Steuerung des Kühlwasserdurchflusses

Kühlleistung

5kw

8kw

15kw

30kw

 

Testbedingungen: Bei maximaler Umwälzmenge beträgt der Temperaturunterschied zwischen der Temperaturregelung und der Kühlwassertemperatur 15°C.

Durchfluss der Umwälzpumpe

7~20L/min 5bar

7~20L/min 5bar

15~40L/min 5bar

20~60L/min 5bar

Tankvolumen

6L

8L

10L

15L

Größe

480*750*390

480*750*390

480*750*390

480*750*500

Strom

220V 50HZ/60hz 0.6kw

220V 50HZ/60hz1.3kw

220V 50HZ/60hz 1.6kw

Beschreibung des Produkts

Das Halbleiter-Temperiergerät Chiller wird hauptsächlich für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und in Testprozessen verwendet. Zu den Produkten gehören die Temperaturregelung von fluorierten Flüssigkeiten (mindestens -100 Grad), die schnelle Temperaturänderung von Gaskühlung und -erwärmung, die schnelle Temperaturänderung von Chuck, die Niedrigtemperatur-Gaskühlmaschine (-120 Grad), die direkte Kühlung (-150 Grad) usw. Das Unternehmen wendet verschiedene Algorithmen (PID, Feedforward PID und modellfreier, selbst aufgebauter Baumalgorithmus) im System an, um eine schnelle Reaktion und hohe Regelgenauigkeit zu erreichen.

Anwendungen

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