LNEYA Luftgekühlte Kältemaschine oder wassergekühlte Kältemaschine
FLT 5℃~-40℃
Hauptsächlich verwendet für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und Testprozesse, Heizung innerhalb 40 ° C mit einem Kompressor Heißgas-Heizung Methode- Genauigkeit der Temperatur±0.1℃
- Durchflusskontrolle25~75/min 6bar max
- RefrigentR404A
- Leistungsbereich380V 3,5kW~16kW
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Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und bei Prüfprozessen
Heizung Methode innerhalb 40 ℃ nimmt einen Kompressor Heißgasheizung vollständig geschlossenen Design, und die Maschine arbeitet kontinuierlich für 24 Stunden
Gewährleistung eines stabilen und zuverlässigen Halbleiter-Gesamtprozesses vom Front-End bis zum Back-End
Details zur Konfiguration
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Modell |
FLT-002 FLT-002W |
FLT-003 FLT-003W |
FLT-004 FLT-004W |
FLT-006 FLT-006W |
FLT-008 FLT-008W |
FLT-010 FLT-010W |
FLT-015 FLT-015W |
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Temperaturkontrolle |
5℃～40℃ |
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Temperaturgenauigkeit |
±0.1℃ |
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Durchflusskontrolle |
10～25L/min 5bar max |
15～45L/min 6bar max |
25～75L/min 6bar max |
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Kühlleistung@10℃ |
6kw |
8kw |
10kw |
15 kw |
20kw |
25kw |
40kw |
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Interner Umlauf Flüssigkeitsvolumen |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
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Fassungsvermögen des Ausdehnungsgefäßes |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
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Kältemittel |
R410A |
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Sekundäres Kältemittel |
Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, wässrige Ethylenglykollösung, DI usw. (DI-Temperatur muss über 10 ℃ kontrolliert werden) |
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Eingangs- und Ausgangsschnittstellen |
G1/2 |
G1/2 |
G3/4 |
G3/4 |
G3/4 |
G1 |
G1 |
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Auslass für Kühlwasser |
G1/2 |
G1/2 |
G3/4 |
G1 |
G1 |
G1 |
G1 1/8 |
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Durchflussmenge des Kühlwassers@20℃ |
1.5m³/h |
2m³/h |
2.5m³/h |
4m³/h |
4.5m³/h |
5,6m³/h |
9m³/h |
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Stromversorgung 380V |
3,5 kW |
4kW |
5,5 kW |
7kW |
9,5 kW |
12kW |
16kW |
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Ausdehnung der Temperatur |
Durch Hinzufügen einer elektrischen Heizung kann der Temperaturbereich von -25 ℃ bis 80 ℃ erweitert werden. |
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Beschreibung des Produkts
Das Halbleiter-Temperiergerät Chiller wird hauptsächlich für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und in Testprozessen verwendet. Zu den Produkten gehören die Temperaturregelung von fluorierten Flüssigkeiten (mindestens -100 Grad), die schnelle Temperaturänderung von Gaskühlung und -erwärmung, die schnelle Temperaturänderung von Chuck, die Niedrigtemperatur-Gaskühlmaschine (-120 Grad), die direkte Kühlung (-150 Grad) usw. Das Unternehmen wendet verschiedene Algorithmen (PID, Feedforward PID und modellfreier, selbst aufgebauter Baumalgorithmus) im System an, um eine schnelle Reaktion und hohe Regelgenauigkeit zu erreichen.
Wichtige Informationen wie die Abgas- und Ansaugtemperatur (Druck), die Kondensationstemperatur, die Kühlwassertemperatur (Druck), die Temperatur (Druck) der ein- und austretenden Flüssigkeiten (Gase), die elektrische Leistung, der Strom und die Spannung der einzelnen Komponenten sowie der Füllstand des Wassertanks der Kältemaschine werden über Sensoren, die mit dem Steuerungssystem verbunden sind, umfassend verwaltet, überwacht und aufgezeichnet.
Heizung Methode innerhalb 40 ℃ nimmt Kompressor Heißgasheizung.
Das Umwälzsystem der Kältemaschine ist vollständig geschlossen, und die Umwälzpumpe ist eine Magnetkupplungspumpe.
Heliumprüfung der Kältemaschine 100%, Prüfung der Sicherheitsvorschriften 100% zur Gewährleistung der Sicherheit und Zuverlässigkeit des Systems.
Der Kühler betreibt das Kopiergerät 24 Stunden lang ununterbrochen bei 100%.
Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
Anwendungen
Produkte empfehlen
MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
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YQH 0℃~-75℃
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FLT-100℃~80℃ Niedertemperatur-Kaskade
Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 12~45/min
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FLTZ -30℃~40℃ Doppelte Frequenzumwandlung Serie
Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 15~45/min 6bar max Leistungsbereich 380V 3,5kW
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