FLT -25℃~-40℃

Hauptsächlich verwendet für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und Testprozesse, Heizung innerhalb 40 ° C mit einem Kompressor Heißgas-Heizung Methode

Halbleiter-Test-Kühlgeräte

Genauigkeit der Temperatur±0.1℃
Durchflusskontrolle25~75/min 6bar max
RefrigentR404A
Leistungsbereich380V 3kW~17kW

Kaltwassersatz Halbleiter-Kühlgerät

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Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und bei Prüfprozessen

Heizung Methode innerhalb 40 ℃ nimmt einen Kompressor Heißgasheizung vollständig geschlossenen Design, und die Maschine arbeitet kontinuierlich für 24 Stunden

Gewährleistung eines stabilen und zuverlässigen Halbleiter-Gesamtprozesses vom Front-End bis zum Back-End

Details zur Konfiguration

Modell	FLT-202 FLT-202W	FLT-203 FLT-203W	FLT-204 FLT-204W	FLT-206 FLT-206W	FLT-208 FLT-208W	FLT-210 FLT-210W	FLT-215 FLT-215W
Temperaturbereich	-25℃～40℃
Genauigkeit der Temperaturregelung	±0.1℃
Durchflusskontrolle	10～25L/min ±0,3		15～45L/min ±0,3			25～75L/min ±0,3
Durchflusskontrolle	Die Durchflussregelung erfolgt über einen Frequenzumrichter, und der maximale Druck der Umwälzpumpe beträgt 5 bar.
Kältetechnik @-15℃	2kw	3kw	3,8 kW	6kw	7,6 kW	10kw	15kw
Interner Kreislauf Flüssigkeitsvolumen	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volumen des Ausdehnungsgefäßes	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Kältemittel	R404A
Sekundäres Kältemittel	Wasser, Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, wässrige Ethylenglykol-Lösung, usw.
Eingangs- und Ausgangsschnittstelle	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
Kühlwasseranschluss	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G1	G1	G1 1/8
Kühlwasserdurchfluss@20℃	1,2m³/H	1,6m³/H	2,6m³/H	3,6m³/H	5.5m³/H	7m³/H	10,2m³/H
Leistung 380V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
Temp. Expansion	Durch Hinzufügen einer elektrischen Heizung kann sie auf -25℃~80℃ erweitert werden.

Beschreibung des Produkts

Das Halbleiter-Temperiergerät Chiller wird hauptsächlich für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und in Testprozessen verwendet. Zu den Produkten gehören die Temperaturregelung von fluorierten Flüssigkeiten (mindestens -100 Grad), die schnelle Temperaturänderung von Gaskühlung und -erwärmung, die schnelle Temperaturänderung von Chuck, die Niedrigtemperatur-Gaskühlmaschine (-120 Grad), die direkte Kühlung (-150 Grad) usw. Das Unternehmen wendet verschiedene Algorithmen (PID, Feedforward PID und modellfreier, selbst aufgebauter Baumalgorithmus) im System an, um eine schnelle Reaktion und hohe Regelgenauigkeit zu erreichen.

Wichtige Informationen wie die Abgas- und Ansaugtemperatur (Druck), die Kondensationstemperatur, die Kühlwassertemperatur (Druck), die Temperatur (Druck) der ein- und austretenden Flüssigkeiten (Gase), die elektrische Leistung, der Strom und die Spannung der einzelnen Komponenten sowie der Füllstand des Wassertanks der Kältemaschine werden über Sensoren, die mit dem Steuerungssystem verbunden sind, umfassend verwaltet, überwacht und aufgezeichnet.

Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln

Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.

Anwendungen

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