FLT 5℃~-40℃

Temperaturkontrolle von Halbleitern

Die Hauptanwendung ist die genaue Kontrolle der Temperatur in der Halbleiterproduktion und im Prüfprozess.

Die Erhitzungsmethode liegt innerhalb von 40 °C und verwendet Heißgas aus dem Kompressor, um das Konzentrat zu erhitzen.

Das Umwälzsystem ist vollständig abgedichtet, und die Umwälzpumpe ist eine Magnetkupplungspumpe.

Ammoniak- und Sicherheitsprüfungen zur Gewährleistung von Sicherheit, Zuverlässigkeit und Wohlstand des Systems;

Nach 24 Stunden Dauerbetrieb des Kopierers

ANFRAGE

Produktdaten herunterladen

Handbuch.pdf

Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und bei Prüfprozessen

Heizung Methode innerhalb 40 ℃ nimmt einen Kompressor Heißgasheizung vollständig geschlossenen Design, und die Maschine arbeitet kontinuierlich für 24 Stunden

Gewährleistung eines stabilen und zuverlässigen Halbleiter-Gesamtprozesses vom Front-End bis zum Back-End

Details zur Konfiguration

Modell	ETCU-005W	ETCU-008W	ETCU-015W	ETCU-030W
Temperaturbereich	Kühlwassertemperatur +5℃~90℃ ±0,3℃
Kühlwassertemperatur	7℃~30℃ Verwendung eines Siemens/Honeywell-Regelventils zur Steuerung des Kühlwasserdurchflusses
Kühlleistung	5kw	8kw	15kw	30kw
	Testbedingungen: Bei maximaler Umwälzmenge beträgt der Temperaturunterschied zwischen der Temperaturregelung und der Kühlwassertemperatur 15°C.
Durchfluss der Umwälzpumpe	7~20L/min 5bar	7~20L/min 5bar	15~40L/min 5bar	20~60L/min 5bar
Tankvolumen	6L	8L	10L	15L
Größe	480750390	480750390	480750390	480750500
Strom	220V 50HZ/60hz 0.6kw		220V 50HZ/60hz1.3kw	220V 50HZ/60hz 1.6kw

Beschreibung des Produkts

Das Halbleiter-Temperiergerät Chiller wird hauptsächlich für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und in Testprozessen verwendet. Zu den Produkten gehören die Temperaturregelung von fluorierten Flüssigkeiten (mindestens -100 Grad), die schnelle Temperaturänderung von Gaskühlung und -erwärmung, die schnelle Temperaturänderung von Chuck, die Niedrigtemperatur-Gaskühlmaschine (-120 Grad), die direkte Kühlung (-150 Grad) usw. Das Unternehmen wendet verschiedene Algorithmen (PID, Feedforward PID und modellfreier, selbst aufgebauter Baumalgorithmus) im System an, um eine schnelle Reaktion und hohe Regelgenauigkeit zu erreichen.

Wichtige Informationen wie die Abgas- und Ansaugtemperatur (Druck), die Kondensationstemperatur, die Kühlwassertemperatur (Druck), die Temperatur (Druck) der ein- und austretenden Flüssigkeiten (Gase), die elektrische Leistung, der Strom und die Spannung der einzelnen Komponenten sowie der Füllstand des Wassertanks der Kältemaschine werden über Sensoren, die mit dem Steuerungssystem verbunden sind, umfassend verwaltet, überwacht und aufgezeichnet.

Anwendungsszenarien der Temperaturkontrolle im Halbleiterprozess

Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln

Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.

Anwendungen

Klicken Sie auf die Online-Nachricht, um Einzelheiten über das Produkt zu erfahren.

Senden Sie uns eine Nachricht über die FLT-Kühlerserie

Produkte empfehlen

MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
YQH 0℃~-75℃
Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 12~45/min
FLT-100℃~80℃ Niedertemperatur-Kaskade
Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 12~45/min
FLTZ -30℃~40℃ Doppelte Frequenzumwandlung Serie
Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 15~45/min 6bar max Leistungsbereich 380V 3,5kW