Temperaturkontrollsystem für fluorierte Flüssigkeiten

Das Kühl- und Heiztemperaturregelsystem für fluorierte Flüssigkeiten wird im Halbleiterherstellungsprozess häufig zur Regelung der Temperatur der Reaktionskammer, der Temperaturregelung der Kühlkörperplatte und der Temperaturregelung der nicht brennbaren Flüssigkeit eingesetzt, wenn eine Wärmeübertragung erforderlich ist . Es eignet sich für den Herstellungsprozess von Halbleiterchips, Leistungsgeräten und Avionik. Kühl- und Heiztemperaturregelung in Geräten.

Fluorierte Flüssigkeiten sind wenig toxische, nicht brennbare Hochleistungsprodukte, die die nachhaltige Entwicklung der Umwelt nicht beeinträchtigen und die Treibhausgasemissionen reduzieren können. Gleichzeitig werden entsprechend den flüchtigen Eigenschaften fluorierter Flüssigkeiten das Verbindungsdesign und das Systemdichtungsdesign gestärkt, um die Lebensdauer des Mediums sicherzustellen.