Temperaturkontrollsystem für fluorierte Flüssigkeiten

Das Kühl- und Heizungs-Temperaturregelsystem für fluorierte Flüssigkeiten wird in der Halbleiterfertigung häufig eingesetzt, um die Temperatur der Reaktionskammer, die Temperatur der Kühlkörperplatte und die Temperatur der nicht brennbaren Flüssigkeit zu regeln, wenn eine Wärmeübertragung erforderlich ist. Es eignet sich für den Halbleiterchip-Herstellungsprozess, Leistungsgeräte und die Avionik Kühl- und Heizungs-Temperaturregelung in Geräten.

Fluorierte Flüssigkeiten sind gering toxische, nicht brennbare und leistungsstarke Produkte, die die nachhaltige Entwicklung der Umwelt nicht beeinträchtigen und die Treibhausgasemissionen reduzieren können. Gleichzeitig werden entsprechend den flüchtigen Eigenschaften der fluorierten Flüssigkeit das Verbindungsdesign und das Systemdichtungsdesign verstärkt, um die Lebensdauer des Mediums zu gewährleisten.