LTS -80℃~80℃ Fluorid-Kühl-Heizsystem

Temperaturkontrolle während der Halbleiterfertigung

Dynamische Temperaturkontrollsysteme Temperaturkontrollsystem für fluorierte Flüssigkeiten Halbleiter-Testkühler

Ablaufsteuerung12 l / min ~ 45 l / min
Temperaturgenauigkeit±0.1℃ bei -60℃~-30℃
Interne zirkulierende Flüssigkeit4L ~ 10L
Ausgleichsbehälter10L ~ 20L
Place of OriginChina

dynamisches Temperaturkontrollsystem Temperaturregelung für fluorierte Flüssigkeiten LTS-Serie Halbleiter-Testkühler

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Produktparameter

Modell	LTS-802	LTS-803	LTS-804	LTS-806	LTS-808
	LTS-802W	LTS-803W	LTS-804W	LTS-806W	LTS-808W
Temperaturbereich	-80℃~-20℃
Genauigkeit der Temperaturregelung	±0.1℃ -80℃~-50℃
Ablaufsteuerung	7 ~ 25 l/min		12 ~ 45 l/min
	Die Durchflussregelung übernimmt die Frequenzumrichteranpassung und die Geschwindigkeit wird automatisch entsprechend dem Rückkopplungssignal des Durchflusssensors angepasst. Der maximale Druck der Umwälzpumpe beträgt 5bar.
Internes zirkulierendes Flüssigkeitsvolumen	4L	5L	6L	8L	10L
Volumen Ausdehnungsgefäß	10L	10L	15L	15L	20L
Systemdruckanzeige	Der Druck der Kälteanlage wird über ein Zeigermanometer (Hochdruck, Niederdruck) erfasst
	Die Position des Druckerfassungsausgangs des Kreislaufsystems wird von einem Drucksensor erfasst und auf dem Touchscreen angezeigt
Controller	Siemens SPS, Fuzzy-PID-Regelalgorithmus, mit Kaskadenregelalgorithmus
Temperaturkontrolle	Regelungsmodus für die Austrittstemperatur des Wärmeträgermediums
	Externer Temperatursensor: (PT100 oder 4～20mA oder Kommunikationseinstellung) Steuermodus (Kaskadensteuerung)
Einverständniserklärung	Ethernet-Schnittstelle TCP/IP-Protokoll
	RS485-Schnittstelle Modbus RTU-Protokoll
Rückmeldung der internen Temperatur von Geräten	Auslasstemperatur des Wärmeübertragungsmediums der Ausrüstung, Einlasstemperatur des Mediums, Kondensationstemperatur des Kühlsystems, Umgebungstemperatur, Ansaugtemperatur des Kompressors, Kühlwassertemperatur (verfügbar für wassergekühlte Ausrüstung)
Geschlossenes Kreislaufsystem	Das gesamte System ist ein vollständig geschlossenes System, niedrige Temperaturen absorbieren keine Feuchtigkeit in der Luft, verflüchtigen das Wärmeübertragungsmedium nicht und die niedrige Temperatur ergänzt automatisch das Wärmeübertragungsmedium in das Zirkulationssystem
Kompressor	Flexibler Scroll-Kompressor von Emerson Copeland/Danfoss
Umwälzpumpe	Magnetische Umwälzpumpe deutscher Marke
Verdampfer	Nehmen Sie den Danfoss/Gaoli-Plattenwärmetauscher an
Kühler	Mikrokanalkondensator (luftgekühlt)
	Plattenwärmetauscher (wassergekühlt), besondere Achtung: Es wird sauberes Werkswasser benötigt
Kühlzubehör	Danfoss/Emerson-Zubehör (Filtertrockner, Ölabscheider, Hoch- und Niederdruckschutz, Expansionsventil)
Bedienfeld	Wuxi Guanya angepasster 7-Zoll-Farb-Touchscreen, Temperaturkurvenanzeige\EXCEL-Datenexport
Sicherheit	Mit Selbstdiagnosefunktion; Phasenfolge-Offenphasenschutz, Kältemaschinen-Überlastschutz; Hochdruck-Druckschalter, Überlastrelais, Thermoschutzvorrichtung und andere Sicherheitsfunktionen.
Größe der Ein- und Ausgangsschnittstelle	G1 / 2	G1 / 2	G3 / 4	G3 / 4	G3 / 4

Produktbeschreibung

Es wird häufig im Halbleiterherstellungsprozess zur Steuerung der Temperatur der Reaktionskammer, der Temperatur des Kühlkörpers und der Temperatursteuerung der nicht brennbaren Flüssigkeit des Wärmeübertragungsmediums eingesetzt.

1. Der Druckhaltetest des Mediumzirkulationssystems beträgt 7 bar.
2. Hochwertige Magnetpumpe ohne Gleitringdichtung verwenden.
3. Optimieren Sie die Temperaturabtastung und Reaktionsgeschwindigkeit, speziell entwickelter Steueralgorithmus, kann schnell auf eine stabile Temperaturregelung reagieren.
4. Verbessern Sie das Design der Umwälzpumpenkapazität, um den Hochhubanforderungen des Systems gerecht zu werden.
5. Die kontinuierliche Hochtemperatur-Kühltechnologie erfüllt die Anforderungen für einen stabilen Betrieb, wenn Wärme auf die Kühlkörperplatte geladen wird und eine konstante Temperaturregelung für Kühlung und Heizung erfordert.
6. Angesichts der flüchtigen Eigenschaften fluorierter Flüssigkeiten werden das Verbindungsdesign und das Systemdichtungsdesign verstärkt, um die Lebensdauer des Mediums sicherzustellen.