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LTS -60℃~80℃

LTS -60℃~80℃ Fluorid-Kühl-Heizsystem

Temperaturkontrolle während der Halbleiterfertigung
  • Ablaufsteuerung12 l / min ~ 45 l / min
  • Temperaturgenauigkeit±0.1℃ bei -60℃~-30℃
  • Interne zirkulierende Flüssigkeit4L ~ 10L
  • Ausgleichsbehälter10L ~ 20L
  • Place of OriginChina

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Parameter detailliert

Modell LTS-602 LTS-603 LTS-604 LTS-606 LTS-608
LTS-602W LTS-603W LTS-604W LTS-606W LTS-608W
Temperaturbereich   -60℃~-20℃
Genauigkeit der Temperaturregelung ±0.1℃ -60℃~-30℃
Ablaufsteuerung  7 ~ 25 l/min 12 ~ 45 l/min
  Die Durchflussregelung übernimmt die Frequenzumrichteranpassung und die Geschwindigkeit wird automatisch entsprechend dem Rückkopplungssignal des Durchflusssensors angepasst. Der maximale Druck der Umwälzpumpe beträgt 5bar.
Internes zirkulierendes Flüssigkeitsvolumen 4L 5L 6L 8L 10L
Volumen Ausdehnungsgefäß 10L 10L 15L 15L 20L
Systemdruckanzeige Der Druck der Kälteanlage wird über ein Zeigermanometer (Hochdruck, Niederdruck) erfasst
Die Position des Druckerfassungsausgangs des Kreislaufsystems wird von einem Drucksensor erfasst und auf dem Touchscreen angezeigt
Controller SPS, Fuzzy-PID-Regelalgorithmus, mit Kaskadenregelalgorithmus
Temperaturkontrolle Regelungsmodus für die Austrittstemperatur des Wärmeträgermediums
Externer Temperatursensor: (PT100 oder 4~20mA oder Kommunikationseinstellung) Steuermodus (Kaskadensteuerung)
Einverständniserklärung Ethernet-Schnittstelle TCP/IP-Protokoll
RS485-Schnittstelle Modbus RTU-Protokoll
Rückmeldung der internen Temperatur von Geräten Auslasstemperatur des Wärmeübertragungsmediums der Ausrüstung, Einlasstemperatur des Mediums, Kondensationstemperatur des Kühlsystems, Umgebungstemperatur, Ansaugtemperatur des Kompressors, Kühlwassertemperatur (verfügbar für wassergekühlte Ausrüstung)
Geschlossenes Kreislaufsystem Das gesamte System ist ein vollständig geschlossenes System, niedrige Temperaturen absorbieren keine Feuchtigkeit in der Luft, verflüchtigen das Wärmeübertragungsmedium nicht und die niedrige Temperatur ergänzt automatisch das Wärmeübertragungsmedium in das Zirkulationssystem
Kompressor Flexibler Scroll-Kompressor von Emerson Copeland/Danfoss
Umwälzpumpe Magnetische Umwälzpumpe
Verdampfer Plattenwärmetauscher
Kühler Mikrokanalkondensator (luftgekühlt)
Plattenwärmetauscher (wassergekühlt), besondere Achtung: Es wird sauberes Werkswasser benötigt
Kühlzubehör Danfoss/Emerson-Zubehör (Filtertrockner, Ölabscheider, Hoch- und Niederdruckschutz, Expansionsventil)
Bedienfeld Wuxi Guanya angepasster 7-Zoll-Farb-Touchscreen, Temperaturkurvenanzeige\EXCEL-Datenexport
Sicherheit Mit Selbstdiagnosefunktion; Phasenfolge-Offenphasenschutz, Kältemaschinen-Überlastschutz; Hochdruck-Druckschalter, Überlastrelais, Thermoschutzvorrichtung und andere Sicherheitsfunktionen.
Größe der Ein- und Ausgangsschnittstelle ZG1 / 2 ZG1 / 2 ZG3 / 4 ZG3 / 4 ZG3 / 4

Produktbeschreibung

Es wird häufig im Halbleiterherstellungsprozess zur Steuerung der Temperatur der Reaktionskammer, der Temperatur des Kühlkörpers und der Temperatursteuerung der nicht brennbaren Flüssigkeit des Wärmeübertragungsmediums eingesetzt.

1. Der Druckhaltetest des Mediumzirkulationssystems beträgt 7 bar.
2. Hochwertige Magnetpumpe ohne Gleitringdichtung verwenden.
3. Optimieren Sie die Temperaturabtastung und Reaktionsgeschwindigkeit, speziell entwickelter Steueralgorithmus, kann schnell auf eine stabile Temperaturregelung reagieren.
4. Verbessern Sie das Design der Umwälzpumpenkapazität, um den Hochhubanforderungen des Systems gerecht zu werden.
5. Die kontinuierliche Hochtemperatur-Kühltechnologie erfüllt die Anforderungen für einen stabilen Betrieb, wenn Wärme auf die Kühlkörperplatte geladen wird und eine konstante Temperaturregelung für Kühlung und Heizung erfordert.
6. Angesichts der flüchtigen Eigenschaften fluorierter Flüssigkeiten werden das Verbindungsdesign und das Systemdichtungsdesign verstärkt, um die Lebensdauer des Mediums sicherzustellen.




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