FLT -100℃~80℃

Die Hauptanwendung ist die genaue Kontrolle der Temperatur in der Halbleiterproduktion und im Prüfverfahren. Die Erhitzungsmethode liegt innerhalb von 40 °C und verwendet Heißgas aus einem Kompressor, um das Konzentrat zu erhitzen.

Kühlung Kältemaschine

Genauigkeit der Temperatur±0.1℃
Durchflusskontrolle12~45/min
TypNiedertemperatur-Kaskade
Leistungsbereich380V

Kaltwassersatz Halbleiter-Kühlgerät

ANFRAGE

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Details zur Konfiguration

Modell	FLT-803W	FLT-805W	FLT-806W	FLT-808W	FLT-810W
Temperaturbereich	-80℃～+80℃
Genauigkeit der Temperaturregelung	±0.1℃
Durchflusskontrolle	7～25L/min		12～45L/min
	Die Durchflussregelung erfolgt über einen Frequenzumrichter, und die Drehzahl wird automatisch entsprechend dem Rückmeldesignal des Durchflusssensors angepasst. Der maximale Druck der Umwälzpumpe beträgt 6 bar.
Kühlleistung@-70℃	0,6KW	1KW	1,5KW	2KW	3KW
Heizleistung	2KW	2KW	2KW	3,5KW	3,5KW
Interner Kreislauf Flüssigkeitsvolumen	4L	5L	6L	8L	10L
Volumen des Ausdehnungsgefäßes	10L	10L	15L	15L	20L
Thermisches Medium	Fluorierte Flüssigkeit
Eingangs- und Ausgangsschnittstelle	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
Schnittstelle zum Kühlwasser	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	G1	G1
Kühlwasser @20℃	1,8m3/h	2,5 m3/h	3m3/h	5 m3/h	6m3/h
Stromversorgung	380V 50HZ
Unterbrecher	25A	25A	32A	40A	50A

Modell	FLT-1002W	FLT-1004W
Temperaturbereich	-100℃～+80℃	-100℃～+80℃
Temperaturgenauigkeit	±0.1℃	±0.1℃
Durchflusskontrolle	7～25L/min	12～45L/min
	Die Durchflussregelung erfolgt über einen Frequenzumrichter, und die Drehzahl wird automatisch entsprechend dem Rückmeldesignal des Durchflusssensors angepasst. Der maximale Druck der Umwälzpumpe beträgt 6 bar.
Kühlleistung@-90℃	1,5KW	3KW
Heizleistung	3,5KW	5,5KW
Volumen der internen Zirkulationsflüssigkeit	5L	8L
Volumen des Ausdehnungsgefäßes	10L	15L
Thermisches Medium	Fluorierte Flüssigkeit
Eingangs- und Ausgangsschnittstelle	G3/4	G3/4
Schnittstelle zum Kühlwasser	G3/4	G1
Kühlwasser @20℃	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar
Strom	380V 50HZ	380V 50HZ
Unterbrecher	32A	63A
Gewicht	7008001850	80012001850

Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln

Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.

Anwendungen

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