YQH 0℃~-75℃

Abgaskondensationsabscheidung und -rückgewinnung；Halbleiterabgasreinigung

Halbleiter-Test-Kühlgeräte

Druck in der kalten Zone8 Bar
Kühlwasser @25℃1300L/H~3000L/H 1BAR~4BAR
Strom3kW~8kW

Gasrückgewinnung Lokaler Wäscher VOCs

ANFRAGE

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Abscheidung und Rückgewinnung von VOCS-Kondensationsgasen

Geeignet für die Rückgewinnung von verschiedenen flüchtigen VOC-Gasen; Schnelle Kühlung, hohe Effizienz, die Erfüllung verschiedener Anforderungen an die Kondensationstemperatur, niedrige Temperatur kann -75 ° C erreichen

Woher kommen die schädlichen Gase?

Es entsteht vor allem bei der Reinigung, der Nivellierung des Klebstoffs, der Entfernung des Klebstoffs, dem Ätzen und den Entwicklungsprozessen bei der Herstellung von Chips oder Leiterplatten.

hohes Abgasvolumen und niedrige Emissionskonzentration

Der Kernprozess der Herstellung integrierter Schaltkreise erzeugt eine große Menge an Säure-Base-, Arsan-, Phosphin-, organischen und anderen Prozessabgasen. Für die Erfassung und Rückgewinnung der Abgaskondensation ist ein lokaler Wäscher erforderlich.

Organische Abgase entstehen hauptsächlich bei Reinigungs-, CVD-, Photolithographie-, Nassätz-, Entschleimungs- und Diffusionsprozessen. Zu den organischen Abgasen gehören hauptsächlich Isopropylalkohol, Aceton, Propylenglykolmonomethyletheracetat, Ethyllactat, Butylacetat, schwere Aromaten usw.

Parameter

Modell	YQH-3520EXd YQH-3520Wexd	YQH-7520EXd YQH-7520WEXd	YQH-3530EXd YQH-3530WEXd	YQH-7530EXd YQH-7530WEXd
Gasfluss	20m3/h	20m3/h	30m3/h	30m3/h
Niedrigste Temperatur	-35℃	-75℃	-35℃	-75℃
Temperatur der ersten Stufe	0℃	0℃	0℃	0℃
Druck in der Kühlbox	8bar	8bar	8bar	8bar
Wärmeaustauschbereich	3m2*2	3m2*2	5m2*2	5m2*2
Material des Wärmetauschers	SUS304	SUS304	SUS304	SUS304
Überwachung des Drucks	Überwachung und Schutz des Drucks am Ein- und Ausgang der primären und sekundären Verdunstungsfalle gegen Eisblockierung
Steuerung der Abtauung	Die Abtausteuerung kann auf der Grundlage der Drucküberwachung durchgeführt werden
Durchmesser des Lufteinlasses	DN40 PN16	DN40 PN16	DN50 PN16	DN50 PN16
Lagertank für Rückgewinnungsflüssigkeit	10L Optionaler Einbau einer Rückgewinnungs-Förderpumpe		15L Optionaler Einbau einer Rückgewinnungs-Förderpumpe
Durchmesser der Ablassöffnung	G1/2	G1/2	G1/2	G1/2
Kontrollsystem	Siemens SPS
Anzeige und Aufzeichnung	7-Zoll-Farb-Touchscreen
Kompressor	Flexibler Emerson Copeland Scroll-Verdichter (explosionsgeschützt, mit Epoxidharz eingekapselt)
Stromversorgung 380V 50HZ MAX	3,5KW	5KW	4KW	6KW
Größe	80012001850	80012001850	100015001850	100015001850
Kühlwasser (Wasserkühlung)20℃	1800L/H 1BAR~4BAR G3/4		3000L/H 1BAR~4BAR G3/4

Funktionsprinzip

Leiten Sie das flüchtige VOCS-Gas in die Coldbox des Geräts ein (das Gerät ist auf eine Kondensationstemperatur von 3°C-40°C-75°C-115°C eingestellt). Andere Temperaturzonen können je nach Bedarf für die schrittweise Kondensation und Verflüssigung angepasst werden. Einige kontinuierliche Produktionsprozesse verfügen über einen zweikanaligen Umschaltprozess im Niedertemperaturbereich (nachdem eine Seite durch Eis blockiert ist, wird direkt auf den anderen Kanal für den Wärmeaustausch und die Kondensation in der Coldbox umgeschaltet, und gleichzeitig wird die Eisblockade für die Abtaubehandlung getestet).

Kundenspezifisch 25 BAR

Druckfestigkeit des Wärmetauschersystems

-40~-75℃

Treffen Sie unterschiedliche Temperaturen

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MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
FLT-100℃~80℃ Niedertemperatur-Kaskade
Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 12~45/min
FLTZ -30℃~40℃ Doppelte Frequenzumwandlung Serie
Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 15~45/min 6bar max Leistungsbereich 380V 3,5kW
FLT -45℃~40℃
Genauigkeit der Temperatur ±0.1℃ Durchflusskontrolle 25~75/min 6bar max Kältemittel R404A Leistungsbereich 380V 3,5kW~16kW